.
Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, ho nepahala ke mohloli oa bophelo oa boleng ba sehlahisoa le ts'ebetso. Lisebelisoa tsa ho lekanya tsa semiconductor, e le sehokelo sa bohlokoa ho netefatsa ho nepahala ha tlhahiso, li beha litlhoko tse batlang li le thata botsitsong ba likarolo tsa eona tsa mantlha. Har'a tsona, sethala sa granite, ka botsitso ba sona bo ikhethang ba mocheso, se bapala karolo ea bohlokoa haholo lisebelisoa tsa ho lekanya tsa semiconductor. Sengoloa sena se tla etsa tlhahlobo e tebileng ea ts'ebetso ea botsitso ba mocheso ea liforomo tsa granite lisebelisoa tsa ho lekanya tsa semiconductor ka data ea 'nete ea liteko.
Litlhoko tse tiileng bakeng sa botsitso ba mocheso ba lisebelisoa tsa ho lekanya tlhahisong ea semiconductor
Ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor e rarahane haholo ebile e nepahetse, 'me bophara ba mela ea potoloho ho chip bo kene boemong ba nanometer. Ts'ebetsong e joalo ea tlhahiso e nepahetseng haholo, esita le phetoho e nyane ea mocheso e ka baka katoloso ea mocheso le ho honyela ha likarolo tsa lisebelisoa, ka hona ho baka liphoso tsa tekanyo. Mohlala, ts'ebetsong ea photolithography, haeba ho nepahala ha tekanyo ea lisebelisoa tsa metering ho fapana ka nanometer e le 1, ho ka baka mathata a tebileng joalo ka lipotoloho tse khutšoane kapa lipotoloho tse bulehileng lipotolohong ho chip, e leng se lebisang ho ho qhaqhoeng ha chip. Ho ea ka lipalo-palo tsa data tsa indasteri, bakeng sa phetoho e 'ngoe le e 'ngoe ea 1℃ mochesong, sethala sa setso sa lisebelisoa tsa metering tsa tšepe se ka feta liphetohong tsa boholo ba nanometer tse 'maloa. Leha ho le joalo, tlhahiso ea semiconductor e hloka hore ho nepahala ha tekanyo ho laoloe ka har'a nanometer tsa ± 0.1, e leng se etsang hore botsitso ba mocheso e be ntlha ea bohlokoa ho fumaneng hore na lisebelisoa tsa metering li ka fihlela litlhoko tsa tlhahiso ea semiconductor.
Melemo ea khopolo-taba ea botsitso ba mocheso oa liforomo tsa granite
Granite, e le mofuta oa lejoe la tlhaho, e na le kristale ea ka hare ea diminerale e nyane, sebopeho se teteaneng le se ts'oanang, 'me e na le monyetla oa tlhaho oa botsitso ba mocheso. Mabapi le coefficient ea katoloso ea mocheso, coefficient ea katoloso ea mocheso ea granite e tlase haholo, ka kakaretso e tloha ho 4.5 ho isa ho 6.5×10⁻⁶/K. Ka lehlakoreng le leng, coefficient ea katoloso ea mocheso ea thepa e tloaelehileng ea tšepe joalo ka li-alloy tsa aluminium e phahame ho fihlela ho 23.8×10⁻⁶/K, e leng makhetlo a 'maloa a granite. Sena se bolela hore tlas'a maemo a tšoanang a phetoho ea mocheso, phetoho ea boholo ba sethala sa granite e nyane haholo ho feta ea sethala sa tšepe, e ka fanang ka referense e tsitsitseng ea tekanyo bakeng sa lisebelisoa tsa ho lekanya tsa semiconductor.
Ho phaella moo, sebopeho sa kristale sa granite se e fa ho lekana ho hoholo ha ho tsamaisa mocheso. Ha ts'ebetso ea lisebelisoa e hlahisa mocheso kapa mocheso o fetohang tikolohong, sethala sa granite se ka tsamaisa mocheso kapele le ka ho lekana, se qoba ho chesa haholo sebakeng seo kapa liketsahalo tsa ho pholisa ho feta tekano, ka hona se boloka botsitso ba mocheso ka kakaretso oa sethala ka katleho le ho netefatsa botsitso ba ho nepahala ha tekanyo.
Mokhoa le mokhoa oa ho lekanya botsitso ba mocheso
E le ho lekola ka nepo botsitso ba mocheso ba sethala sa granite lisebelisoa tsa ho lekanya tsa semiconductor, re entse moralo o tiileng oa ho lekanya. Khetha sesebelisoa sa ho lekanya sa wafer sa semiconductor se nepahetseng haholo, se nang le sethala sa granite se sebetsitsoeng ka nepo haholo. Tikolohong ea liteko, mefuta e tloaelehileng ea phapang ea mocheso setsing sa tlhahiso sa semiconductor e ile ea etsisoa, ke hore, e futhumatsa butle-butle ho tloha ho 20℃ ho isa ho 35℃ ebe e pholile ho khutlela ho 20℃. Ts'ebetso eohle e nkile lihora tse 8.
Sethaleng sa granite sa sesebelisoa sa ho lekanya, ho beoa li-wafer tsa silicon tse tloaelehileng tse nepahetseng haholo, 'me li-sensor tsa ho falla tse nang le ho nepahala ha nanoscale li sebelisoa ho lekola liphetoho tsa boemo bo amanang pakeng tsa li-wafer tsa silicon le sethala ka nako ea sebele. Ho sa le joalo, li-sensor tse ngata tsa mocheso o nepahetseng haholo li hlophisitsoe libakeng tse fapaneng sethaleng ho lekola kabo ea mocheso holim'a sethala. Nakong ea teko, data ea ho falla le data ea mocheso li ile tsa tlalehoa metsotso e meng le e meng e 15 ho netefatsa hore data e feletse ebile e nepahetse.
Lintlha tse lekantsoeng le tlhahlobo ea liphetho
Kamano pakeng tsa liphetoho tsa mocheso le liphetoho tsa boholo ba sethala
Lintlha tsa liteko li bontša hore ha mocheso o nyoloha ho tloha ho 20℃ ho ea ho 35℃, phetoho ea boholo ba mola oa sethala sa granite e nyane haholo. Kamora ho bala, ts'ebetsong eohle ea ho futhumatsa, katoloso e kholo ea mola oa sethala ke li-nanometer tse 0.3 feela, e leng tlase haholo ho feta sebaka sa mamello ea liphoso bakeng sa ho nepahala ha tekanyo lits'ebetsong tsa tlhahiso ea semiconductor. Nakong ea mohato oa ho pholisa, boholo ba sethala bo ka khutlela boemong ba pele ka botlalo, 'me ketsahalo ea ho lieha ha phetoho ea boholo e ka hlokomolohuoa. Tšobotsi ena ea ho boloka liphetoho tse tlase haholo tsa boholo esita le tlas'a liphetoho tse kholo tsa mocheso e netefatsa ka botlalo botsitso bo ikhethang ba mocheso ba sethala sa granite.
Tlhahlobo ea ho tšoana ha mocheso holim'a sethala
Lintlha tse bokelletsoeng ke sensor ea mocheso li bontša hore nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa le ts'ebetso ea phetoho ea mocheso, kabo ea mocheso holim'a sethala sa granite e ts'oana haholo. Esita le nakong ea mohato oo mocheso o fetohang ka matla haholo, phapang ea mocheso pakeng tsa ntlha e 'ngoe le e 'ngoe ea tekanyo holim'a sethala e lula e laoloa ka har'a ± 0.1℃. Kabo ea mocheso o ts'oanang e qoba phetoho ea sethala e bakoang ke khatello e sa lekanang ea mocheso, e netefatsa hore bokaholimo ba litšupiso tsa tekanyo bo bataletse ebile bo tsitsitse, 'me e fana ka tikoloho e tšepahalang ea tekanyo bakeng sa lisebelisoa tsa metrology ea semiconductor.
Ha ho bapisoa le li-platform tsa thepa tsa setso
Lintlha tse lekantsoeng tsa sethala sa granite li bapisitsoe le tsa lisebelisoa tsa ho lekanya tsa semiconductor tsa mofuta o tšoanang tse sebelisang sethala sa alloy ea aluminium, 'me liphapang li ne li le bohlokoa. Tlas'a maemo a tšoanang a phetoho ea mocheso, katoloso e otlolohileng ea sethala sa alloy ea aluminium e phahame ho fihlela ho 2.5 nanometers, e leng makhetlo a fetang robeli ho feta sethala sa granite. Ho sa le joalo, kabo ea mocheso holim'a sethala sa alloy ea aluminium ha e lekane, ka phapang e phahameng ka ho fetisisa ea mocheso e fihlang ho 0.8℃, e leng se fellang ka ho fetoha ho totobetseng ha sethala le ho ama ka botebo ho nepahala ha tekanyo.
Lefatšeng le nepahetseng la lisebelisoa tsa metrology tsa semiconductor, li-platform tsa granite, ka botsitso ba tsona bo ikhethang ba mocheso, li fetohile motheo oa ho netefatsa ho nepahala ha tekanyo. Lintlha tse lekantsoeng li paka ka matla ts'ebetso e ikhethang ea sethala sa granite ho arabeleng liphetoho tsa mocheso, li fana ka tšehetso e tšepahalang ea tekheniki bakeng sa indasteri ea tlhahiso ea semiconductor. Ha lits'ebetso tsa tlhahiso ea semiconductor li ntse li tsoela pele ho ea ho nepahalo e phahameng, monyetla oa botsitso ba mocheso oa li-platform tsa granite o tla hlahella haholoanyane, o ntse o khanna boqapi ba theknoloji le nts'etsopele indastering.
Nako ea poso: Mots'eanong-13-2025