Phetoho ea Precision tlhahisong ea semiconductor: Ha granite e kopana le theknoloji ea micron
1.1 Litšibollo tse sa lebelloang tsa mahlale a thepa
Ho latela tlaleho ea 2023 SEMI International Semiconductor Association, 63% ea masela a tsoetseng pele a lefats'e a se a qalile ho sebelisa metheo ea granite ho fapana le sethala sa tšepe sa setso. Lejoe lena la tlhaho, le tsoang ho magma condensation botebong ba Lefatše, le ngola nalane ea tlhahiso ea semiconductor ka lebaka la litšobotsi tsa lona tse ikhethang:
Thermal inertia molemo: mocheso oa katoloso ea mocheso oa granite 4.5 × 10⁻⁶/℃ ke 1/5 feela ea tšepe e sa hloekang, 'me botsitso ba dimensional ba ± 0.001mm bo bolokiloe mosebetsing o tsoelang pele oa mochine oa lithography.
Litšobotsi tsa ho fokotsa ho sisinyeha: coefficient e ka hare ea khohlano e phahame ka makhetlo a 15 ho feta ea tšepe e entsoeng ka tšepe, e monyang lisebelisoa tsa micro-vibration ka katleho.
Zero magnetization tlhaho: tlosa ka botlalo phoso ea makenete ho metha ea laser
1.2 Leeto la metamorphosis ho tloha morafong ho ea ho masela
Ho nka mohlala oa motheo oa tlhahiso e bohlale oa ZHHIMG o Shandong, karolo ea granite e tala e hloka ho feta:
Ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng haholo: setsi sa machining sa li-axis tse hlano bakeng sa lihora tse 200 tsa ho sila ka mokhoa o tsoelang pele, ho ba mahoashe ho fihla ho Ra0.008μm
Kalafo ea botsofali ea maiketsetso: lihora tse 48 tsa ho lokolloa ha khatello ea kelello ka mocheso o sa khaotseng le oa mongobo workshop, e ntlafatsang botsitso ba sehlahisoa ka 40%
Ea bobeli, senya mathata a tšeletseng a nepahetseng a tlhahiso ea semiconductor "rock solution"
2.1 Sekema sa phokotso ea sekhahla sa liphaephe
Pontšo ea mohlala: Ka mor'a hore setsi sa chip Jeremane se nke sethala sa rona sa granite se phaphametseng ka khase:
| Bophara ba sephaephe | phokotso ea sekhahla sa chip | ntlafatso ea ho bata |
| 12 inch | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inch | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Sekema sa katleho ea ho nepahala ha tlhophiso ea Lithographic
Sistimi ea matšeliso a mocheso: sensor e kenelletseng ea ceramic e lekola sebopeho sa sebopeho ka nako ea nnete mme e fetola ka bo eona tšekamelo ea sethala.
Lintlha tse lekantsoeng: tlas'a phetoho ea 28 ℃ ± 5 ℃, ho nepahala ha ho kenyeletsoa ho fetoha ka tlase ho 0.12μm
Nako ea poso: Mar-24-2025