Tšimo ea ts'ebeliso ea mojule oa motsamao oa phaphamala oa moea o le mong o sebelisang setsi sa granite.

Tlhahiso ea semiconductor: Ts'ebetsong ea tlhahiso ea chip, ts'ebetso ea photolithography e hloka ho fetisetsa paterone ea potoloho hantle ho wafer. Motheo oa granite oa module ea motsamao o tsamaeang ka lebelo le phahameng oa axis e le 'ngoe o ka fana ka boemo bo nepahetseng bo phahameng le tšehetso e tsitsitseng bakeng sa tafole ea wafer ka har'a lisebelisoa tsa lithography. Mohlala, ASML le bahlahisi ba bang ba mechine ea lithography ba tummeng machabeng ba sebelisa li-module tsa motsamao o tsamaeang ka lebelo la granite ka har'a lisebelisoa tsa bona tsa maemo a holimo, tse ka laolang ho nepahala ha sebaka sa wafer boemong ba nanometer ho netefatsa ho nepahala ha paterone ea lithography, ka hona ho ntlafatsa kopanyo le ts'ebetso ea chip.
Tšimo ea ho lekanya ka nepo: CMM ke sesebelisoa sa ho lekanya ka nepo se sebelisoang haholo tlhahisong ea indasteri, se sebelisetsoang ho lekanya boholo, sebopeho le ho nepahala ha karolo ea mosebetsi. Mojule oa ho sisinyeha o nepahetseng haholo oa floating ea moea o le mong o le motheong oa granite o ka sebelisoa e le sethala sa ho sisinyeha sa CMM, se ka etsang hore ho be le motsamao o otlolohileng o nepahetseng haholo le ho fana ka tsela e tsitsitseng ea motsamao bakeng sa probe ea ho lekanya. Mohlala, CMM ea Hexagon ea maemo a holimo e sebelisa motsoako ona ho lekanya likarolo tse kholo le tse rarahaneng ka ho nepahala ha ho lekanya ho fihlela boemong ba micron, e fanang ka tiisetso e matla bakeng sa taolo ea boleng ba likarolo indastering ea likoloi, ea lifofane le ea liindasteri tse ling.
Tšimo ea lifofane: Ts'ebetsong le litekong tsa likarolo tsa lifofane, ho hlokahala ho nepahala ho hoholo. Mohlala, ho sebetsa ha masela a enjene ea lifofane ho hloka taolo e nepahetseng ea tsela ea ho tsamaea ha sesebelisoa ho netefatsa ho nepahala ha profaele ea lehare. Motheo oa granite oa module ea motsamao oa moea o le mong o ka sebelisoa setsing sa machining sa li-axis tse hlano le lisebelisoa tse ling ho fana ka taolo e nepahetseng ea motsamao bakeng sa sesebelisoa le ho netefatsa hore ho nepahala ha machining ha lehare ho ka fihlela litlhoko tsa moralo. Ka nako e ts'oanang, ts'ebetsong ea ho kopanya enjene ea aero, ho boetse ho hlokahala ho sebelisa lisebelisoa tsa ho lekanya tse nepahetseng ho lemoha ho nepahala ha kopano ea likarolo. Module ea motsamao oa moea o phaphametseng oa motheo oa granite e ka fana ka tšehetso e tsitsitseng le motsamao o nepahetseng bakeng sa lisebelisoa tsa ho lekanya ho netefatsa boleng ba kopano.
Tšimo ea tlhahlobo ea mahlo: Ts'ebetsong ea tlhahiso le liteko tsa likarolo tsa mahlo, ho hlokahala ho etsa boemo bo phahameng ba ho beha le ho lekanya likarolo tsa mahlo. Mohlala, ha ho etsoa likarolo tsa mahlo tse nepahetseng tse kang liipone le lilense, ho hlokahala ho sebelisa li-interferometer le lisebelisoa tse ling ho lemoha ho nepahala ha sebopeho sa bokaholimo. Motheo oa granite oa module ea motsamao oa moea o le mong o phaphametseng ka ho fetisisa o ka sebelisoa e le sethala sa motsamao oa interferometer, se ka hlokomelang ho nepahala ha sebaka sa sub-micron le ho fana ka tšehetso e nepahetseng ea data bakeng sa ho lemoha likarolo tsa mahlo. Ho phaella moo, lisebelisoa tsa ts'ebetso ea laser, ho boetse ho hlokahala ho sebelisa sethala sa motsamao se nepahetseng ho laola tsela ea ho hlahloba ea lehlaseli la laser, setsi sa granite sa module ea motsamao oa moea o phaphametseng se ka fihlela tlhoko ena, ho fihlela ts'ebetso ea laser e nepahetseng haholo.