Lekanya botsitso ba mocheso oa sethala sa granite lisebelisoa tsa metering tsa semiconductor.

.
Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, ho nepahala ke mokhoa oa bophelo oa boleng ba sehlahisoa le ts'ebetso. Thepa ea metering ea semiconductor, e le sehokelo sa bohlokoa sa ho netefatsa ho nepahala ha tlhahiso, e beha litlhoko tse batlang li le thata mabapi le botsitso ba likarolo tsa eona tsa mantlha. Har'a tsona, sethala sa granite, se nang le botsitso bo ikhethang ba mocheso, se bapala karolo ea bohlokoa ho lisebelisoa tsa metering tsa semiconductor. Sengoliloeng sena se tla etsa tlhahlobo e tebileng ea ts'ebetso ea botsitso ba mocheso oa sethala sa granite lisebelisoa tsa metering tsa semiconductor ka data ea 'nete ea liteko. .
Litlhoko tse tiileng bakeng sa botsitso ba mocheso oa lisebelisoa tsa ho lekanya ha ho etsoa li-semiconductor
Ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor e rarahane haholo ebile e nepahetse, 'me bophara ba mela ea potoloho ho chip e kene boemong ba nanometer. Ts'ebetsong e joalo ea ho nepahala e phahameng, esita le phetoho e nyenyane ea mocheso e ka baka ho atolosoa ha mocheso le ho fokotseha ha lisebelisoa tsa lisebelisoa, kahoo ho baka liphoso tsa tekanyo. Ka mohlala, ts'ebetsong ea photolithography, haeba tekanyo ea tekanyo ea lisebelisoa tsa metering e kheloha ka 1 nanometer, e ka baka mathata a tebileng a kang lipotoloho tse khutšoanyane kapa li-circuits tse bulehileng lipotolohong tsa chip, e leng se lebisang ho qhaqhoeng ha chip. Ho ea ka lipalo-palo tsa data tsa indasteri, bakeng sa phetoho e 'ngoe le e' ngoe ea mocheso oa 1 ℃, sethala sa lisebelisoa tsa lisebelisoa tsa tšepe tsa setso se ka ba le liphetoho tse nyane tsa nanometer tse 'maloa. Leha ho le joalo, tlhahiso ea semiconductor e hloka ho nepahala ha tekanyo ho laoloa ka har'a ± 0.1 nanometers, e leng se etsang hore botsitso ba mocheso e be ntho ea bohlokoa ho fumana hore na lisebelisoa tsa metering li ka finyella litlhoko tsa tlhahiso ea semiconductor. .

Melemo ea theory ea botsitso ba mocheso oa sethala sa granite
Granite, joalo ka mofuta oa lejoe la tlhaho, e na le crystallization ea ka hare ea liminerale, e nang le sebopeho se teteaneng le se ts'oanang, 'me e na le molemo oa tlhaho oa botsitso ba mocheso. Mabapi le coefficient ea katoloso ea mocheso, coefficient ea katoloso ea mocheso oa granite e tlase haholo, ka kakaretso e tloha ho 4.5 ho isa ho 6.5×10⁻⁶/K. Ka lehlakoreng le leng, coefficient ea ho atolosoa ha mocheso oa lisebelisoa tse tloaelehileng tsa tšepe tse kang li-alloys tsa aluminium li phahame ho feta 23.8×10⁻⁶/K, e leng makhetlo a mangata a granite. Sena se bolela hore tlas'a maemo a fapaneng a ho fetoha ha mocheso, phetoho ea dimensional ea sethaleng sa granite e nyenyane haholo ho feta ea sethala sa tšepe, se ka fanang ka boitsebiso bo tsitsitseng ba tekanyo ea lisebelisoa tsa semiconductor metering. .
Ntle le moo, sebopeho sa kristale sa granite se e fa ho ts'oana hantle ha mocheso oa mocheso. Ha ts'ebetso ea lisebelisoa e hlahisa mocheso kapa mocheso o fetohang, sethala sa granite se ka tsamaisa mocheso ka potlako le ka mokhoa o ts'oanang, ho qoba ho chesa ho feteletseng kapa liketsahalo tse feteletseng, ka tsela eo ka katleho ho boloka ho lumellana ha mocheso ka kakaretso sethaleng le ho tsoela pele ho tiisa botsitso ba ho lekanya ho nepahala. .
Mokhoa le mokhoa oa tekanyo ea botsitso ba mocheso
E le ho hlahloba ka nepo botsitso ba mocheso oa sethala sa granite lisebelisoa tsa metering tsa semiconductor, re qapile leano le matla la ho lekanya. Khetha sesebelisoa sa ho lekanya semiconductor se ka holimo se nepahetseng, se nang le sethala sa granite se sebetsitsoeng hantle haholo. Sebakeng sa liteko, mefuta e fapaneng ea mocheso o fapaneng setsing sa tlhahiso ea semiconductor e ile ea etsisoa, ke hore, butle-butle ho futhumatsa ho tloha 20 ℃ ho ea ho 35 ℃ ebe ho pholiso ho khutlela ho 20 ℃. Ts'ebetso eohle e ile ea nka lihora tse 8. .
Sethaleng sa granite sa sesebelisoa sa ho lekanya, ho behiloe li-wafers tsa silicon tse nepahetseng haholo, 'me li-sensor tsa ho falla tse nang le ho nepahala ha nanoscale li sebelisoa ho lekola liphetoho tse amanang le maemo lipakeng tsa liphaephe tsa silicon le sethala ka nako ea nnete. Ho sa le joalo, li-sensor tse ngata tse phahameng tsa mocheso o phahameng li hlophisitsoe ka maemo a fapaneng sethaleng ho lekola kabo ea mocheso holim'a sethala. Nakong ea teko, data ea phalliso le data ea mocheso li tlalehiloe metsotso e meng le e meng ea 15 ho netefatsa botlalo le ho nepahala ha data. .
Lintlha tse lekantsoeng le tlhahlobo ea sephetho
Kamano pakeng tsa ho fetoha ha mocheso le boholo ba sethala bo fetoha
Lintlha tsa liteko li bontša hore ha mocheso o nyoloha ho tloha 20℃ ho ea ho 35℃, phetoho ea boholo ba mohala oa sethala sa granite e nyane haholo. Kamora ho bala, ts'ebetsong eohle ea ho futhumatsa, katoloso e kholo ea sethala ke li-nanometers tse 0.3 feela, tse tlase haholo ho feta tekanyo ea mamello ea liphoso bakeng sa ho nepahala ha litekanyo lits'ebetsong tsa tlhahiso ea semiconductor. Nakong ea sethala sa ho pholile, boholo ba sethala bo ka batla bo khutlela ka ho feletseng sebakeng sa pele, 'me ketsahalo ea lag ea phetoho ea boholo e ka hlokomolohuoa. Tšobotsi ena ea ho boloka liphetoho tse tlase haholo esita le tlas'a liphetoho tse kholo tsa mocheso e tiisa ka botlalo botsitso ba mocheso oa sethala sa granite. .
Tlhahlobo ea ho lumellana ha mocheso holim'a sethala
Lintlha tse bokelitsoeng ke sensor ea mocheso li bonts'a hore nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa le ts'ebetso ea phetoho ea mocheso, kabo ea mocheso holim'a sethala sa granite e tšoana haholo. Esita le nakong ea sethaleng ha mocheso o fetoha ka matla haholo, phapang ea mocheso pakeng tsa ntlha e 'ngoe le e' ngoe ea tekanyo holim'a sethala e lula e laoloa ka hare ho ± 0.1 ℃. Kabo e ts'oanang ea mocheso e qoba ho senyeha ha sethala ho bakoang ke khatello e sa lekaneng ea mocheso, ho netefatsa ho bata le botsitso ba sebaka sa litšupiso tsa tekanyo, le ho fana ka tikoloho e tšepahalang ea tekanyo ea lisebelisoa tsa semiconductor metrology. .
Ha ho bapisoa le li-platform tsa thepa ea setso
Lintlha tse lekantsoeng tsa sethala sa granite li ne li bapisoa le tsa lisebelisoa tsa metering tsa semiconductor tsa mofuta o tšoanang ho sebelisa sethala sa aluminium alloy, 'me phapang e ne e le ea bohlokoa. Tlas'a maemo a tšoanang a phetoho ea mocheso, katoloso ea mola oa sethala sa aluminium alloy e phahame ho feta li-nanometer tse 2,5, e leng makhetlo a fetang a robeli a sethala sa granite. Ho sa le joalo, kabo ea mocheso holim'a sethala sa aluminium alloy ha e lekane, ka phapang e kholo ea mocheso e fihlang ho 0.8 ℃, e bakang deformation e hlakileng ea sethala mme e ama ho nepahala ha tekanyo. .
Lefatšeng le nepahetseng la lisebelisoa tsa metrology ea semiconductor, lipolanete tsa granite, tse nang le botsitso bo ikhethang ba mocheso, e bile tsona tse ka sehloohong ho netefatsa hore litekanyo li nepahetse. Lintlha tse lekantsoeng li paka ka matla ts'ebetso e ikhethang ea sethala sa granite ho arabela liphetohong tsa mocheso, ho fana ka tšehetso e tšepahalang ea botekgeniki bakeng sa indasteri ea tlhahiso ea li-semiconductor. Ha lits'ebetso tsa tlhahiso ea li-semiconductor li ntse li tsoela pele ho ea ka nepo e phahameng, monyetla oa botsitso ba mocheso oa li-platform tsa granite o tla hlahella le ho feta, o tsoele pele ho tsamaisa boqapi le nts'etsopele ea mahlale indastering.