Lefatšeng la nanometer la lithography ea semiconductor, tšisinyeho e nyane ea sebopeho kapa katoloso ea mocheso o monyenyane e ka etsa hore wafer ea silicon ea lidolara tse limilione tse ngata e se ke ea sebetsa. Ha indasteri e ntse e ea ho li-node tsa 2nm le ho feta, thepa e sebelisoang bakeng sa metheo ea mochini ha e sa le "litšehetso" feela - ke barupeluoa ba mafolofolo ho phehelleng ho nepahala.
Ho ZHHIMG, re ntse re botsoa lipotso tse eketsehileng ke li-OEM tsa lefats'e: Na re lokela ho khomarela botsitso bo pakiloeng ba granite e nepahetseng, kapa na ke nako ea ho fetohela ho li-ceramics tsa tekheniki tse tsoetseng pele? Karabo e ho fisiks e ikhethileng ea kopo ea hau.
Fisiks ea Botsitso: Granite khahlanong le Ceramic
Ha ho bapisoalikarolo tsa granite tse nepahetsengle litho tsa letsopa, re tlameha ho sheba "boraro bo halalelang" ba boenjiniere ba ho nepahala: Mongobo, Ho Tsitsisa Thermal, le Ho Tiea.
1. Ho Thibela ho Thothometsa: Molemo oa Sebopeho sa Tlhaho sa Microscopic
Ho thothomela ke sera sa ho fetisoa ha matla. Granite, lefika la tlhaho la mouoane, le na le sebopeho se rarahaneng sa polycrystalline se sebetsang e le monyang oa tlhaho oa ho thothomela. Khohlano ena ea ka hare e lumella granite ho qhala matla a mechini ka katleho e kholo ho feta thepa e ngata ea maiketsetso.
Ka lehlakoreng le leng, diserame tse tsoetseng pele tse kang Silicon Carbide (SiC) kapa Alumina di tiile haholo. Le hoja ho tiea hona ho le molemo bakeng sa karabelo ya maqhubu a phahameng, diserame di fana ka ho damping ho fokolang haholo ka hare. Tikolohong ya lithography, moo mekhahlelo e tsamayang ka lebelo le feteletseng, motheo wa granite o tswang ho ZHHIMG o fana ka tikoloho e "kgutsitseng" e hlokahalang hore diserame di dule di lebane hantle.
2. Matla a Thermal: Ho Laola Micron
Katoloso ea mocheso hangata ke bothata ba ho nepahala ha nako e telele. Granite ea tlhaho e na le coefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso (CTE), hangata e ka bang 5 × 10^{-6}/K ho isa ho 6 × 10^{-6}/K.
Li-ceramic tse tsoetseng pele li ka fihlela le boleng bo tlase ba CTE, empa hangata li na le inertia e tlase ea mocheso. Sena se bolela hore leha li atoloha hanyane ka kakaretso, li arabela ka potlako haholo ho feto-fetoha ha mocheso o potolohileng. Boima bo boholo ba mocheso oa Granite bo sebetsa e le "buffer," e leng se etsang hore e be khetho e khethiloeng bakeng sa boholo bo boholo.metheo ea mochini oa lithographymoo tikoloho e lokelang ho lula e tsitsitse ka lihora tse ngata tsa ts'ebetso e tsoelang pele.
Lisebelisoa tsa Moeli oa Lithography
Mochini oa sejoale-joale oa lithography mohlomong ke sesebelisoa se rarahaneng ka ho fetisisa se kileng sa hahuoa. Bakeng sa liforeimi tse kholo tsa sebopeho, indasteri e 'nile ea itšetleha ka eona historing.Likarolo tsa Granite tse Hloahloaka lebaka la tlhaho ea tsona e seng ea makenete le ho hanyetsa ho bola.
Leha ho le jwalo, bakeng sa dikarolo tse ikgethang tse tsamayang ka lebelo le phahameng ka hara sehlopha sa lithography—tse kang di-wafer chucks kapa mekhahlelo e kgutshwane ya stroke—diserame di ntse di eketseha ka lebaka la karolelano ya tsona e phahameng ya ho tiya-ho ya boima. Ho ZHHIMG, re bona bokamoso e se tlholisano pakeng tsa thepa ena, empa e le kopanyo ya leqheka la ho kopanya. Ka ho sebedisa motheo wa granite bakeng sa motheo le ceramic bakeng sa dikarolo tse nang le matla a hodimo, baenjiniere ba ka fihlella tekano e hodimo ya ho damping le lebelo.
Hobaneng ZHHIMG e le Mofani oa Lefatše ea Ratoang
Jwalo ka moetapelemofani oa likarolo tsa granite tse nepahetseng, ZHHIMG e utloisisa hore ho nepahala ha se feela taba ea thepa e tala; ke taba ea metrology e ka morao ho eona. Setsi sa rona se sebelisa vacuum-degassing bakeng sa likopano tsohle tse ikhethileng le mekhoa ea ho lapa ka nepo e phahameng e fetang litekanyetso tsa DIN 876 Kereiti ea 00.
Re ikhethile ka:
-
Metheo ea Granite e Ikhethileng bakeng sa OEM: Li-geometri tse etselitsoeng uena tse nang le li-insert tse kopantsoeng tse nang le likhoele bakeng sa litataiso tse otlolohileng.
-
Likarolo tse Rarahaneng tsa Lithography: Ho etsa metheo e meholo e bolokang ho batalla ka hare ho micron e le 1 ho feta limithara tse 'maloa.
-
Metrology e Tsoetseng Pele: Ho fana ka maemo a litšupiso bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahlobo tse hlokolosi ka ho fetisisa lefatšeng.
Qetello: Tsela ea Leano la ho ea Pele
Ho kgetha pakeng tsa granite le ceramic ho hloka kutlwisiso e tebileng ya boemo bo fetohang ba mochini wa hao. Le hoja ceramics e fana ka ho tiea ha maqhubu a phahameng, mongobo wa tlhaho le boima ba mocheso wa granite ha di bapisoe bakeng sa botsitso bo boholo.
Ha re ntse re shebile ho ea ho 2026, ZHHIMG e ntse e tsoela pele ho ntlafatsa moo majoe a tlhaho le metsoako e tsoetseng pele e kopanang teng. Ha re fane feela ka motheo; re fana ka bonnete ba hore lisebelisoa tsa hau li tla sebetsa ho fihlela moeling oa tsona oa khopolo-taba.
Ikopanye le sehlopha sa boenjiniere sa ZHHIMG kajeno ho fumana leqephe la data la papiso ea tekheniki kapa ho buisana ka litlhoko tsa projeke ea hau e ikhethileng.
Nako ea poso: Pherekhong-26-2026