Sebokeng sa tlhahiso ea li-semiconductor, litlhoko tsa ts'ebetso ea tlhahiso ea li-chip bakeng sa maemo a tikoloho le ho nepahala ha lisebelisoa li feteletse, 'me ho kheloha ho honyenyane ho ka lebisa ho fokotseha ho hoholo ha chai ea li-chip. Sethala sa ho tsamaea ha gantry ea nepahalo ea XYZT se itšetlehile ka likarolo tsa granite ho sebelisana le likarolo tse ling tsa sethala ho haha motheo o tiileng oa ho fihlela ho nepahala ha nanoscale.
Thepa e ntle ea ho thibela ho thothomela
Sebakeng sa tlhahiso ea semiconductor, ts'ebetso ea lisebelisoa tsa kantle le basebetsi ba tsamaeang e ka baka ho thothomela. Sebopeho sa kahare sa likarolo tsa granite se teteaneng ebile sea tšoana, se na le litšobotsi tsa tlhaho tse phahameng tsa ho thothomela, joalo ka "thibelo" e sebetsang hantle ea ho thothomela. Ha ho thothomela ha kantle ho fetisetsoa sethaleng sa XYZT, karolo ea granite e ka fokotsa matla a ho thothomela a fetang 80% ka katleho le ho fokotsa tšitiso ea ho thothomela ho nepahala ha motsamao oa sethala. Ka nako e ts'oanang, sethala se na le sistimi ea tataiso ea moea e nepahetseng haholo, e sebetsang hammoho le likarolo tsa granite. Tataiso ea moea e phaphametseng e sebelisa filimi e tsitsitseng ea khase e entsoeng ke khase ea khatello e phahameng ho hlokomela motsamao oa ho emisoa o se nang ho ama oa likarolo tse tsamaeang tsa sethala le ho fokotsa ho thothomela ho honyenyane ho bakoang ke khohlano ea mechini. Hammoho, ba babeli ba netefatsa hore ho nepahala ha ho beha sethala ho lula ho bolokoa boemong ba nanometer lits'ebetsong tsa bohlokoa tse kang lithography ea chip le ho fata, le ho qoba ho kheloha ha mekhoa ea potoloho ea chip e bakoang ke ho thothomela.
Botsitso bo botle ba mocheso
Ho feto-fetoha ha mocheso le mongobo setsing sa mosebetsi ho na le tšusumetso e kholo ho nepahaleng ha lisebelisoa tsa tlhahiso ea li-chip. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea granite e tlase haholo, ka kakaretso e ka ba 5-7 × 10⁻⁶/℃, boholo bo batla bo sa fetohe ha mocheso o fetoha. Esita le haeba phapang ea mocheso pakeng tsa motšehare le bosiu setsing sa mosebetsi kapa tlhahiso ea mocheso ea lisebelisoa e baka hore mocheso oa tikoloho o fetohe, likarolo tsa granite li ka lula li tsitsitse ho thibela ho fetoha ha sethala ka lebaka la katoloso le ho honyela ha mocheso. Ka nako e ts'oanang, sistimi e bohlale ea taolo ea mocheso e nang le sethala e lekola mocheso oa tikoloho ka nako ea sebele, e fetola ka bo eona lisebelisoa tsa moea o pholileng le ho qhalana ha mocheso, 'me e boloka mocheso oa setsi sa mosebetsi ho 20 ° C ±1 ° C. Ha e kopantsoe le melemo ea botsitso ba mocheso oa granite, etsa bonnete ba hore sethala se sebetsa nako e telele, ho nepahala ha motsamao oa axis ka 'ngoe kamehla ho fihlela litekanyetso tsa ho nepahala ha tlhahiso ea chip, ho netefatsa hore boholo ba paterone ea chip lithography bo nepahetse, botebo ba ho betla bo lekana.
Ho fihlela litlhoko tsa tikoloho e hloekileng
Lebenkele la tlhahiso ea li-semiconductor le hloka ho boloka bohloeki bo phahameng ho thibela likaroloana tsa lerōle ho silafatsa chip. Thepa ea granite ka boeona ha e hlahise lerōle, 'me bokaholimo bo boreleli, ha bo bonolo ho monya lerōle. Sethala ka kakaretso se sebelisa moralo oa sebopeho o koetsoeng ka botlalo kapa o koetsoeng hanyane ho fokotsa ho kena ha lerōle la kantle. Sistimi ea potoloho ea moea ka hare e hokahantsoe le sistimi e hloekileng ea moea o pholileng oa setsi sa mosebetsi ho netefatsa hore bohloeki ba moea ka hare bo fihla boemong bo hlokoang ke tlhahiso ea li-chip. Tikolohong ena e hloekileng, likarolo tsa granite li ke ke tsa ama ts'ebetso ka lebaka la khoholeho ea lerōle, 'me likarolo tsa bohlokoa tse kang li-sensor tse nepahetseng haholo le li-motor tsa sethala le tsona li ka sebetsa ka botsitso, li fana ka tiisetso e tsoelang pele le e tšepahalang ea ho nepahala ha nanoscale bakeng sa tlhahiso ea li-chip, le ho thusa indasteri ea li-semiconductor ho fetela boemong bo phahameng ba ts'ebetso.
Nako ea poso: Mmesa-14-2025