Lefapheng la tlhahlobo ea semiconductor wafer, bohloeki ba tikoloho ea kamore ea bohloeki bo amana ka kotloloho le tlhahiso ea sehlahisoa. Ha ts'ebetso ea ts'ebetso ea ho etsa li-chip e ntse e ntlafala, litlhoko tsa sethala sa ho jara lisebelisoa tsa ho lemoha li ntse li eketseha ka thata. Li-platform tsa granite, tse nang le litšoaneleho tsa tsona tsa ho lokolla li-ion tsa tšepe le tšilafalo e tlase ea likaroloana, li fetisitse thepa ea khale ea tšepe e se nang tšepe 'me e fetohile tharollo e ratoang bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahlobo ea liphaphatha.
Granite ke lejoe la tlhaho la tlhaho le entsoeng ka liminerale tse seng tsa tšepe tse kang quartz, feldspar le mica. Tšobotsi ena e fana ka monyetla oa ho lokolloa ha ion ea tšepe ea zero. Ka lehlakoreng le leng, tšepe e sa hloekang, joalo ka motsoako oa tšepe joalo ka tšepe, chromium le nickel, e tloaetse ho bola ka electrochemical holim'a eona ka lebaka la khoholeho ea mouoane oa metsi le likhase tse nang le asiti kapa alkaline tikolohong e hloekileng, e bakang ho na ha li-ion tsa tšepe tse joalo ka Fe²⁺ le Cr³⁺. Hang ha li-ion tsena tse nyane li hokela ka holim'a sekoti, li tla fetola thepa ea motlakase ea lisebelisoa tsa semiconductor lits'ebetsong tse latelang tse kang photolithography le etching, li baka ho hoholeha ha motlakase oa transistor, esita le ho lebisa lipotolohong tse khutšoane potolohong. Lintlha tsa tlhahlobo ea setsi sa setsebi li bontša hore ka mor'a hore sethala sa granite se lule se pepesehile mocheso o hloekileng oa kamoreng le tikoloho ea mongobo (23±0.5 ℃, 45% ± 5% RH) bakeng sa lihora tse 1000, ho lokolloa ha li-ion tsa tšepe ho ne ho le tlaase ho feta moeli oa ho lemoha (<0.1ppb). Sekhahla se nang le sekoli se bakoang ke tšilafalo ea ion ea tšepe ha u sebelisa sethala sa tšepe e sa hloekang se ka ba holimo ho 15% ho isa ho 20%.
Mabapi le taolo ea tšilafalo ea likaroloana, sethala sa granite le sona se sebetsa hantle haholo. Likamore tsa bohloeki li na le litlhoko tse phahameng haholo bakeng sa ho bokellana ha likaroloana tse emisitsoeng moeeng. Ka mohlala, ka likamoreng tsa bohloeki tsa ISO Class 1, palo ea likaroloana tsa 0.1μm tse lumelloang ka mithara ea cubic ha e fete 10. Esita le haeba sethala sa tšepe e sa hloekang se fetile kalafo ea polishing, se ka 'na sa hlahisa lithōle tsa tšepe kapa sekala sa oxide se phunyeletsang ka lebaka la matla a ka ntle a kang ho sisinyeha ha thepa le ts'ebetso ea basebetsi, e ka sitisang mokhoa oa ho lemoha optical oa optical kapa holim'a metsi. Li-platform tsa granite, tse nang le sebopeho sa liminerale tse teteaneng (boima ba ≥2.7g / cm³) le boima bo phahameng (6-7 ka tekanyo ea Mohs), ha li na tloaelo ea ho apara kapa ho senyeha nakong ea tšebeliso ea nako e telele. Litekanyo tse lekantsoeng li bonts'a hore li ka fokotsa bongata ba likaroloana tse emisitsoeng moeeng oa sebaka sa lisebelisoa tsa ho lemoha ka ho feta 40% ha li bapisoa le lipolanete tsa tšepe tse sa hloekang, ho boloka ka katleho litekanyetso tsa boemo ba kamore ea ho hloekisa.
Ntle le litšoaneleho tsa eona tse hloekileng, ts'ebetso e felletseng ea sethala sa granite le eona e feta hole ea tšepe e sa hloekang. Mabapi le botsitso ba mocheso, coefficient ea eona ea katoloso ea mocheso ke feela (4-8) × 10⁻⁶/℃, e ka tlase ho halofo ea tšepe e sa hloekang (e ka bang 17×10⁻⁶/℃), e ka bolokang boemo bo nepahetseng ba boemo ba lisebelisoa tsa ho lemoha ha mocheso ka kamoreng e hloekileng o fetoha. Tšobotsi e phahameng ea damping (damping ratio> 0.05) e ka fokotsa ka potlako ho sisinyeha ha lisebelisoa le ho thibela probe ea ho lemoha ho sisinyeha. Ho hanyetsa ha eona ha tlhaho ho etsa hore e lule e tsitsitse le ha e pepesehetse li-solvents tsa photoresist, likhase tsa etching le lik'hemik'hale tse ling ntle le tlhokahalo ea tšireletso e eketsehileng ea ho roala.
Hajoale, li-platform tsa granite li sebelisoa haholo limela tse tsoetseng pele tsa ho etsa li-wafer. Lintlha li bonts'a hore kamora ho amohela sethala sa granite, sekhahla sa kahlolo e fosahetseng ea ho sibolloa ha likaroloana tsa wafer se theohile ka 60%, potoloho ea ho lekanya lisebelisoa e ekelitsoe ka makhetlo a mararo, 'me theko ea kakaretso ea tlhahiso e theohile ka 25%. Ha indasteri ea semiconductor e ntse e tsoela pele ka mokhoa o nepahetseng haholoanyane, lipolanete tsa granite, ka melemo ea tsona ea mantlha joalo ka tokollo ea tšepe ea zero le tšilafalo e tlase ea likaroloana, e tla tsoelapele ho fana ka ts'ehetso e tsitsitseng le e tšepahalang bakeng sa tlhahlobo ea li-wafer, e fetoha matla a bohlokoa a tsamaisang tsoelopele ea indasteri.
Nako ea poso: May-20-2025