Likarolong tse kang tlhahiso ea semiconductor le lisebelisoa tsa ho metha ka mokhoa o nepahetseng, ho nepahala ha li-platform tsa granite tse nepahetseng ka ho toba ho khetholla boleng ba ts'ebetso ea lisebelisoa. Ho etsa bonnete ba hore ho nepahala ha sethala ho kopana le litekanyetso, boiteko bo lokela ho etsoa ho tsoa likarolong tse peli: ho lemoha matšoao a bohlokoa le ho lumellana le mekhoa e tloaelehileng. .
Ho lemoha ha matšoao a mantlha: Taolo ea ho nepahala ka mekhahlelo e mengata
Ho lemoha ho batalla: Ho tseba "ho batalla" ha sefofane sa litšupiso
Flatness ke sesupo sa mantlha sa lipolanete tse nepahetseng tsa granite, 'me hangata li lekantsoe ka li-interferometer tsa laser kapa maemo a elektroniki. Laser interferometer e ka khona ho lekanya ka nepo metsotso e seng mekae holim'a sethala ka ho ntša lebone la laser le ho sebelisa molao-motheo oa ho kena-kenana le leseli, ka ho nepahala ho fihla boemong ba sub-micron. Boemo ba elektronike bo lekanya ka ho tsamaea ka makhetlo a mangata le ho hula 'mapa o nang le mahlakore a mararo a sebaka sa sethala ho bona hore na ho na le li-protrusions tsa sebakeng seo kapa ho tepella maikutlong. Ka mohlala, lipolanete tsa granite tse sebelisoang mechineng ea semiconductor photolithography li hlokeha ho ba le sephara sa ± 0.5μm/m, ho bolelang hore phapang ea bophahamo ka har'a bolelele ba limithara tse 1 ha ea lokela ho feta halofo ea micrometer. Ke feela ka lisebelisoa tsa ho lemoha tse nepahetseng haholo moo maemo ana a thata a ka netefatsoang. .
2. Ho lemoha ho otloloha: Netefatsa "ho otloloha" ha motsamao oa mola
Bakeng sa li-platform tse nang le likarolo tse tsamaeang hantle, ho otloloha ho bohlokoa haholo. Mekhoa e tloaelehileng ea ho lemoha ke mokhoa oa terata kapa laser collimator. Mokhoa oa terata o kenyelletsa ho emisa lithapo tsa tšepe tse phahameng ka ho nepahala le ho bapisa lekhalo pakeng tsa holim'a sethala le lithapo tsa tšepe ho fumana hore na ho otlolohile hakae. Laser collimator e sebelisa litšobotsi tsa linear propagation tsa laser ho bona phoso ea mola oa sebaka sa ho kenya seporo sa sethala sa tataiso. Haeba ho otloloha ho sa finyelle maemo, ho tla etsa hore lisebelisoa li fetohe nakong ea ho sisinyeha, ho ama ho sebetsa kapa ho lekanya ho nepahala. .
3. Ho lemoha ho hlaka ha sefahleho: Netefatsa "boemo" ba ho kopana
Bokaholimo ba sethala bo ama ho lekana ha ho kenya likarolo. Ka kakaretso, stylus roughness meter kapa microscope ea optical e sebelisoa ho lemoha. Sesebelisoa sa mofuta oa stylus se tlaleha liphetoho tsa bophahamo ba profil ea microscopic ka ho ikopanya le sethala ka probe e ntle. Li-microscopes tsa mahlo li khona ho sheba ka ho toba sebopeho sa bokaholimo. Lits'ebetsong tse phahameng ka ho fetisisa, ho thatafala ha holim'a sethala sa granite ho hloka ho laoloa ho Ra≤0.05μm, e lekanang le phello e kang seipone, ho netefatsa hore likarolo tse nepahetseng li lumellana ka thata nakong ea ho kenya le ho qoba ho thothomela kapa ho falla ho bakoang ke likheo. .
Maemo a nepahetseng a latela: litloaelo tsa machaba le taolo ea ka hare ea khoebo
Hona joale, linaheng tsa machaba, litekanyetso tsa ISO 25178 le GB/T 24632 hangata li sebelisoa e le motheo oa ho tseba ho nepahala ha liforomo tsa granite, 'me ho na le lihlopha tse hlakileng tsa matšoao a kang ho bata le ho otloloha. Ho feta moo, likhoebo tsa tlhahiso ea maemo a holimo hangata li beha litekanyetso tse thata tsa taolo ea kahare. Ka mohlala, tlhokahalo ea flatness bakeng sa sethala sa granite sa mochine oa photolithography e phahame ka 30% ho feta maemo a machaba. Ha ho etsoa liteko, data e lekantsoeng e lokela ho bapisoa le litekanyetso tse lumellanang. Li-platform feela tse lumellanang ka botlalo le litekanyetso li ka netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ka thepa e nepahetseng. .
Ho hlahloba ho nepahala ha li-platform tsa granite tse nepahetseng ke morero o hlophisitsoeng. Ke feela ka ho hlahloba ka tieo matšoao a mantlha a kang ho bata, ho otloloha, le ho hlaba holimo, le ho khomarela litekanyetso tsa machaba le tsa khoebo, moo ho ka tiisetsoang ho nepahala ho phahameng le ho tšepahala ha sethala, ho rala motheo o tiileng bakeng sa masimo a phahameng a tlhahiso a kang li-semiconductors le lisebelisoa tse nepahetseng.
Nako ea poso: May-21-2025