Moeling oa tlhahiso e nepahetseng le lipatlisiso tsa mahlale, tlhokahalo ea taolo ea motsamao o nepahetseng e ntse e eketseha letsatsi le letsatsi. Joalo ka lisebelisoa tsa bohlokoa tsa ho fihlela motsamao o nepahetseng oa mola o phahameng, ts'ebetso ea mochini o phaphametseng oa moea o le mong oa ultra-precision o ama ka kotloloho boleng ba sehlahisoa sa ho qetela le ho nepahala ha liphetho tsa lipatlisiso tsa mahlale. Har'a lintho tse ngata tse susumetsang, ts'ebeliso ea motheo ea granite e fana ka monyetla o ke keng oa lekanngoa 'me e fetoha ntho ea mantlha ea ho netefatsa ho nepahala ho babatsehang.
Granite, kamora limilione tsa lilemo tsa liphetoho tsa jeoloji, sebopeho sa kahare se teteaneng haholo ebile se ts'oana. Haholo-holo e entsoe ka quartz, feldspar le liminerale tse ling, sebopeho sena se ikhethang sa thepa se fana ka thepa e ntle ea 'mele ea granite. Ha e sebelisoa e le motheo oa mojule o le mong oa axis air float ultra-precision motion module, granite pele e bontša botsitso bo phahameng haholo. Ha ho bapisoa le metheo ea tšepe e tloaelehileng, metheo ea granite e bonts'a khanyetso e matla ea deformation ha a tobane le litšitiso tsa kantle tsa tikoloho, joalo ka ho fetoha ha mocheso le ho thothomela ha mochini. Ts'ebetsong ea tlhahiso ea chip ea elektroniki, ho nepahala ha boemo ba chip lithography hoa hlokahala ho fihlela boemo ba nanometer. Lebenkeleng la tlhahiso, ho sisinyeha ho hlahisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa tse kholo le liphetoho tse fokolang tsa mocheso o potolohileng ho ka ama ho nepahala ha motsamao oa thepa ea lithography. Mojule o le mong oa axis air floating ultra-precision motion module o nang le granite base o ka fokotsa ho thothomela ka ntle le ho fokotsa amplitude ea vibrate e fetisetsoang mojulung oa motsamao ka ho feta 80%. Ka nako e ts'oanang, coefficient ea eona e tlase haholo ea katoloso ea mocheso e etsa hore boholo ba setsi se fetohe hanyenyane haholo ha mocheso o fetoha, ho etsa bonnete ba hore mochine o tsamaeang oa moea o ntse o ka boloka ho nepahala ha motsamao o tsitsitseng sebakeng se rarahaneng, ho fana ka motheo o nepahetseng oa boemo ba chip lithography, le ho ntlafatsa haholo tlhahiso ea tlhahiso ea chip.
Ho phaella moo, granite e na le khanyetso e ntle ea ho apara. Ts'ebetsong ea ho fetoha khafetsa ha mojule oa float ea moea o le mong oa ultra-precision single-axis air float, le hoja ho na le tšehetso ea filimi ea khase pakeng tsa moea oa float slider le setsi, tšebeliso ea nako e telele e tla hlahisa tekanyo e itseng ea khohlano. Setsi sa granite, se nang le litšobotsi tse phahameng tsa boima, se ka hanela ka katleho ho apara ho bakoang ke ho ferekana hona le ho lelefatsa bophelo ba tšebeletso ea mojule oa ho sisinyeha. Ka laboratoring ea lipatlisiso tsa mahlale liunivesithing, lisebelisoa tsa liteko tse sebelisoang bakeng sa ho bona likaroloana tse nyane li hloka mochini o tsamaeang ka ho nepahala oa uniaxial air flotation ho sebetsa ka mokhoa o tsitsitseng nako e telele ho fumana lintlha tse ngata tse nepahetseng tsa liteko. Ho hanyetsa ho hoholo ha setsi sa granite ho tiisa hore ho nepahala ha mojule oa ho sisinyeha ho ntse ho ka bolokoa boemong ba pele bo nepahetseng bo phahameng ka mor'a nako e telele ea tšebeliso, ho fana ka tiiso e ka tšeptjoang bakeng sa ho tsoela pele le ho nepahala ha mosebetsi oa lipatlisiso tsa saense, le ho thusa bafuputsi ho hlahloba ka botebo sephiri sa lefats'e la microscopic.
Mojule o le mong oa axis air float ultra-precision motion module o nang le granite base o tšoana le "navigator" e nepahetseng bakeng sa tlhahiso e nepahetseng le lipatlisiso tsa mahlale. Setsi sa granite se nang le botsitso bo babatsehang, ho hanyetsa ho roala, bakeng sa motsamao o nepahetseng oa moea o phaphametseng oa mojulu o fanang ka tšehetso e tiileng, tlhahisong ea semiconductor, tlhahiso ea lisebelisoa tsa optical, lipatlisiso tsa mahlale a phahameng-qetellong le litlhoko tse ling tse ngata tse nepahetseng tsa tšimo, e bapala karolo ea bohlokoa e ke keng ea nkeloa sebaka, ho khothaletsa indasteri ho nepahala, tataiso ea boleng bo holimo.
Nako ea poso: Apr-07-2025