.
Sebakeng sa tlhahiso ea semiconductor, e le lisebelisoa tsa mantlha tse khethollang ho nepahala ha ts'ebetso ea tlhahiso ea chip, botsitso ba tikoloho ea ka hare ea mochine oa photolithography ke ea bohlokoa haholo. Ho tloha thabong ea mohloli o feteletseng oa leseli la ultraviolet ho ea ts'ebetsong ea sethala sa nanoscale precision motion, ho ke ke ha e-ba le ho kheloha ho honyenyane sehokelong se seng le se seng. Metheo ea granite, e nang le letoto la thepa e ikhethang, e bonts'a melemo e ke keng ea lekanngoa ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea mechine ea photolithography le ho ntlafatsa ho nepahala ha photolithography. .
Ts'ebetso e ikhethang ea ts'ireletso ea motlakase
Ka hare ho mochine oa photolithography o tletse tikoloho e rarahaneng ea motlakase. Electromagnetic interference (EMI) e hlahisoang ke likarolo tse kang mehloli e feteletseng ea leseli la ultraviolet, li-motor motor, le lisebelisoa tsa motlakase tse phahameng haholo, haeba li sa laoloe ka nepo, li tla ama ts'ebetso ea likarolo tsa elektroniki tse nepahetseng le lisebelisoa tsa optical ka har'a sesebelisoa. Ka mohlala, tšitiso e ka 'na ea baka ho kheloha hanyenyane mekhoeng ea photolithography. Lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa tlhahiso, sena se lekane ho lebisa likhokahanong tse fosahetseng tsa transistor ho chip, ho fokotsa haholo tlhahiso ea chip. .
Granite ke thepa e seng ea tšepe 'me ha e tsamaise motlakase ka boeona. Ha ho na ts'ebetso ea motlakase ea motlakase e bakoang ke ho tsamaea ha lielektrone tse sa lefelloeng ka hare joaloka lisebelisoa tsa tšepe. Tšobotsi ena e etsa hore e be 'mele oa tlhaho o sireletsang motlakase, o ka thibelang tsela ea phetisetso ea tšitiso ea ka hare ea motlakase. Ha matla a khoheli a fapanyetsanang a hlahisoang ke mohloli oa tšitiso ea motlakase o kantle o phatlalla le botlaaseng ba granite, kaha granite ha e na makenete ebile e ke ke ea matlafatsoa, ho thata ho kenella ho matla a khoheli, ka hona ho sireletsa likarolo tsa mantlha tsa mochini oa photolithography o kentsoeng botlaaseng, joalo ka li-sensor tse nepahetseng le lense ea optical ho tsoa ho ts'usumetso ea lense ea motlakase ho tsoa ho ts'ebetso ea lense ea motlakase. phetiso ea mohlala nakong ea ts'ebetso ea photolithography. .
Tšebelisano e ntle ea vacuum
Hobane khanya e feteletseng ea ultraviolet (EUV) e monngoa habonolo ke lintho tsohle, ho kenyeletsoa moea, mechine ea lithography ea EUV e tlameha ho sebetsa sebakeng sa vacuum. Mothating ona, ho lumellana ha likarolo tsa lisebelisoa le tikoloho ea vacuum ho ba bohlokoa haholo. Ka vacuum, lisebelisoa li ka qhibiliha, tsa senya le ho lokolla khase. Khase e lokollotsoeng ha e monye leseli la EUV feela, e fokotsa matla le bokhoni ba phetisetso ea lebone, empa hape e ka silafatsa lilense tsa optical. Mohlala, mouoane oa metsi o ka etsa oxidize lilense, 'me li-hydrocarbon li ka kenya likarolo tsa khabone holim'a lilense, tsa ama haholo boleng ba lithography. .
Granite e na le lik'hemik'hale tse tsitsitseng 'me ha e lokolle khase sebakeng sa vacuum. Ho ea ka tlhahlobo ea setsebi, sebakeng se etsisitsoeng sa mochini oa photolithography (joalo ka tikoloho e hloekileng ea ultra-clean vacuum moo tsamaiso ea optical e khanyang le mokhoa oa ho nahana ka kamoreng e kholo li leng teng, tse hlokang H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻ sekhahla se tlaase haholo, se tlaase haholo, se tlaase haholo). hofeta ya disebediswa tse ding joalo ka tshepe. Sena se nolofalletsa bokahare ba mochine oa photolithography ho boloka tekanyo e phahameng ea vacuum le bohloeki ka nako e telele, ho netefatsa phetiso e phahameng ea leseli la EUV nakong ea phetisetso le tikoloho e hloekileng ea tšebeliso ea lilense tsa optical, ho lelefatsa bophelo ba tšebeletso ea optical system, le ho ntlafatsa tshebetso ea kakaretso ea mochine oa photolithography. .
Ho hanyetsa ho sisinyeha ho matla le botsitso ba mocheso
Nakong ea ts'ebetso ea photolithography, ho nepahala ha boemo ba nanometer ho hloka hore mochine oa photolithography o se ke oa ba le ho sisinyeha hanyenyane kapa ho fetoha ha mocheso. Litšisinyeho tsa tikoloho tse hlahisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa tse ling le motsamao oa basebetsi sebokeng, hammoho le mocheso o hlahisoang ke mochine oa photolithography ka boeona nakong ea ts'ebetso, kaofela li ka kena-kenana le ho nepahala ha photolithography. Granite e na le sekhahla se phahameng le sebopeho se thata, 'me e na le khanyetso e ntle haholo ea ho thothomela. Sebopeho sa eona sa ka hare sa kristale ea liminerale se kopane, se ka fokotsang matla a ho thothomela le ho hatella ka potlako ho phatlalatsoa ha vibrate. Lintlha tsa liteko li bontša hore tlas'a mohloli o tšoanang oa vibrate, setsi sa granite se ka fokotsa amplitude ea vibrate ka ho feta 90% ka metsotsoana e 0.5. Ha e bapisoa le motheo oa tšepe, e ka khutlisetsa lisebelisoa ho tsitsisa ka potlako, ho netefatsa boemo bo nepahetseng bo lekanyelitsoeng pakeng tsa lense ea photolithography le sephaphatha, le ho qoba mokhoa o sa hlakang kapa ho se lumellane ho bakoang ke ho sisinyeha. .
Ho sa le joalo, coefficient ea ho atolosoa ha mocheso oa granite e tlaase haholo, hoo e ka bang (4-8) × 10⁻⁶/℃, e tlaase haholo ho feta ea lisebelisoa tsa tšepe. Nakong ea ts'ebetso ea mochine oa photolithography, esita le haeba mocheso o ka hare o fetoha ka lebaka la lintlha tse kang ho hlahisa mocheso ho tloha mohloling o khanyang le ho ferekana ho tloha likarolong tsa mochine, setsi sa granite se ka boloka botsitso ba dimensional 'me se ke ke sa senyeha haholo ka lebaka la ho atolosoa ha mocheso le ho fokotseha. E fana ka ts'ehetso e tsitsitseng le e ka tšeptjoang bakeng sa tsamaiso ea optical le sethaleng se nepahetseng sa ho tsamaea, ho boloka ho lumellana ha photolithography ho nepahala.
Nako ea poso: May-20-2025