Letotong le nepahetseng la tlhahiso ea semiconductor, sistimi ea phetisetso ea li-wafer e tšoana le "mohala oa bophelo oa mohala oa tlhahiso ea chip", 'me botsitso le ho nepahala ha eona li supa ka kotloloho sekhahla sa tlhahiso ea lichipisi. Sistimi e ncha ea phetisetso ea li-wafer e kopanya ka mokhoa o fetohang li-motor tse nang le mela e nang le metheo ea granite, 'me melemo e ikhethang ea lisebelisoa tsa granite ke eona khoutu ea mantlha ea ho notlolla phetisetso e sebetsang hantle haholo.
.
Setsi sa granite: Ho aha "motheo o tiileng oa lejoe" bakeng sa phetiso e tsitsitseng
Granite, kaha e fetile lilemo tse makholo a limilione tsa ntlafatso ea jeoloji, e na le kristale e teteaneng ea ka hare ea liminerale. Tšobotsi ena ea tlhaho e etsa hore e be motheo o loketseng bakeng sa litsamaiso tsa phetisetso ea wafer. Sebakeng se rarahaneng sa li-semiconductor cleanrooms, granite, e nang le ultra-low coefficient ea ho atolosoa ha mocheso (feela 5-7 × 10⁻⁶/℃), e ka hanela mocheso o hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea thepa le tšusumetso ea liphetoho tsa mocheso oa tikoloho, ho netefatsa botsitso ba boholo ba motheo le ho qoba ho kheloha tsela ea phetisetso e bakoang ke ho kheloha. Ts'ebetso ea eona e hlahelletseng ea ho sisinyeha ha vibrate e ka monya ka potlako ho thothomela ha mochini ho hlahisoang nakong ea ho qala, ho koala le ho potlakisa li-motor tse nang le linear, hammoho le litšitiso tse kantle tse tlisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa tse ling setsing sa pokello ea mesebetsi, ho fana ka sethala se tsitsitseng se nang le "zero shake" bakeng sa phetisetso ea wafer. .
Ho sa le joalo, botsitso ba lik'hemik'hale tsa granite bo tiisa hore ha bo senyehe kapa bo se na mafome lithupelong tsa semiconductor moo acid le alkali reaagents li senyehang 'me ho hlokahala bohloeki bo phahameng, kahoo ho qoba tšusumetso ea ho nepahala ha phetisetso ka lebaka la botsofali ba lintho tse bonahalang kapa adsorption e silafetseng. Litšobotsi tse boreleli le tse teteaneng tsa bokaholimo li ka fokotsa ho khomarela lerōle ka katleho, tsa kopana le litekanyetso tse tiileng tsa likamore tse hloekileng tse hlokang lerōle le ho felisa kotsi ea tšilafalo ea liphaphatha ho tsoa motsong. .
Phello ea "tšebelisano ea khauta" ea li-motor le granite
Li-motor tse nang le li-linear, tse nang le litšobotsi tsa tsona tsa ho se be le tumello ea phetisetso ea mochini, lebelo le phahameng le lebelo le phahameng la karabelo, phetisetso ea wafer e nang le melemo ea "ka potlako, e nepahetseng le e tsitsitseng". Setsi sa granite se fana ka sethala sa ts'ehetso se tiileng le se ka tšeptjoang bakeng sa sona. Bobeli ba sebetsa 'moho ho fihlela sekhahla sa ts'ebetso. Ha mochini oa mohala o khanna sepalangoang ho matha pina ea motheo ea granite, ho tiea ho matla le botsitso ba setsi ho netefatsa phetiso e nepahetseng ea matla a ho khanna, ho qoba tahlehelo ea matla kapa phetisetso e bakoang ke deformation ea base. .
E susumetsoa ke tlhoko ea ho nepahala ha nanoscale, li-motor tse nang le mela li ka fihlella taolo ea phalliso ea boemo bo tlase ba micron. Litšobotsi tse phahameng tsa ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng oa metheo ea granite (tse nang le liphoso tsa ho fofa tse laoloang ka hare ho ± 1μm) li lumellana hantle le taolo e nepahetseng ea li-motor tse nang le mela, ka kopanelo ho netefatsa hore phoso ea boemo nakong ea phetisetso ea sephaphatha e ka tlase ho ± 5μm. Hore na ke koloi e tsamaeang ka lebelo le phahameng har'a lisebelisoa tse fapaneng tsa ts'ebetso kapa sebaka sa ho paka makoloi se nepahetseng bakeng sa phetisetso ea liphaephe, motsoako oa li-motor le li-bases tsa granite li ka netefatsa "zero deviation le zero jitter" phetisong ea wafer. .
Netefatso ea mekhoa ea indasteri: ntlafatso e habeli ea katleho le sekhahla sa tlhahiso
Kamora ho ntlafatsa sistimi ea eona ea phetisetso ea li-wafer, khoebo e etelletseng pele ea lefats'e ea semiconductor e ile ea amohela tharollo ea motheo ea mochini + oa granite, e ileng ea eketsa ts'ebetso ea phetisetso ea liphaephe ka 40%, ea fokotsa sekhahla sa liketsahalo tse kang ho thulana le ho fokotsa nakong ea phetisetso ka 85%, le ho ntlafatsa sekhahla sa tlhahiso ea li-chips ka 6%. Ka morao ho data ho na le tiisetso ea botsitso ba phetisetso e fanoeng ke setsi sa granite le phello e potlakileng le e nepahetseng ea synergy ea mochine oa motlakase, o fokotsang haholo tahlehelo le phoso ts'ebetsong ea phetisetso ea liphaphatha. .
Ho tloha ho thepa ea thepa ho ea ho tlhahiso e nepahetseng, ho tloha ho melemo ea ts'ebetso ho ea ho netefatso e sebetsang, motsoako oa li-motor tse nang le mela le metheo ea granite e hlalositse bocha maemo a lits'ebetso tsa phetisetso ea wafer. Nakong e tlang ha theknoloji ea semiconductor e hatela pele ho 3nm le 2nm, lisebelisoa tsa granite li tla tsoela pele ho kenya tšusumetso e matla nts'etsopele ea indasteri ka melemo ea tsona e ke keng ea khutlisoa.
Nako ea poso: May-14-2025