Ka tlhahiso ea semiconductor, mochini oa photolithography ke sesebelisoa sa bohlokoa se khethollang ho nepahala ha lichipisi, 'me motheo oa granite, o nang le litšobotsi tse ngata, o fetohile karolo ea bohlokoahali ea mochini oa photolithography.
Thermal stability: The "Thebe" khahlano le Phetoho ea Mocheso
Ha mochine oa photolithography o sebetsa, o hlahisa mocheso o mongata. Esita le ho feto-fetoha ha mocheso oa 0.1 ℃ feela ho ka baka ho senyeha ha likarolo tsa thepa le ho ama ho nepahala ha photolithography. Coefficient ea katoloso ea mocheso oa granite e tlase haholo, ke 4-8 × 10⁻⁶/℃ feela, e ka bang 1/3 ea tšepe le 1/5 ea alloy ea aluminium. Sena se nolofalletsa setsi sa granite ho boloka botsitso ba dimensional ha mochine oa photolithography o sebetsa nako e telele kapa ha mocheso oa tikoloho o fetoha, ho netefatsa boemo bo nepahetseng ba likarolo tsa optical le mehaho ea mechine.
Ts'ebetso e matla ea anti-vibration: "Seponche" se monyang ho thothomela
Fekthering ea semiconductor, ts'ebetso ea lisebelisoa tse potolohileng le motsamao oa batho kaofela li ka hlahisa ho thothomela. Granite e na le tekano e phahameng le sebopeho se thata, 'me e na le thepa e ntle ea ho phopholetsa, ka karolelano ea mongobo makhetlo a 2 ho isa ho a 5 ho feta a tšepe. Ha ho thothomela ka ntle ho fetisetsoa setsing sa granite, khohlano pakeng tsa likristale tsa ka hare tsa liminerale li fetola matla a ho sisinyeha hore e be matla a mocheso bakeng sa ho qhalana, e leng se ka fokotsang haholo ho sisinyeha ka nako e khutšoanyane, ho lumella mochine oa photolithography hore o potlakele ho tsosolosa botsitso le ho qoba ho fifala kapa ho se nepahale ha mokhoa oa photolithography ka lebaka la ho sisinyeha.
Botsitso ba lik'hemik'hale: "Mohlokomeli" oa Tikoloho e Hloekileng
Bokahare ba mochini oa photolithography bo kopana le mecha ea litaba e fapaneng ea lik'hemik'hale, 'me lisebelisoa tse tloaelehileng tsa tšepe li na le tšekamelo ea ho bola kapa ho lokolloa ha likaroloana. Granite e entsoe ka liminerale tse kang quartz le feldspar. E na le lisebelisoa tse tsitsitseng tsa lik'hemik'hale le ho hanyetsa ho matla ha kutu. Ka mor'a ho kenngoa ka metsoako ea asiti le alkali, kutu e ka holimo e nyane haholo. Ho sa le joalo, sebopeho sa eona se teteaneng ha se hlahise lithōle kapa lerōle, se finyella litlhoko tsa litekanyetso tse phahameng ka ho fetisisa tsa bohloeki le ho fokotsa kotsi ea tšilafalo ea liphaphatha.
Ho ikamahanya le maemo: "Lisebelisoa tse loketseng" bakeng sa ho theha li-benchmark tse nepahetseng
Likarolo tsa motheo tsa mochine oa photolithography li hloka ho kenngoa sebakeng se phahameng sa boitsebiso bo nepahetseng. Sebopeho sa ka hare sa granite se tšoana hantle 'me se bonolo ho sebetsanoa ka mokhoa o nepahetseng haholo ka ho sila, ho bentša le mekhoa e meng. Bophahamo ba eona bo ka fihla ho ≤0.5μm / m, 'me bokaholimo ba Ra ke ≤0.05μm, ho fana ka motheo o nepahetseng oa ho kenya likarolo tse kang lilense tsa optical.
Nako e telele ea ho phela le ho se lokisoe: "Lisebelisoa tse bohale" tsa ho fokotsa litšenyehelo
Ha ho bapisoa le lisebelisoa tsa tšepe tse atisang ho khathala le ho phunyeha ka lebaka la tšebeliso ea nako e telele, granite ha e na ho senyeha ha polasetiki kapa ho robeha ka tlas'a meroalo e tloaelehileng, 'me ha e hloke phekolo ea holim'a metsi, kahoo e qoba kotsi ea ho roala le ho silafala. Lits'ebetsong tse sebetsang, ka mor'a ho sebelisoa ka lilemo tse ngata, matšoao a bohlokoa a ts'ebetso ea motheo oa granite a ntse a ka lula a tsitsitse, a fokotsa litšenyehelo tsa ts'ebetso le tlhokomelo ea thepa.
Ho tloha botsitso ba mocheso, ho hanyetsa ho sisinyeha ho inertness ea lik'hemik'hale, litšobotsi tse ngata tsa motheo oa granite li finyella ka ho phethahetseng litlhoko tsa mochine oa photolithography. Ha ts'ebetso ea tlhahiso ea li-chip e ntse e tsoela pele ho hola ho ea holimo, metheo ea granite e tla tsoela pele ho bapala karolo e ke keng ea nkeloa sebaka lefapheng la tlhahiso ea semiconductor.
Nako ea poso: May-20-2025