Lefapheng la tlhahiso ea maemo a holimo le lipatlisiso tsa mahlale a morao-rao, mochini o tsamaeang ka mokhoa o nepahetseng oa ultra-precision oa float ea moea o fetohile sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sa ts'ebetso e ntle le ho lekanya ka ts'ebetso ea eona e nepahetseng e nepahetseng. Setsi sa ho nepahala ha granite, e le motheo oa tšehetso, se na le litlhoko tse tiileng bakeng sa tikoloho ea ho sebetsa, 'me maemo a loketseng a tikoloho ke motheo oa ho netefatsa ts'ebetso ea eona e tsitsitseng le phello e ntle ka ho fetisisa.
Ntlha ea pele, taolo ea mocheso: ho nepahala "stabilizer"
Le hoja granite e tsejoa ka botsitso ba eona, ha e sireletsehe ka ho feletseng ho fetoha ha mocheso. Leha coefficient ea eona ea katoloso ea mocheso e le tlase, ka kakaretso ke 5-7 × 10⁻⁶/℃, maemong a taolo ea motsamao o nepahetseng haholo, ho feto-fetoha ha mocheso o poteletseng ho ntse ho ka baka liphetoho tsa maemo mme ho ama ho nepahala ha module. Sebokeng sa tlhahiso ea li-semiconductor chip, mokhoa oa lithography o hloka ho nepahala ha boemo ba boemo ba danami, 'me mocheso o teng o feto-fetoha ka 1 ° C,' me setsi sa granite se nang le bolelele ba mithara e le 'ngoe se ka hlahisa katoloso ea mela kapa khutsufatso ea li-micron tse 5-7. Phetoho ena e nyenyane e fetisoa ke ultra-precision motion module ea moea float, e leng ho lekaneng ho etsa hore chip lithography paterone e khelohe le ho fokotsa haholo lihlahisoa. Ka hona, e na le motheo o nepahetseng oa granite oa mojule oa moea o phaphametseng ka ho fetesisa, mocheso o nepahetseng oa tikoloho ea ts'ebetso o lokela ho laoloa ho 20 ° C ± 1 ° C, ka thuso ea lisebelisoa tse phahameng tsa mocheso o sa fetoheng, joalo ka mocheso o sa fetoheng le mongobo oa moea, ho beha leihlo le ho lokisoa ha mocheso o teng, ho etsa bonnete ba hore mocheso o tlase haholo, ho netefatsa hore mocheso o tlase haholo, ho netefatsa hore mocheso o tlase haholo. tshebetso e nepahetseng haholo.
Ea bobeli, tsamaiso ea mongobo: senotlolo sa "lejoe" le sireletsang bopaki ba mongobo
Mongobo ke ntlha e 'ngoe ea bohlokoa e amang ts'ebetso ea motheo oa granite o nepahetseng. Sebakeng sa mongobo o phahameng, granite e bonolo ho monya mouoane oa metsi, e leng se ka lebisang ho condensation holim'a metsi, e seng feela e amang botsitso ba khokahanyo ea granite le ultra-precision motion module ea moea float, empa hape e ka baka khoholeho ea mobu le ho fokotsa khanya le ho nepahala ha nako e telele. Setsing sa ho sila sa lense sa optical, haeba mongobo o phahame ho feta 60% RH ka nako e telele, mouoane oa metsi o adsorbed holim'a setsi sa granite o tla kena-kenana le motsamao oa seretse sa khase, e le hore ho nepahala ha lense ho fokotsehile, 'me bokaholimo bo fosahetse. Ka hona, mongobo o lekanyelitsoeng oa tikoloho ea mosebetsi o lokela ho laoloa ka thata pakeng tsa 40% -60% RH, e ka hlahlojoang le ho fetoloa ka nako ea sebele ka ho kenya li-dehumidifiers, li-sensors tsa mongobo le lisebelisoa tse ling ho qoba tšenyo ea motheo oa granite ka lebaka la mongobo o phahameng, le ho netefatsa ts'ebetso e boreleli ea ultra-precision motion module ea moea o phallang.
Ea boraro, tiisetso ea bohloeki: "mohlokomeli" oa ho nepahala
Kotsi ea likaroloana tsa lerōle ho motheo o nepahetseng oa granite oa mojule oa motsamao o nepahetseng oa moea o pharalletseng o ke ke oa nyatsuoa. Hang ha likaroloana tse nyenyane li kene ka lekhalo la filimi ea khase pakeng tsa float float slider le setsi sa granite, li ka senya ho tšoana ha filimi ea khase, tsa eketsa khohlano, esita le ho senya bokaholimo ba setsi, ho fella ka ho fokotseha ho nepahetseng ha motsamao. Setsing sa ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng ka ho fetesisa oa likarolo tsa sepakapaka, haeba likaroloana tsa lerōle moeeng li oela holim'a motheo oa granite, mokhoa oa ho sisinyeha oa sesebelisoa sa mochini o ka 'na oa kheloha, oa ama ho nepahala ha likarolo. Ka hona, sebaka sa mosebetsi se lokela ho bolokoa se hloekile haholo, se fihle ho 10,000 kapa esita le maemo a phahameng a bohloeki, ka ho kenya lisebelisoa tsa tlhoekiso ea moea, joalo ka li-filters tsa moea tse sebetsang hantle (HEPA), sefa likaroloana tsa lerōle moeeng, ka nako e ts'oanang, basebetsi ba hloka ho apara liaparo tse se nang lerōle, likoahelo tsa lieta, joalo-joalo, ho fokotsa lerole le tlisoang ke batho. Boloka tikoloho ea ts'ebetso e nepahetseng haholo ea motheo oa granite le mojule oa motsamao oa moea o tsamaeang hantle haholo.
Nne, ho itšehla thajana: ts'ebetso e bonolo ea "shock pad"
Ho thothomela ka ntle ke sera sa ho nepahala ha ultra-precision motion module ea float ea moea. Le hoja motheo oa granite o nepahetseng o na le bokhoni bo itseng ba ho thothomela, ho thothomela ho matla haholo ho ntse ho ka senya moeli oa eona oa "buffer". Ho sisinyeha ho hlahisoang ke sephethephethe se pota-potileng fektheri le ts'ebetso ea lisebelisoa tse kholo tsa mechine li fetisetsoa setsing sa granite ka mobu, e leng se tla kena-kenana le ho nepahala ha motsamao oa ultra-precision motion module oa moea oa float. Ho CMM ea boemo bo holimo, ho sisinyeha ho ka etsa hore ho kopana pakeng tsa probe e lekanyang le workpiece e se ke ea tsitsa, e leng se bakang ho kheloha ha data ea tekanyo. E le ho rarolla bothata bona, hoa hlokahala ho nka mehato e sebetsang ea ho itšehla thajana, joalo ka ho beha lipampiri tsa ho itšehla thajana sebakeng sa ho kenya lisebelisoa, ho haha motheo oa ho itšehla thajana, kapa ho sebelisa mokhoa o sebetsang oa ho itšehla thajana ho thibela ho sisinyeha ha kantle, le ho theha tikoloho e khutsitseng le e tsitsitseng ea ts'ebetso bakeng sa motheo o nepahetseng oa granite le mojule oa moea oa float ultra-precision motion.
Ke feela ka ho fihlela litlhoko tsa tikoloho tsa mocheso, mongobo, bohloeki le taolo ea ho sisinyeha, motheo o nepahetseng oa granite oa mochini o tsamaeang ka mokhoa o nepahetseng oa moea o ka fana ka papali e felletseng molemong oa ts'ebetso, ho fana ka tiisetso e tšepahalang bakeng sa ts'ebetso e nepahetseng ka ho fetesisa mafapheng a fapaneng, le ho thusa indasteri hore e fihle boemong bo phahameng ba tlhahiso le lipatlisiso tsa mahlale.
Nako ea poso: Apr-08-2025