Tlhahisong ea li-semiconductor, mochini oa photolithography ke sesebelisoa sa bohlokoa se etsang qeto ea ho nepahala ha li-chip, 'me motheo oa granite, ka litšobotsi tsa oona tse ngata, o fetohile karolo ea bohlokoa ea mochini oa photolithography.
Ho tsitsa ha mocheso: "Thebe" Khahlanong le Liphetoho tsa Mocheso
Ha mochini oa photolithography o sebetsa, o hlahisa mocheso o mongata. Esita le ho feto-fetoha ha mocheso oa 0.1℃ feela ho ka baka ho fetoha ha likarolo tsa lisebelisoa le ho ama ho nepahala ha photolithography. Coefficient ea katoloso ea mocheso oa granite e tlase haholo, ke 4-8 ×10⁻⁶/℃ feela, e leng hoo e ka bang 1/3 ea tšepe le 1/5 ea motsoako oa aluminium. Sena se nolofalletsa motheo oa granite ho boloka botsitso ba litekanyo ha mochini oa photolithography o sebetsa nako e telele kapa ha mocheso oa tikoloho o fetoha, ho netefatsa boemo bo nepahetseng ba likarolo tsa optical le meaho ea mechini.
Tshebetso e matla khahlanong le ho thothomela: "Seponche" se monyang ho thothomela
Fekthering ea semiconductor, ts'ebetso ea lisebelisoa tse potolohileng le motsamao oa batho kaofela li ka hlahisa ho thothomela. Granite e na le boima bo phahameng le sebopeho se thata, 'me e na le thepa e ntle ea ho thothomela, ka karolelano ea ho thothomela ka makhetlo a 2 ho isa ho a 5 ho feta litšepe. Ha ho thothomela ha kantle ho fetisetsoa motheong oa granite, khohlano pakeng tsa likristale tsa diminerale tsa ka hare e fetola matla a ho thothomela hore e be matla a mocheso bakeng sa ho qhalana, e leng se ka fokotsang ho thothomela haholo ka nako e khuts'oane, e lumellang mochini oa photolithography ho khutlisa botsitso kapele le ho qoba ho fifala kapa ho se lumellane hantle ha paterone ea photolithography ka lebaka la ho thothomela.
Botsitso ba lik'hemik'hale: "Mohlokomeli" oa Tikoloho e Hloekileng
Karolo e ka hare ea mochini oa photolithography e kopana le mefuta e fapaneng ea lik'hemik'hale, 'me thepa e tloaelehileng ea tšepe e kotsing ea ho bola kapa ho lokolloa ha likaroloana. Granite e entsoe ka liminerale tse kang quartz le feldspar. E na le litšobotsi tse tsitsitseng tsa lik'hemik'hale le ho hanyetsa ho bola ho matla. Kamora ho kolobisoa ka har'a litharollo tsa asiti le alkali, ho bola ha bokaholimo ho ba honyenyane haholo. Ho sa le joalo, sebopeho sa eona se teteaneng ha se hlahise lithōle kapa lerōle, se fihlela litlhoko tsa maemo a holimo a kamore ea ho hloekisa le ho fokotsa kotsi ea tšilafalo ea wafer.
Ho tenyetseha ha ts'ebetso: "Thepa e loketseng" bakeng sa ho theha litekanyetso tse nepahetseng
Likarolo tsa mantlha tsa mochini oa photolithography li hloka ho kenngoa holim'a sebaka se nang le litšupiso tse nepahetseng haholo. Sebopeho sa ka hare sa granite sea tšoana 'me ho bonolo ho se sebetsana ka ho nepahala ho hoholo ka ho sila, ho se benya le mekhoa e meng. Bophara ba sona bo ka fihla ho ≤0.5μm/m, 'me bokhopo ba bokaholimo ba Ra ke ≤0.05μm, e leng se fanang ka motheo o nepahetseng oa ho kenya likarolo tse kang lilense tsa mahlo.
Nako e telele ea bophelo le tlhokomelo: "Lisebelisoa tse bohale" tsa ho fokotsa litšenyehelo
Ha e bapisoa le thepa ea tšepe e atisang ho khathala le ho petsoha ha e sebelisoa nako e telele, granite ha e fetele ka mokhoa o tloaelehileng oa ho fetoha ha polasetiki kapa ho robeha, 'me ha e hloke phekolo ea bokaholimo, kahoo e qoba kotsi ea ho petsoha le ho silafala ha pente. Litšebelisong tse sebetsang, kamora ho sebelisoa ka lilemo tse ngata, matšoao a bohlokoa a ts'ebetso ea motheo oa granite a ntse a ka lula a tsitsitse, a fokotsa litšenyehelo tsa ts'ebetso le tlhokomelo ea lisebelisoa.
Ho tloha botsitsong ba mocheso, ho hanyetsa ho thothomela ha lik'hemik'hale tse sa sebetseng hantle, litšobotsi tse ngata tsa motheo oa granite li fihlela litlhoko tsa mochini oa photolithography ka botlalo. Ha ts'ebetso ea tlhahiso ea li-chip e ntse e tsoela pele ho hola ho ea ho nepahalo e phahameng, metheo ea granite e tla tsoela pele ho bapala karolo e ke keng ea nkeloa sebaka tšimong ea tlhahiso ea semiconductor.
Nako ea poso: Mots'eanong-20-2025