Lefatšeng le nang le ho nepahala ho hoholo ha tlhahiso ea semiconductor—moo mamello ea nanometer-scale e laolang chai le ts'ebetso—khetho ea thepa ea motheo oa mochini ha se feela ntlha ea moralo; ke qeto ea leano e amang botsitso ba nako e telele, phallo, le ROI. Le hoja tšepe e entsoeng ka tšepe e sebelelitse nako e telele e le mosebetsi oa indasteri, metheo ea mochini oa granite e nepahetseng e hlahile e le tekanyetso ea khauta e sa hanyetsoang bakeng sa lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa lithography, litsamaiso tsa metrology, le liforomo tsa tlhahlobo ea wafer. Lebaka ke lena.
1. Botsitso ba Thermal bo sa Bapisoeng bakeng sa ho Tsitsisa ha Sub-Micron
Di-semiconductor fabs di sebetsa tlasa maemo a mocheso a laolwang ka thata, empa esita le diphetoho tse nyane di ka baka ho sisinyeha ha ditsamaiso tsa tekanyo kapa tsa ho hokahanya. Granite e na le coefficient e tlase haholo ya katoloso ya mocheso (CTE) ya hoo e ka bang 3 × 10⁻⁶/°C—e ka tlase ho karolo ya boraro ya tshepe e lahletsweng (~11 × 10⁻⁶/°C). Sena se bolela hore motheo wa mochini wa granite o boloka botsitso ba dibopeho ho pholletsa le diphetoho tsa mocheso, ho netefatsa tshebetso e tsitsitseng ntle le ho lekanngwa hape kamehla. Bakeng sa ditshebetso tse kang EUV lithography kapa athomo-layer deposition, ho se sebetse hona ha mocheso ha ho buisanwe.
2. Ho Thibela ho Thothometsa ho Phahameng Ntle le ho Qaqahala ho Eketsehileng
Ho thothomela ha maqhubu a phahameng ho tsoa lipompong, li-chiller, kapa lisebelisoa tse haufi ho ka fifatsa li-sensor tsa litšoantšo kapa tsa sitisa mahlaseli a li-elektrone. Sebopeho sa tlhaho sa kristale sa Granite se fana ka ho damping ha vibration, ho monya ho feta 85% ea ho thothomela ha maqhubu a phahameng (>500 Hz) - e sebetsang hantle ho feta ~70% ea tšepe e entsoeng ka tšepe. Ho fapana le metheo ea tšepe e atisang ho hloka litsamaiso tsa kantle tse sebetsang kapa tse sa sebetseng, motheo oa granite o nepahetseng o fana ka botsitso bo hahiloeng kahare, o fokotsa ho rarahana ha sistimi le sebaka ha o ntse o ntlafatsa likarohano tsa lets'oao-ho-lerata litekanyong tse bonolo.
“Tlas'eng ea rona ea ho hloekisa kamore, ho fetohela motheong oa granite ho fokolitse ho thothomela ha sethala ka 40%, ho ntlafatsa ka ho toba ho nepahala ha overlay.” — Moenjiniere oa Ts'ebetso, Tier-1 Semiconductor Equipment OEM
3. Ho se be le tshenyeho le ho se sebetse hantle ha dikhemikhale dibakeng tse thata
Lisebelisoa tsa semiconductor hangata li sebetsa likamoreng tse nang le vacuum e ngata kapa li pepesetsa likarolo ho li-etchants tse matla le lintho tse hloekisang (mohlala, HF, plasma ea Cl₂). Tšepe e entsoeng ka tšepe, ho sa tsotellehe ho koaheloa, e lula e le kotsing ea oxidation le ho taboha ha nako e ntse e ea. Ka lehlakoreng le leng, granite ha e na lik'hemik'hale, ha e na masoba, 'me e hanela mafome kapa ho senyeha ha lik'hemik'hale. Sena se felisa nako ea ho se sebetse ha tlhokomelo bakeng sa ho lokisa bokaholimo 'me se netefatsa bophelo ba ts'ebeletso ea lilemo tse mashome-leha libakeng tsa ts'ebetso e senyang.
4. Ho Boloka ka Nepo ka Nako e Telele Ntle le Kgatelelo ya Ka Hare
Liforomo tsa tšepe tse entsoeng ka tšepe li na le likhatello tse setseng tse bakoang ke ho lahla le ho sebetsa, tse ka phomolang butle-butle ha lilemo li ntse li feta—li baka ho sotha ho poteletseng le ho kheloha ka nepo. Granite, e entsoeng ka lilemo tse limilione e tebileng ka tlas'a lefatše, e fihla e se na khatello ea maikutlo. Hang ha e siloa ka nepo ho fihlela e bataletse ka tekanyo ea 00 (≤0.005 mm/m²), e boloka jiometri eo ka ho kheloha ho fokolang (<0.2 µm ho feta lilemo tse 5). Tšepo ena ea "ho beha le ho lebala" e fetolela linako tse telele tsa ho lekanya le litšenyehelo tse tlase tsa beng.
5. Ho Sireletsa Matla ka Motlakase le ho se Sireletse Matla ka Motlakase bakeng sa Lisebelisoa tsa Elektronike tse Bonolo
Ho sitisoa ha makenete ho ka sotha litsela tsa elektrone ho li-SEM kapa bangoli ba e-beam. Tlhaho ea Granite e seng ea makenete e felisa kotsi ena ka ho feletseng. Ho phaella moo, ho thibela motlakase ho thibela maqhubu a lahlehileng kapa li-loops tsa fatše—tse bohlokoa bakeng sa ho sireletsa li-sensor arrays tse bonolo le lisebelisoa tsa taolo ea elektroniki ho metrology le lisebelisoa tsa tlhahlobo.
Ntlha ea Bohlokoa bakeng sa Baqapi ba Lisebelisoa tsa Semiconductor
Leha tšepe e entsoeng ka tšepe e fana ka melemo ea ho hanyetsa tšusumetso le bokhoni ba ho jara mojaro o boima, metheo ea mochini oa granite o nepahetseng e fana ka trifecta e hlokoang ke tlhahiso ea semiconductor ea moloko o latelang:
✅ Ho tsitsa ha mocheso
✅ Ho fokotsa ho thothomela ho sa sebetseng
✅ Botšepehi ba jiometri ba nako e telele
✅ Ho tsitsa ha mocheso
✅ Ho fokotsa ho thothomela ho sa sebetseng
✅ Botšepehi ba jiometri ba nako e telele
Ho ZHHIMG, re ikhethile ka likarolo tsa granite tse nepahetseng haholo tse entsoeng bakeng sa lits'ebetso tse thata ka ho fetisisa - ho tloha ho li-prober tsa wafer tsa 300mm ho ea ho li-platform tsa liteko tsa quantum computing. Laboratori ea rona ea metrology ea ka hare e netefatsa hore setsi se seng le se seng se fihlela mamello ea ho se lekane ha ≤1 µm, ka li-geometri tse ikhethileng, masoba a kobehileng, le li-fiducial tse kentsoeng tse fumanehang bakeng sa kopanyo e se nang sekoli.
Na u se u loketse ho sireletsa sethala sa hau sa lisebelisoa nakong e tlang?
→ Kopa sete ea sampole ea granite ea mahala
→ Khoasolla Tataiso ea rona ea Moralo oa Granite ea Semiconductor-Grade
→ Ikopanye le sehlopha sa rona sa boenjiniere bakeng sa tlhahlobo ea kopo ea lekunutu
→ Kopa sete ea sampole ea granite ea mahala
→ Khoasolla Tataiso ea rona ea Moralo oa Granite ea Semiconductor-Grade
→ Ikopanye le sehlopha sa rona sa boenjiniere bakeng sa tlhahlobo ea kopo ea lekunutu
ZHHIMG – Moo ho Nepahala ho Kopanang le Bosafeleng.
Nako ea poso: Hlakubele-20-2026