Ts'ebetsong ea indasteri ea semiconductor e lebisang lits'ebetsong tsa tlhahiso ea nanoscale, ho seha li-wafer, e le sehokelo sa mantlha sa tlhahiso ea li-chip, ho na le litlhoko tse thata haholo bakeng sa botsitso ba lisebelisoa. Setsi sa granite, se nang le khanyetso e ikhethang ea ho thothomela le botsitso ba mocheso, se fetohile karolo ea mantlha ea lisebelisoa tsa ho seha li-wafer, tse fanang ka tiisetso e tšepahalang ea ho fihlela ts'ebetso ea liphaephe tse nepahetseng haholo le tse sebetsang hantle haholo. .
Litšobotsi tse phahameng tsa ho fokotsa metsi le tse thibelang ho thothomela: Ho sireletsa ho nepahala ha nano-level cutting
Ha lisebelisoa tsa ho itšeha li ntse li sebetsa, ho potoloha ka lebelo le phahameng la sekoti, ho sisinyeha ha sekhahla se phahameng sa sesebelisoa sa ho itšeha, le ho sisinyeha ha tikoloho ho hlahisoang ke lisebelisoa tse potolohileng kaofela ho tla ba le tšusumetso e kholo ho seheng ho nepahetseng. Ts'ebetso e fokolisang ea metheo ea tšepe ea setso e na le moeli, e leng ho etsang hore ho be thata ho fokotsa ho thothomela ka potlako, e leng se lebisang ho jitter ea boemo ba micron ea lisebelisoa tsa ho itšeha 'me ka ho toba e baka likoli tse kang mathōko a chepiloeng le mapetsong a li-wafers. Litšobotsi tse phahameng tsa mongobo tsa motheo oa granite li rarollotse bothata bona. .
Likristale tsa ka hare tsa liminerale tsa granite li kopantsoe haufi-ufi, li etsa mohaho oa tlhaho oa ho senya matla. Ha ho thothomela ho fetisetsoa motheong, sebopeho sa eona se ka hare sa microstructure se ka fetola ka potlako matla a vibrate hore e be matla a mocheso, e leng ho finyella katleho e ntle ea ho thothomela. Lintlha tsa liteko li bontša hore tlas'a tikoloho e ts'oanang ea ho thothomela, setsi sa granite se ka fokotsa boholo ba ho sisinyeha ka ho feta 90% ka metsotsoana e 0.5, ha motheo oa tšepe o hloka metsotsoana e 3 ho isa ho e 5. Ts'ebetso ena e tsotehang ea ho senya e tiisa hore sesebelisoa sa ho itšeha se lula se tsitsitse nakong ea ts'ebetso ea ho itšeha nanoscale, e tiisang moeli o boreleli oa sehiloeng le ho fokotsa sekhahla sa ho phunya. Mohlala, ts'ebetsong ea 5nm ea ho itšeha, lisebelisoa tse nang le motheo oa granite li ka laola boholo ba ho phunya ka har'a 10μm, e fetang 40% e phahameng ho feta ea lisebelisoa tse nang le motheo oa tšepe. .
Ultra-low coefficient ea katoloso ea mocheso: E hanana le tšusumetso ea ho fetoha ha mocheso
Nakong ea ts'ebetso ea ho itšeha, mocheso o hlahisoang ke ho ferekana ha lisebelisoa tsa ho itšeha, ho felloa ke mocheso ho tloha ts'ebetsong ea nako e telele ea lisebelisoa, 'me liphetoho tsa mocheso oa tikoloho ea workshop li ka baka deformation ea mocheso oa lisebelisoa tsa lisebelisoa. Coefficient ea ho atolosoa ha mocheso oa thepa ea tšepe e batla e phahame (hoo e ka bang 12 × 10⁻⁶/℃). Ha mocheso o fetoha ka 5 ℃, setsi sa tšepe se bolelele ba limithara tse 1 se ka fetoha 60μm, sa etsa hore boemo ba ho itšeha bo fetohe 'me bo ame ka botebo ho nepahala ha seha. .
Coefficient ea ho atolosoa ha mocheso oa motheo oa granite ke feela (4-8) × 10⁻⁶/℃, e ka tlaase ho karolo ea boraro ea thepa ea tšepe. Tlas'a phetoho e tšoanang ea mocheso, phetoho ea eona ea boholo bo ka batla e hlokomolohuoa. Lintlha tse lekantsoeng tsa k'hamphani e itseng ea tlhahiso ea semiconductor li bonts'a hore nakong ea ts'ebetso ea lihora tse 8 e tsoelang pele e matla haholo, ha mocheso oa tikoloho o fetoha ka 10 ℃, boemo ba ho itšeha ba thepa e nang le setsi sa granite bo ka tlase ho 20μm, ha sesebelisoa se nang le setsi sa tšepe se feta 60μm. Ts'ebetso ena e tsitsitseng ea mocheso e tiisa hore sebaka se lekanyelitsoeng pakeng tsa sesebelisoa sa ho itšeha le sephaphatha se lula se nepahetse ka linako tsohle. Esita le tlas'a ts'ebetso e tsoelang pele ea nako e telele kapa liphetoho tse matla mocheso oa tikoloho, ho lumellana ha ho itšeha ho nepahetseng ho ka bolokoa. .
Ho tsitsa le ho hanyetsa ho apara: Netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea nako e telele ea lisebelisoa
Ntle le melemo ea ho hanyetsa ho sisinyeha le botsitso ba mocheso, ho tiea ho hoholo le ho hanyetsa ho roala ha motheo oa granite ho matlafatsa ts'epahalo ea lisebelisoa tsa ho itšeha. Granite e na le boima ba 6 ho isa ho 7 sekaleng sa Mohs le matla a hatellang a fetang 120MPa. E khona ho mamella khatello e kholo le matla a ts'usumetso nakong ea ts'ebetso ea ho itšeha 'me ha e ratehe ho deformation. Ho sa le joalo, sebopeho sa eona se teteaneng se etsa hore e be le khanyetso e ntle ea ho apara. Esita le nakong ea ts'ebetso ea ho itšeha khafetsa, bokaholimo ba setsi ha bo ratehe ho apara, ho netefatsa hore thepa e boloka ts'ebetso e phahameng ka nako e telele. .
Lits'ebetsong tse sebetsang, likhoebo tse ngata tse etsang li-wafer li ntlafalitse haholo tlhahiso ea lihlahisoa le katleho ea tlhahiso ka ho sebelisa lisebelisoa tsa ho seha ka metheo ea granite. Lintlha tse tsoang setsing se etelletseng pele lefatšeng ka bophara li bonts'a hore kamora ho hlahisa lisebelisoa tsa motheo tsa granite, chai ea sehiloeng e eketsehile ho tloha ho 88% ho isa ho 95%, potoloho ea tlhokomelo ea lisebelisoa e ekelitsoe ka makhetlo a mararo, e leng ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso le ho matlafatsa tlholisano ea mmaraka. .
Qetellong, setsi sa granite, se nang le khanyetso e ntle ea ho sisinyeha, botsitso ba mocheso, ho tiea ho hoholo le ho hanyetsa ho roala, se fana ka litiiso tse felletseng tsa ts'ebetso bakeng sa lisebelisoa tsa ho itšeha. Ha thekenoloji ea semiconductor e ntse e tsoela pele ho ea ka nepo e phahameng, metheo ea granite e tla bapala karolo ea bohlokoa haholo lefapheng la tlhahiso ea li-wafer, ho khothaletsa nts'etsopele e tsoelang pele ea indasteri ea semiconductor.
Nako ea poso: May-20-2025