Lefapheng la tlhahiso ea maemo a holimo le lipatlisiso tsa mahlale tsa sejoale-joale, mojule oa motsamao o nepahetseng haholo oa moea o phaphametseng o fetohile sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sa ts'ebetso e ntle le tekanyo ka ts'ebetso ea ona e ntle ea ho nepahala. Motheo oa ho nepahala ha granite, joalo ka setsi sa tšehetso, o na le litlhoko tse thata bakeng sa tikoloho ea mosebetsi, 'me maemo a loketseng a tikoloho ke motheo oa ho netefatsa ts'ebetso ea ona e tsitsitseng le phello e ntle ka ho fetisisa.
Taba ea pele, taolo ea mocheso: "stabilizer" e nepahetseng
Leha granite e tsebahala ka botsitso ba yona, ha e sireletsehe ka ho feletseng diphetohong tsa mocheso. Le hoja coefficient ya yona ya katoloso ya mocheso e le tlase, ka kakaretso 5-7 × 10⁻⁶/℃, maemong a taolo ya motsamao o nepahetseng haholo, diphetoho tse nyane tsa mocheso di ntse di ka baka diphetoho tse kgolo mme tsa ama ho nepahala ha mojule. Mosebetsing wa tlhahiso ya di-chip tsa semiconductor, tshebetso ya lithography e hloka ho nepahala ha boemo ba danami, mme mocheso wa tikoloho o fetoha ka 1 ° C, mme motheo wa granite o nang le bolelele ba lehlakore ba mithara e le 1 o ka hlahisa katoloso e otlolohileng kapa ho fokotseha ha di-micron tse 5-7. Phetoho ena e nyane e fetiswa ke mojule wa motsamao o nepahetseng haholo wa ho phaphamala ha moya, e leng se lekane ho etsa hore paterone ya lithography ya chip e fetohe le ho fokotsa chai haholo. Ka hona, e hlomelitsoe ka motheo oa granite o nepahetseng oa module ea motsamao o phaphametseng oa moea o phaphametseng ka ho nepahala ho hoholo, mocheso o loketseng tikoloho ea ho sebetsa o lokela ho laoloa ho 20 ° C ± 1 ° C, ka thuso ea lisebelisoa tsa mocheso o tsitsitseng tse nepahetseng haholo, joalo ka sistimi ea mocheso o tsitsitseng le mongobo, tlhokomelo e tsoelang pele le phetoho ea mocheso o potolohileng, ho netefatsa hore liphetoho tsa mocheso li sebakeng se senyenyane haholo, li boloka botsitso ba boholo ba motheo, ho netefatsa hore ts'ebetso ea module e nepahetse haholo.
Ea bobeli, taolo ea mongobo: senotlolo sa tšireletso e thibelang mongobo "lejoe"
Mongobo ke ntlha e 'ngoe ea bohlokoa e amang ts'ebetso ea motheo oa granite o nepahetseng. Tikolohong e nang le mongobo o phahameng, granite e monya mouoane oa metsi habonolo, e leng se ka lebisang ho kolobisong holim'a metsi, e seng feela e amang botsitso ba khokahano ea granite le module ea motsamao o nepahetseng haholo oa float ea moea, empa hape e ka baka khoholeho ea bokaholimo le ho fokotsa khanya le ho nepahala ha nako e telele. Sebakeng sa ho sila sa lense ea optical, haeba mongobo o le holimo ho 60%RH ka nako e telele, mouoane oa metsi o monyetsoeng holim'a setsi sa granite o tla sitisa motsamao oa seterata sa float sa khase, e le hore ho nepahala ha lense ho fokotsehe, 'me bokaholimo bo be le liphoso. Ka hona, mongobo o lekanyelitsoeng oa tikoloho ea mosebetsi o lokela ho laoloa ka thata pakeng tsa 40%-60%RH, o ka hlahlojoang le ho fetoloa ka nako ea sebele ka ho kenya li-dehumidifier, li-sensor tsa mongobo le lisebelisoa tse ling ho qoba tšenyo botlaaseng ba granite ka lebaka la mongobo o phahameng, le ho netefatsa ts'ebetso e boreleli ea module ea motsamao o nepahetseng haholo oa float ea moea.
Ntlha ea boraro, tiisetso ea bohloeki: "mohlokomeli" oa ho nepahala
Tšenyo ea likaroloana tsa lerōle botlaaseng ba granite bo nepahetseng ba module ea motsamao o nepahetseng haholo oa ho phaphamala ha moea e ke ke ea nyenyefatsoa. Hang ha likaroloana tse nyane li kena lekhalong la filimi ea khase pakeng tsa seteraeke sa khase le botlaaseng ba granite, li ka senya ho tšoana ha filimi ea khase, tsa eketsa khohlano, esita le ho ngoapa bokaholimo ba botlaaseng, e leng se fellang ka ho fokotseha ha ho nepahala ha motsamao. Sebakeng sa ho sebetsa sa ho sebetsa sa ho sebetsa sa likarolo tsa lifofane, haeba likaroloana tsa lerōle moeeng li oela botlaaseng ba granite, tsela ea ho tsamaea ha sesebelisoa sa ho sebetsa e ka kheloha, e amang ho nepahala ha ho sebetsa ha likarolo. Ka hona, sebaka sa mosebetsi se lokela ho bolokoa se hloekile haholo, se fihle maemong a 10,000 kapa a holimo a bohloeki, ka ho kenya lisebelisoa tsa ho hloekisa moea, tse kang li-filter tsa moea tse sebetsang hantle haholo (HEPA), ho sefa likaroloana tsa lerōle moeeng, ka nako e ts'oanang, basebetsi ba hloka ho apara liaparo tse se nang lerōle, likoahelo tsa lieta, jj., ho fokotsa lerōle le tlisoang ke batho. Boloka tikoloho e sebetsang ea motheo oa granite le module ea motsamao o nepahetseng haholo oa ho phaphamala ha moea.
Tse 'ne, ho itšehla thajana ha ho thothomela: ts'ebetso e boreleli ea "sebaka sa ho tšoha"
Ho thothomela ha kantle ke sera sa ho nepahala ha module ya motsamao o nepahetseng haholo wa ho phaphamala ha moya. Le hoja motheo wa granite o nepahetseng o na le bokgoni bo itseng ba ho fokotsa ho thothomela, ho thothomela ha matla a phahameng ho ntse ho ka roba moedi wa yona wa buffer. Ho thothomela ho hlahiswang ke sephethephethe se potileng fektheri le tshebetso ya disebediswa tse kgolo tsa mechini ho fetisetswa motheong wa granite ka mobu, e leng se tla sitisa ho nepahala ha motsamao wa module ya motsamao o nepahetseng haholo wa ho phaphamala ha moya. Ho CMM ya maemo a hodimo, ho thothomela ho ka etsa hore kgokagano pakeng tsa probe ya ho lekanya le sesebediswa sa mosebetsi e lekanyetswe ho se tsitse, e leng se fellang ka ho kheloha ha data ya tekanyo. E le ho rarolla bothata bona, ho hlokahala ho amohela mehato e sebetsang ya ho kgetholla ho thothomela, jwalo ka ho beha di-pad tsa ho thothomela sebakeng sa ho kenya disebediswa, ho haha motheo wa ho thothomela ho thothomela, kapa ho sebedisa sistimi e sebetsang ya ho thothomela ho kgetholla ho thothomela ho kantle ka mafolofolo, le ho theha tikoloho e kgutsitseng le e tsitsitseng ya mosebetsi bakeng sa motheo wa ho nepahala ha granite le module ya ho phaphamala ho ultra-precision ya moya.
Ke feela ka ho fihlela ka botlalo litlhoko tsa tikoloho tsa mocheso, mongobo, bohloeki le taolo ea ho thothomela, motheo oa ho nepahala ha granite oa module ea ho tsamaea ka nepo haholo oa sefofane sa moea se ka fanang ka melemo ea sona ea ts'ebetso, oa fana ka tiisetso e tšepahalang bakeng sa ts'ebetso ea ho nepahala haholo masimong a fapaneng, le ho thusa indasteri ho ea boemong bo phahameng ba tlhahiso ea ho nepahala le lipatlisiso tsa mahlale.
Nako ea poso: Mmesa-08-2025