Lefatšeng la tlhahiso e nepahetseng haholo—moo mamello e fokotsehang ka tlase ho di-micron tse 5 mme diqetello tsa bokaholimo di atamela boleng ba mahlo—disebediswa tseo re itshetlehileng ka tsona di tlameha ho fetoha ho feta moetlo. Ka mashome a dilemo, tshepe le granite di ile tsa busa benche ya metrology. Empa ha diindasteri tse kang disebediswa tsa semiconductor, optics ya sefofane, le disebediswa tse nyane tsa bongaka di kenella mafapheng moo esita le ho tjhesa ha mocheso kapa ho tsofala ha microscopic ho hlahisang phoso e sa amoheleheng, sehlopha se secha sa disebediswa tsa referense se a hlaha: tse entsweng eseng ka tshepe kapa lejwe, empa ka diseramike tse tswetseng pele tsa botekgeniki.
Ho ZHHIMG, re fetetse pele ho feta ho fana feela'Musi ea Otlolohileng oa Ceramickapa dihlahiswa tsa Ceramic Square Ruler. Re ntse re hlalosa botjha hore na lehlakore le otlolohileng e ka ba eng—ka ho kopanya thepa ya ceramic e tsitsitseng haholo le moralo wa sejwalejwale, ho kenyeletswa le lekgotla la rona le phaphametseng la moya la Custom Ceramic, tharollo e fedisang ho kopana ha metjhini ka botlalo ha e ntse e fana ka ho pheta-pheta ha boemo ba nanometer.
Hobaneng e le diseramike? Karabo e qala boemong ba dimolek'hule. Ho fapana le tshepe—e atolohang haholo ka mocheso—kapa granite—eo, ho sa tsotellehe botsitso ba yona, e dulang e le masoba ebile e fapane—diseramike tse entsweng ka boenjiniere jwalo ka alumina e matlafaditsweng ya zirconia (ZTA) le silicon nitride di fana ka masoba a haufi le lefela, thatafalo e ikgethang (1400–1800 HV), le di-coefficients tsa katoloso ya mocheso tse tlase ho 3–4 µm/m·°C. Sena se bolela hore Ceramic Straight Edge e tswang ho ZHHIMG e boloka jiometri ya yona hodima diphetoho tsa mocheso tse ka sothang disebediswa tse tlwaelehileng ka di-micron tse mmalwa.
Empa thepa feela ha ea lekana. Se khethollang lirulara tsa rona tsa letsopa ke ho nepahala ha tlhahiso ea tsona. Ka ho sebelisa ho sila taemane, ho bentša ka tlas'a lesoba, le netefatso ea laser interferometric likamoreng tsa ho hloekisa tsa ISO Class 5, re fihlela mamello ea ho otloloha ho feta 0.8 µm ho feta 500 mm - e netefalitsoeng eseng feela nakong ea ho tlisoa, empa e tlalehiloe litlalehong tse felletseng tsa tlhahlobo tse lateloang ke maemo a NIST le PTB.'Musi oa Sekwere sa Ceramice feta tekong ea ho ema ka ho sebelisa autocollimation ea elektroniki, ho netefatsa hore likhutlo li tšoarella ka har'a motsotsoana o le mong oa arc-motsotsoana (ho kheloha ha ≈0.5 µm ho 100 mm).
Tsena ha se litlhaloso tsa khopolo-taba. Ke linnete tsa ts'ebetso bakeng sa bareki ba seng ba sa khone ho lefella ho sekisetsa. Mofani ea ka sehloohong oa likarolo tsa lithography tsa EUV joale o sebelisa Ruler ea rona ea Ceramic Straight Ruler feela bakeng sa ho hokahanya liforeimi tsa tšehetso ea seipone. "Liruler tsa tšepe li sothehile nakong ea lipotoloho tse telele tsa ho pepesehela," setsebi sa bona sa metro se re boleletse. "Granite e nkile likaroloana. Mofuta oa ceramic? E bile e tsitsitseng ka likhoeli tse 18 - ha ho hlokahale hore ho be le tlhahlobo-bocha."
Empa esita le jiometri e phethahetseng e ka senyeha ka ho kopana. Hula rula holim'a bokaholimo, 'me u ipeha kotsing ea ho taboha hanyane, ho sitisoa ha filimi ea oli, kapa ho fetoha ha elastic—haholo-holo litšepeng tse bonolo kapa li-optics tse bentšitsoeng. Ke moo boqapi ba ZHHIMG bo qalang teng ka rulara e phaphametseng ea moea ea Custom Ceramic.
Ena ha se feela lehlakore le otlolohileng la ceramic le nang le masoba a phunngoeng ho lona. Ke sistimi e entsoeng ka botlalo ea moea o sa fetoheng, e entsoeng ka ho sebelisa matla a mokelikeli oa k'homphieutha ho fana ka phallo ea moea e tšoanang, e nang le laminar ho pholletsa le bolelele bohle ba rula. Ha e hatelloa ke moea o hloekileng, o omileng (kapa naetrojene libakeng tse bonolo), rula e phaphamala ka li-micron tse 5-10 ka holim'a karolo ea mosebetsi—e felisa ho kopana ha 'mele ha e ntse e boloka ho lekana ho phethahetseng. Sephetho? Tekanyo ea 'nete ea ho se kopane bakeng sa ho ba bataletseng, ho otloloha, kapa netefatso ea bophahamo ba mehato, ka ho pheta-pheta ho fihlela ho ± 0.2 µm.
Laboratori e 'ngoe ea k'homphieutha ea quantum Switzerland joale e sebelisa rulara e phaphametseng ea moea ea 600-mm Custom Ceramic ho hlahloba li-chip tse tsamaisang superconducting. "Ho kopana leha e le hofe—esita le ka stylus e bonolo—ho hlahisa khatello ea maikutlo e fetolang ts'ebetso ea qubit," ho hlalositse moenjiniere oa bona oa ts'ebetso. "Rulara ea ceramic e phaphametseng moeeng e re fa litšupiso tseo re li hlokang ntle le ho ama karolo. E fetohile ea bohlokoa haholo mosebetsing."
Se etsang hore sena se khonehe ke kopanyo e ikhethang ea ZHHIMG ea saense ea thepa, ho sebetsa ka nepo, le boiphihlelo ba metrology. Le ha bafepedi ba bangata ba tšoara li-ceramics e le likarolo tsa sebopeho, re li ntlafatsa e le lintho tsa khale tsa ho lekanya. Meralo ea rona ea Ceramic Square Ruler e kenyelletsa mathoko a nang le chamfered ho thibela ho qhekelloa, mahlakore a ka morao a qetiloeng ka matte ho fokotsa khanya e benyang tlas'a tlhahlobo, le matšoao a ikhethileng a fiducial bakeng sa litsamaiso tsa pono tse iketsang. Bakeng sa lits'ebetso tsa kamore ea ho hloekisa, libaka li pentiloe ho Ra < 0.02 µm ho fokotsa ho khomarela ha likaroloana.
Kaha ts'ebeliso e 'ngoe le e 'ngoe e fapane, ha re lumele ho hong ho lekanang tsohle. Na u hloka Ceramic Straight Edge e nang le likanale tsa vacuum tse kentsoeng ho tšoara li-wafer tse tšesaane nakong ea tlhahlobo? Re e hahile. U hloka'Musi oa sekwereka masoba a phunyeletsang a hokahaneng le ntlha ea hau ea probe ea CMM? U qetile. Na u batla rulara e phaphametseng ea moea ea Ceramic e ikhethileng e nang le li-sensor tsa khatello tse kopaneng le maikutlo a ho lekalekanya a dijithale? Seo se se se ntse se le tekong ea beta le moreki oa sefofane oa Tier-1.
Ho latela kananelo ea indasteri. Tlhahlobong ea 2025 ea Global Advanced Metrology, ZHHIMG e ile ea boleloa e le eona feela k'hamphani e fanang ka lelapa le felletseng la lisebelisoa tsa litšupiso tsa letsopa tse netefalitsoeng—ho kenyeletsoa le mefuta e phaphametseng—ka netefatso e felletseng ea jeometri le ho latela mokhoa oa dijithale. Empa habohlokoa le ho feta, ho amoheloa hoa potlaka: ho feta 60% ea litaelo tsa rona tsa lirula tsa letsopa joale li tsoa liindastering tseo pele li neng li nka lisebelisoa tse joalo e le “tse feteletseng”—ho fihlela li lekanya phapang.
Khamphani e qalang ya disebediswa tsa bongaka e hlahisang di-implant tsa methapo e fetotse ho tloha tshepeng ho ya ho Ceramic Square Ruler ya rona mme e bone tlhahiso ya yona ya pele e eketseha ka 22%. “Sekwere sa kgale se siile di-micro-gouges hodima matlo a titanium,” ho boletse mookamedi wa bona wa QA. “Ha re a ka ra hlokomela ho fihlela re fetoha. Jwale, karolo e nngwe le e nngwe e feta diteko tse bonahalang le tse nang le mahlakore tekong ya pele.”
Kahoo ha o ntse o lekola ntlafatso ea hau e latelang ea metrology, ipotse: Na moeli oa ka o otlolohileng oa hona joale o eketsa ho se tsitse—kapa oa ho felisa?
Haeba ts'ebetso ea hau e sebetsa moeling oa ho lemohuoa, karabo e ka 'na ea ba ho li-ceramics - eseng e le ntho e ncha, empa e le tlhokahalo. Ho ZHHIMG, ha re etse feela lisebelisoa tsa Ceramic Straight Ruler, Ceramic Square Ruler, kapa Ceramic Straight Edge. Re ntlafatsa kholiseho ho micron e 'ngoe le e 'ngoe.
Nako ea poso: Tshitwe-31-2025