Litšebeliso tse 8 tse Tloaelehileng tsa Likarolo tsa Granite e Nepahetseng Lisebelisoa tsa Semiconductor

Indastering ea semiconductor, moo "nanometer" e leng yuniti e tloaelehileng ea tekanyo, botšepehi ba sebopeho sa lisebelisoa ha bo buisanoe. Ha li-chip node li ntse li fokotseha ho fihlela ho 5nm le ho feta, tlhoko ea ho damping ea ho thothomela le botsitso ba mocheso e fihla maemong a feteletseng. Likarolo tsa granite tse nepahetseng li fetohile ho tloha ho ba khetho ea maemo a holimo ho ea ho "DNA" ea bohlokoa ea lisebelisoa tsa tlhahiso ea semiconductor.

Jwalo ka mofani ya ka sehloohong wa meaho ya disebediswa tse tsitsitseng haholo, ZHHIMG® e sekaseka ditshebediso tse robedi tsa bohlokwa ka ho fetisisa moo granite e leng mohale ya kgutsitseng wa thepa e ntle.

1. Metheo ea Mechini ea Lithography

Mochini oa lithography ke sesebelisoa se rarahaneng ka ho fetisisa ketane ea semiconductor. Motheo o tlameha ho tšehetsa litsamaiso tse kholo tsa optical ha o ntse o khutsitse hantle. Boima bo phahameng ba Granite le damping ea ka hare li e lumella ho monya li-micro-vibrations tse tsoang tikolohong e potolohileng, ho netefatsa hore mohloli oa leseli o lula o le boemong ba athomo.

2. Mehato ea ho Tsamaea ha Moea o Beang

Ho tsamaisa wafer ka lebelo le phahameng ho hloka motsamao o se nang khohlano. Hobane granite e ka hokahanngoa ho ea boemong bo bataletseng ba sub-micron, e sebetsa e le molekane ea phethahetseng bakeng sa theknoloji ea ho jara moea. "Mosireletsi oa moea" o thella holim'a bokaholimo ba granite ka ho se tsofale, e leng se fanang ka motsamao o boreleli haholo o hlokahalang bakeng sa ho skena le ho beha sebaka.

3. Liforomo tsa Tlhahlobo ea Wafer le Metrology

Kamora ho tjhesa, di-wafer di lokela ho hlahlojwa bakeng sa diphoso. Katoloso efe kapa efe ya mocheso foreiming ya mochini e tla fella ka "phoso e fosahetseng" kapa sekoli se fositseng.Likarolo tsa granite tse nepahetsengfana ka tikoloho e sa sebetseng hantle mochesong, ho netefatsa hore lintlha tsa tlhahlobo ke ponts'o ea 'nete ea bokaholimo ba wafer, eseng ho sotha ha mochini.

4. Mekhoa ea ho Tsamaea ha Gantry (Meaho ea Borokho)

Ha ho thijoa di-dicing kapa ho tlangwa ka terata ka lebelo le phahameng, "borokho" kapa gantry e tlameha ho tsamaya ka potlako ntle le ho sisinyeha. Gantry ya granite e fana ka karolelano e phahameng ya ho tiea-ho-boima ha e bapiswa le tshepe e entsweng ka foreshe, e fokotsang haholo "nako ya ho tsitsa" - nako eo mochini o tlamehang ho emela hore ho thothomela ho eme pele o ka etsa mosebetsi wa wona o latelang.

5. Liforeimi tsa Lisebelisoa tsa Tokiso ea Laser

Ha ho fumanoa sekoli ho maske kapa wafer, li-laser li sebelisoa bakeng sa ho lokisa ka nepo. Sena se hloka motheo oa sebopeho o seng oa makenete ka ho feletseng le o sa tsamaiseng motlakase. Granite e sireletsa mocheso ka tlhaho, e thibela tšitiso ea motlakase ho ama tsela e bonolo ea laser.

6. CMM (Mechini e Lekanyang e Kopanyang) bakeng sa Likamore tsa ho Hloekisa

Taolo ea boleng ka har'a setsi sa semiconductor e hloka li-CMM tse ka mamellang melaoana e thata ea kamore ea ho hloekisa. Ho fapana le tšepe, e ka tšollang likaroloana kapa ea oxidation, granite ha e na asiti ebile ha e ruse, e boloka sebopeho sa lisebelisoa se tsitsitseng haholo ntle le ho silafatsa tikoloho.

7. Metheo ea ho Polisha Mechanical (CMP) ea Lik'hemik'hale

Ts'ebetso ea CMP e kenyelletsa metsoako ea seretse le lik'hemik'hale tse senyang haholo litšepeng. Khanyetso ea tlhaho ea lik'hemik'hale ea granite e etsa hore e be thepa e loketseng bakeng sa motheo oa sebopeho sa li-unit tsa ho bentša, e leng se netefatsang bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso esita le libakeng tse thata tsa lik'hemik'hale.

8. Mekhoa ea ho Kenya Ion

Tikoloho tse nang le motlakase o phahameng li-implanting tsa ion li hloka likarolo tse ke keng tsa sitisa mahlaseli a ion kapa tsa etsa hore ho be le li-arcing tsa motlakase. Litšobotsi tsa dielectric tsa Granite li etsa hore e be khetho e sireletsehileng le e tsitsitseng bakeng sa ho kenya likarolo tse bonolo tsa motlakase le tsa vacuum.

Hobaneng ZHHIMG® e le ea Meralo ea Motheo ea Semiconductor?

Ho ZHHIMG®, rea utloisisa hore setsi sa lisebelisoa tsa semiconductor ha se feela lejoe—ke sesebelisoa se leka-lekaneng. Granite ea rona e ikhethang e ntšo, hammoho le boiphihlelo ba rona ba lilemo tse fetang 30 ba ho sila ka letsoho, e re lumella ho fihlela limaraka tse bataletseng le tse tšoanang tse fihlelang litlhoko tse thata tsa mehla ea sub-micron.

• Thepa: Granite e ntšo ea ZHHIMG® e teteaneng haholo, e nang le matheba a manyane haholo.

• Ho nepahala: Meputso e nepahetseng ho latela DIN 876 Kereiti ya 00 kapa ditlhaloso tsa JIS/ASME tse ikgethileng.

• Ho iketsetsa: Lisebelisoa tse kopantsoeng, li-T-slots, le litsela tse nang le moea tse kentsoeng esale pele li kentsoe lithupelong tsa rona tsa mocheso o sa fetoheng oa 10,000m².