Masimong a kang tlhahiso ea semiconductor le lisebelisoa tsa ho lekanya ka nepo, ho nepahala ha liforomo tsa granite tse nepahetseng ho khetholla ka kotloloho boleng ba ts'ebetso ea lisebelisoa. Ho netefatsa hore ho nepahala ha sethala ho fihlela maemo, boiteko bo lokela ho etsoa ho tsoa likarolong tse peli: ho lemoha matšoao a bohlokoa le ho latela melao e tloaelehileng.
Ho lemoha pontsho ya mantlha: Taolo ya ho nepahala ya mahlakore a mangata
Ho lemoha ho batalla: Ho fumana "ho batalla" ha sefofane sa litšupiso
Ho batala ke sesupo sa mantlha sa liforomo tsa ho nepahala ha granite, 'me hangata ho lekanngoa ka li-interferometer tsa laser kapa maemo a elektroniki. Interferometer ea laser e ka lekanya ka nepo li-undulations tsa motsotso holim'a sethala ka ho ntša mahlaseli a laser le ho sebelisa molao-motheo oa tšitiso ea leseli, ka ho nepahala ho fihlang boemong ba sub-micron. Boemo ba elektroniki bo lekanya ka ho tsamaea ka makhetlo a mangata 'me bo taka' mapa oa sebopeho sa mahlakore a mararo oa sebaka sa sethala ho bona hore na ho na le lipotoloho kapa likoti tsa lehae. Mohlala, liforomo tsa granite tse sebelisoang mechini ea photolithography ea semiconductor li hlokahala hore li be le ho batala ba ±0.5μm/m, ho bolelang hore phapang ea bophahamo ka har'a bolelele ba mithara e le 'ngoe ha ea lokela ho feta halofo ea micrometer. Ke ka lisebelisoa tsa ho lemoha ka nepo e phahameng feela moo maemo ana a thata a ka netefatsoang.
2. Ho lemoha ho otloloha: Netefatsa "ho otloloha" ha motsamao o otlolohileng
Bakeng sa liforomo tse nang le likarolo tse tsamaeang ka nepo, ho otloloha ho bohlokoa haholo. Mekhoa e tloaelehileng ea ho lemoha ke mokhoa oa terata kapa laser collimator. Mokhoa oa terata o kenyelletsa ho leketlisa lithapo tsa tšepe tse nepahetseng haholo le ho bapisa sekheo pakeng tsa bokaholimo ba sethala le lithapo tsa tšepe ho fumana ho otloloha. Laser collimator e sebelisa litšobotsi tsa ho phatlalatsoa ha linear tsa laser ho lemoha phoso ea linear ea bokaholimo ba ho kenya rail ea tataiso ea sethala. Haeba ho otloloha ho sa fihlelle maemo, ho tla etsa hore lisebelisoa li fetohe nakong ea motsamao, e leng se amang ho nepahala ha ts'ebetso kapa tekanyo.
3. Ho lemoha ho se tsitse ha bokaholimo: Netefatsa hore ho na le "botsitso" ba ho kopana
Ho batalatsa ha bokaholimo ba sethala ho ama ho lekana ha ho kenngwa ha dikarolo. Ka kakaretso, ho sebediswa sesupa-tsela sa ho batalatsa ha stylus kapa microscope ya optical bakeng sa ho lemoha. Sesebediswa sa mofuta wa stylus se tlaleha diphetoho tsa bophahamo ba profil ya microscopic ka ho ikopanya le bokaholimo ba sethala ka probe e nyane. Di microscope tsa optical di ka bona sebopeho sa bokaholimo ka ho toba. Ditshebedisong tse nepahetseng haholo, ho batalatsa ha bokaholimo ba di-platform tsa granite ho hloka ho laolwa ho Ra≤0.05μm, e leng se lekanang le phello e kang ya seipone, ho netefatsa hore dikarolo tse nepahetseng di lekana hantle nakong ya ho kenngwa le ho qoba ho thothomela kapa ho falla ho bakwang ke dikgeo.
Litekanyetso tsa ho nepahala lia latela: melao ea machaba le taolo ea ka hare ea khoebo
Hona jwale, maemong a matjhaba, maemo a ISO 25178 le GB/T 24632 a sebediswa hangata e le motheo wa ho fumana ho nepahala ha dipolatefomo tsa granite, mme ho na le dihlopha tse hlakileng tsa matshwao a kang ho ba bataletse le ho otloloha. Ho feta moo, dikgwebo tsa tlhahiso ya maemo a hodimo hangata di beha maemo a thata a taolo ya ka hare. Mohlala, tlhoko ya ho ba bataletse bakeng sa polatefomo ya granite ya mochini wa photolithography e phahame ka 30% ho feta maemo a matjhaba. Ha ho etswa diteko, data e lekantsweng e lokela ho bapiswa le maemo a tsamaellanang. Ke dipolatefomo tse latelang maemo ka botlalo feela tse ka netefatsang tshebetso e tsitsitseng disebedisweng tse nepahetseng.
Ho hlahloba ho nepahala ha liforomo tsa ho nepahala ha granite ke projeke e hlophisitsoeng. Ke ka ho leka ka tieo matšoao a mantlha a kang ho ba bataletse, ho otloloha, le ho ba thata ha bokaholimo, le ho khomarela maemo a machaba le a likhoebo, moo ho nepahala ho hoholo le ho tšepahala ha sethala ho ka tiisetsoang, ho beha motheo o tiileng bakeng sa masimo a tlhahiso a maemo a holimo joalo ka li-semiconductor le lisebelisoa tsa ho nepahala.
Nako ea poso: Mots'eanong-21-2025