Sesebelisoa sa tlhahlobo likarolo tsa ceramic
E tšoaneleha ka ho fetesisa bakeng sa likarolo moo ho nepahala ho phahameng le ho tenyetseha ho phahameng ho leng bohlokoa.
Re ka fana ka boholo bo khotsofatsang litlhoko tsa bareki. Ikutloe u lokolohile ho ikopanya le rona ka litlhoko tsa boholo ba hau ho kenyeletsoa le nako eo u lakatsang ho fana ka eona, jj.
Tlhahlobo ea sesebelisoa sa tlhahlobo (sekoti) se boholo ba 2000mm
Re ka etsa likarolo tse fapaneng tsa likarolo tsa letsopa ho latela litšoantšo tsa bareki, re sa bue ka likarolo tsa letsopa tse kang li-ceramic vacuum chuck, jj.
Ka kopo ikutloe u lokolohile ho re botsa letho ho tloha lipotsong tse mabapi le boholo le libopeho ho ea ho tse qotsitsoeng.
Ha li bapisoa le morema-phofu le tšepe, li-ceramics tsa sebopeho li bobebe ebile li thata haholo, ka hona, li kheloha hanyane tlasa boima ba tsona.
Sethala sa poleiti e nang le boholo ba 800x800mm
Ka lebaka la "2 μm flatness", e ke keng ea khoneha ka tšepe, litekanyo tse phahameng tsa ho nepahala le ho sebetsa lia fihlelleha.
Bophara: 2μm
Re ka fana ka boholo bo khotsofatsang litlhoko tsa bareki. Ikutloe u lokolohile ho ikopanya le rona ka litlhoko tsa boholo ba hau ho kenyeletsoa le nako eo u lakatsang ho fana ka eona, jj.
Karolo ea kamore ea lephaka e boholo ba 1300x400mm
Ka lebaka la ho chesa motlakase le ho hanyetsa mocheso o phahameng, letsopa le ka sebelisoa bakeng sa bokaholimo ba likamore tse hloekisang.
Re ka fana ka boholo bo khotsofatsang litlhoko tsa bareki. Ikutloe u lokolohile ho ikopanya le rona ka litlhoko tsa boholo ba hau ho kenyeletsoa le nako eo u lakatsang ho fana ka eona, jj.