Sebokeng sa tlhahiso ea li-semiconductor, litlhoko tsa ts'ebetso ea tlhahiso ea chip bakeng sa maemo a tikoloho le ho nepahala ha lisebelisoa li fetelletse, 'me ho kheloha hanyenyane ho ka lebisa ho fokotseha ho hoholo ha lihlahisoa tsa chip. Sethala sa XYZT precision gantry movement se itšetlehile ka likarolo tsa granite ho sebelisana le likarolo tse ling tsa sethala ho haha motheo o tiileng oa ho finyella ho nepahala ha nanoscale.
Lintho tse ntle tse thibelang ho sisinyeha
Sebokeng sa tlhahiso ea li-semiconductor, ts'ebetso ea lisebelisoa tsa peripheral le basebetsi ba tsamaeang hohle ba ka baka ho thothomela. Sebopeho sa ka hare sa likarolo tsa granite se teteaneng ebile se ts'oana, se na le litšobotsi tse phahameng tsa tlhaho, joalo ka "thibelo" e sebetsang ea vibrate. Ha ho thothomela ka ntle ho fetisetsoa sethaleng sa XYZT, karolo ea granite e ka khona ho fokotsa matla a fetang 80% ea matla a ho sisinyeha le ho fokotsa ho kena-kenana le ho sisinyeha sethaleng ho nepahala ha motsamao. Ka nako e ts'oanang, sethala se na le tsamaiso e phahameng e nepahetseng ea tataiso ea moea, e sebetsang hammoho le likarolo tsa granite. Moeta-pele oa sefofane sa moea o sebelisa filimi e tsitsitseng ea khase e entsoeng ke khase e phahameng ea khatello ho hlokomela motsamao oa ho emisa o sa kopane le likarolo tse tsamaeang tsa sethala le ho fokotsa ho sisinyeha ho honyenyane ho bakoang ke ho ferekana ha mechine. Ka kopanelo, tse peli li netefatsa hore ho nepahala ha boemo ba sethala ho lula ho bolokoa boemong ba nanometer lits'ebetsong tsa bohlokoa joalo ka chip lithography le etching, le ho qoba ho kheloha ha lipaterone tsa chip circuit tse bakoang ke ho thothomela.
Botsitso bo botle ba mocheso
Ho feto-fetoha ha mocheso le mongobo ka har'a workshop ho na le tšusumetso e kholo ho nepahala ha lisebelisoa tsa tlhahiso ea chip. Coefficient ea ho atolosa mocheso oa granite e tlaase haholo, ka kakaretso ho 5-7 × 10⁻⁶/℃, boholo bo batla bo sa fetohe ha mocheso o fetoha. Esita le haeba phapang ea mocheso pakeng tsa motšehare le bosiu ka har'a workshop kapa tlhahiso ea mocheso ea thepa e etsa hore mocheso o potolohileng o fetohe, likaroloana tsa granite li ka lula li tsitsitse ho thibela ho senyeha ha sethala ka lebaka la ho atolosoa ha mocheso le ho fokotseha. Ka nako e ts'oanang, tsamaiso e bohlale ea taolo ea mocheso e nang le sethala e hlokomela mocheso o potolohileng ka nako ea sebele, e fetola ka tsela e iketsang mocheso oa moea le lisebelisoa tsa ho lahla mocheso, 'me o boloka mocheso oa workshop ho 20 ° C ± 1 ° C. Ho kopantsoe le melemo ea botsitso ba mocheso oa granite, etsa bonnete ba hore sethaleng ka ts'ebetso ea nako e telele, ho nepahala ha motsamao oa naxisnometer kamehla ho etsa bonnete ba hore mochine o mong le o mong oa naxis o sebetsa hantle. boholo ba mohlala oa chip lithography bo nepahetse, botebo ba etching bo tšoana.
Kopana le litlhoko tsa tikoloho e hloekileng
Lebenkele la tlhahiso ea semiconductor le hloka ho boloka bohloeki bo phahameng ho thibela likaroloana tsa lerōle ho silafatsa chip. Lisebelisoa tsa granite ka boeona ha li hlahise lerōle, 'me bokaholimo bo boreleli, ha ho bonolo ho monya lerōle. Sethala ka kakaretso se nka moralo oa sebopeho se koetsoeng ka botlalo kapa se koetsoeng ho fokotsa ho kena ha lerōle le kantle. Tsamaiso ea ka hare ea potoloho ea moea e hokahane le tsamaiso ea moea e hloekileng ea workshop ho netefatsa hore bohloeki ba moea bo ka hare bo fihla boemong bo hlokoang ke tlhahiso ea li-chip. Sebakeng sena se hloekileng, likarolo tsa granite li ke ke tsa ama ts'ebetso ka lebaka la khoholeho ea lerōle, 'me likarolo tsa bohlokoa tse kang li-sensor tse phahameng tse nepahetseng le li-motors tsa sethaleng li ka boela tsa sebetsa ka mokhoa o tsitsitseng, ho fana ka tiiso e tsoelang pele le e ka tšeptjoang ea ho nepahala ha nanoscale bakeng sa tlhahiso ea li-chip, le ho thusa indasteri ea semiconductor ho fallela boemong bo phahameng ba ts'ebetso.
Nako ea poso: Apr-14-2025