Lefapheng la tlhahiso e nepahetseng ea tlhahiso le lipatlisiso tsa mahlale, ho batalla ha lipolanete tsa granite tse nepahetseng ke sesupo sa bohlokoa ho netefatsa bonnete ba lisebelisoa. Se latelang ke selelekela se qaqileng sa mekhoa e mengata e tloaelehileng ea ho lemoha le mekhoa ea bona ea ts'ebetso molemong oa hau. .
I. Mokhoa oa ho lemoha ka laser interferometer
Laser interferometer ke sesebelisoa se ratoang bakeng sa ho lemoha ho bata ha boemo bo holimo. Nka ZYGO GPI XP laser interferometer e le mohlala, qeto ea eona e ka fihla 0.1nm. Ha u etsa tlhahlobo, qala ka ho hokahanya mohloli oa leseli oa interferometer le sethaleng 'me u arole sebaka sa sethala ka libaka tsa marang-rang tsa 50mm × 50mm. Ka mor'a moo, data ea fringe ea tšitiso e ile ea bokelloa ntlha ka ntlha, 'me lintlha li ile tsa kenngoa le ho hlahlojoa ho sebelisoa polynomial ea Zernike ho fumana phoso ea flatness. Mokhoa ona o sebetsa ho li-platform tse nepahetseng haholo 'me o khona ho bona liphoso tsa ho bata ha ≤0.5μm/m². E atisa ho sebelisoa ha ho fumanoa mechine ea photolithography le liforomo tse phahameng tsa ho kopanya tse tharo tsa mochine oa ho lekanya. .
Ii. Mokhoa oa Electronic Level Array
Ho fumana boemo ba elektroniki ho bonolo ho sebetsa ebile ho sebetsa hantle haholo. Tekanyo ea elektronike ea TESA A2 (e nang le qeto ea 0.01μm/m) e ile ea khethoa 'me ea hlophisoa ka mokhoa oa 9×9 ho latela tataiso ea axis ea X/Y ea sethala. Ka ho bokella ka mokhoa o ts'oanang lintlha tsa maemo a boemo bo bong le bo bong ebe o sebelisa mokhoa o fokolang oa lisekoere bakeng sa ho bala, boleng ba ho bata bo ka fumanoa ka nepo. Mokhoa ona o ka khetholla ka katleho maemo a sebaka sa concavity le convexity ea sethala. Ka mohlala, ho feto-fetoha ha 0.2μm ka har'a sebaka sa 50mm ho ka boela ha fumanoa, e leng se loketseng ho lemoha ka potlako tlhahiso ea bongata. .
Iii. Mokhoa oa Optical Flat kristale
Mokhoa oa optical flat crystal o loketse ho lemoha liforomo tse nyenyane tsa sebaka seo. Hokela kristale ea optical flat ka thata holim'a metsi hore e lekoe sethaleng 'me u shebe litšitiso tse entsoeng pakeng tsa tsona tlas'a khanya ea mohloli o khanyang oa monochromatic (joalo ka lebone la sodium). Haeba mela e le melata e bapileng e otlolohileng, e bontša ho batalla ho hotle. Haeba ho hlaha mela e kobehileng, bala phoso ea ho bata ho ipapisitsoe le tekanyo ea ho kobeha ha mela. Mothapo o mong le o mong o kobehileng o emela phapang ea bolelele ba 0.316μm, 'me data ea flatness e ka fumanoa ka phetoho e bonolo. .
Tse nne. Mekhoa e meraro ea ho lekanya mochini oa ho lekanya mokhoa oa ho hlahloba
Mochini oa ho lekanya oa li-coordinate tse tharo o ka finyella tekanyo e phahameng ea ho nepahala sebakeng sa mahlakore a mararo. Beha sethala sa granite holim'a tafole ea ho sebetsa ea mochini o lekanyang 'me u sebelise probe ho bokella lintlha ka mokhoa o ts'oanang ho tsoa lintlheng tse ngata tsa ho lekanya holim'a sethala. Mechini e lekanyang e sebetsa le ho sekaseka lintlha tsena ho hlahisa tlaleho ea sethala. Mokhoa ona o ke ke oa lemoha feela ho bata, empa hape o fumana likarolo tse ling tsa geometri tsa sethaleng ka nako e le 'ngoe,' me o loketse ho lemoha ka ho feletseng liforomo tse kholo tsa granite. .
Ho tseba mekhoa ena ea ho lemoha ho ka u thusa ho hlahloba ka nepo ho bata ha sethala sa ho nepahala ha granite le ho fana ka tiiso e ka tšeptjoang bakeng sa ts'ebetso e tsitsitseng ea lisebelisoa tse nepahetseng.
Nako ea poso: May-29-2025