Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, ho nepahala ke ntho e 'ngoe le e' ngoe. Ha theknoloji ea tlhahiso ea li-chip e ntse e tsoela pele ho ea boemong ba nanometer esita le boemong ba nanometer, phoso leha e le efe e nyenyane e ka lebisa ho fokotseha ha ts'ebetso ea chip kapa esita le ho hlōleha ho feletseng. Tlholisanong ena ea ho nepahala ho hoholo, lisebelisoa tse nepahetseng tsa granite, tse nang le litšobotsi tse ikhethang tsa 'mele le tsa mochini, li fetohile ntho ea bohlokoa ho netefatsa ho nepahala ha nanoscale ea tlhahiso ea chip.
Ho tsitsa ho ikhethang ho rala motheo oa ho nepahala
Tikoloho ea workshop ea tlhahiso ea semiconductor e rarahane, 'me lintlha tse ka ntle tse kang ho thothomela le liphetoho tsa mocheso li lula li sokela ho nepahala ha tlhahiso. Lisebelisoa tse nepahetseng tsa granite li na le botsitso bo phahameng haholo, li fana ka motheo o tiileng oa tlhahiso ea chip. Sebopeho sa eona sa ka hare se teteaneng ebile se tšoana, se entsoe ka mekhoa ea jeoloji ka lilemo tse limilione tse makholo, 'me se na le tšobotsi ea tlhaho ea ho phophoma ho phahameng. Ha ho thothomela ka ntle ho fetisetsoa thepa ea tlhahiso, likarolo tse nepahetseng tsa granite li ka monya le ho theola matla a fetang 80% a matla a ho sisinyeha, ho fokotsa haholo tšusumetso ea ho thothomela ho thepa e nepahetseng.
Tšobotsi ena ke ea bohlokoa ka ho khetheha ts'ebetsong ea photolithography. Photolithography ke mohato oa bohlokoa oa ho fetisetsa mekhoa ea meralo ea li-chips holim'a li-wafers tsa silicon, tse hlokang hore mochini o sebetsang oa photolithography o boloke botsitso bo phahameng haholo. Sebaka sa mosebetsi sa granite precision workbench se ka arola tšitiso ea ho sisinyeha ho tloha mokatong oa workshop le lisebelisoa tse ling, ho etsa bonnete ba hore phoso ea boemo bo lekanyelitsoeng pakeng tsa sephaphatha sa silicon le mask a photolithography e laoloa boemong ba nanometer nakong ea ts'ebetso ea mochine oa photolithography, ka hona ho netefatsa phetiso e nepahetseng ea mohlala.
Ho phaella moo, coefficient ea ho atolosoa ha mocheso oa granite e tlaase haholo, hangata ho tloha ho 5 ho ea ho 7 × 10⁻⁶/℃. Nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor, mocheso o hlahisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa le ho feto-fetoha ha mocheso oa tikoloho ea workshop ho ka baka deformation ea mocheso oa thepa. Lisebelisoa tse nepahetseng tsa granite li batla li sa amehe ke liphetoho tsa mocheso 'me li ka lula li boloka litekanyo le libopeho tse tsitsitseng. Mohlala, ts'ebetsong ea etching ea chip, esita le phetoho e nyane ea mocheso e ka baka katoloso ea mocheso ea likarolo tsa bohlokoa tsa sesebelisoa sa etching, e leng se bakang ho kheloha botebong le ho nepahala. Leha ho le joalo, ho sebelisa lisebelisoa tse nepahetseng tsa granite e le tšehetso le likarolo tse jereng mojaro ho ka thibela boemo bona hore bo se ke ba etsahala, ho netefatsa ho nepahala le ho tsitsisa ha mokhoa oa etching.
Melemo e phahameng ea ts'ebetso le boleng bo holimo
Theknoloji e phahameng ea ho sebetsa ka mokhoa o phahameng oa likarolo tse nepahetseng tsa granite le eona ke ntlha ea bohlokoa ho netefatsa hore tlhahiso ea li-chips e nepahetse. Ka theknoloji e tsoetseng pele ea ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng haholo, ho bata ha bokaholimo, ho otloloha le matšoao a mang a nepahetseng a lisebelisoa tsa granite li ka fihla maemong a holimo haholo. Mohlala, ka ho sebelisa mekhoa ea ho sila ea CNC le ho bentša, bokaholimo ba granite bo ka fokotsoa ho isa boemong ba nanometer, ho etsa hore bokaholimo bo atamele ho tšoana le seipone.
Lisebelisoa tsa ho etsa li-chip, boleng bo holimo ba boleng bo holimo ba likarolo tse joalo ka liporo tse nepahetseng tsa granite le li-slider li ka fokotsa ho hohlana le ho roala lipakeng tsa likarolo tse tsamaeang. Sena ha se ntlafatse feela botsitso le ho nepahala ha motsamao oa thepa, empa hape se lelefatsa bophelo ba tšebeletso ea thepa. Nka mohlala oa lisebelisoa tsa ho paka li-chip. Mekhoa e nepahetseng ea tataiso ea granite e ka etsa bonnete ba hore phoso ea motsamao oa hlooho ea liphutheloana ha e nka le ho beha chip e laoloa ho micrometer kapa esita le boemong ba nanometer, ka tsela eo ho finyella ho lumellana ho nepahetseng le khokahanyo e ka tšeptjoang pakeng tsa chip le substrate ea ho paka.
Anti-wear le botsitso ba nako e telele
Ho etsa semiconductor ke ts'ebetso e tsoelang pele le ea nako e telele ea tlhahiso, 'me lisebelisoa li hloka ho sebetsa ka mokhoa o tsitsitseng nako e telele. Granite e na le khanyetso e ntle ea ho apara, e nang le boima ba Mohs ba 6 ho isa ho 7, e khonang ho mamella metsamao le meroalo ea nako e telele. Ts'ebetsong ea letsatsi le letsatsi ea lisebelisoa tsa ho etsa li-chip, likarolo tse nepahetseng tsa granite ha li tloaele ho taboha ebile li ka lula li boloka ts'ebetso e tsitsitseng le ho nepahala.
Ha ho bapisoa le lisebelisoa tse ling, granite ha e bone deformation ea mokhathala kapa ho senyeha ha ts'ebetso nakong ea tšebeliso ea nako e telele. Sena se bolela hore lisebelisoa tsa tlhahiso ea chip tse sebelisang likarolo tse nepahetseng tsa granite li ntse li ka boloka ho nepahala le botsitso bo phahameng ka mor'a ts'ebetso ea nako e telele, ka katleho ho fokotsa sekhahla sa sekoli sa sehlahisoa se bakoang ke ho theoha ha thepa e nepahetseng. Bakeng sa baetsi ba semiconductor, sena ha se ntlafatse katleho ea tlhahiso feela empa hape se fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.
Qetello
Tseleng ea ho phehella ho nepahala ha nanoscale tlhahisong ea semiconductor, likarolo tse nepahetseng tsa granite li bapala karolo e ke keng ea nkeloa sebaka ka botsitso ba tsona bo ikhethang, ts'ebetso e nepahetseng e phahameng le ts'epo ea nako e telele. Ho tloha ho photolithography ho ea ho etching, ho tloha ho pakete ea chip ho isa litekong, lisebelisoa tse nepahetseng tsa granite li tsamaisa sehokelo se seng le se seng sa tlhahiso ea li-chip, li fana ka tiisetso e tiileng bakeng sa ho etsoa ha li-chips ka mokhoa o nepahetseng haholo. Ka nts'etsopele e tsoelang pele ea theknoloji ea semiconductor, litlhoko tsa ho nepahala li tla eketseha le ho feta. Likarolo tse nepahetseng tsa granite le tsona li tla tsoelapele ho bapala karolo ea bohlokoa tšimong ena, ho thusa indasteri ea semiconductor ho lula e fihla bophahamong bo bocha. Ebang ke hona joale kapa nakong e tlang, likarolo tse nepahetseng tsa granite li tla lula e le tsona matla a mantlha a netefatsang ho nepahala ha boemo ba nanometer tlhahisong ea semiconductor.
Nako ea poso: May-07-2025