Indasteri ea lefats'e ea li-semiconductor e ntse e lelekisa ka matla "Angstrom Era," moo litekanyo tsa transistor li lekanngoang ka bophara ba liathomo tse 'maloa feela. Ha lithography le lisebelisoa tsa tlhahlobo li ntse li fetela ho likala tsena tse nyenyane, tlhoko ea botsitso ba sebopeho e fetohile ho tloha ho "macro" ho ea ho "nano." Bohareng ba phetohelo ena ho na le thepa ea khale joaloka Lefatše ka bolona: Precision Granite.
Leha ba bangata ba nka granite e le lejoe le bonolo, ha ho nahanoa kamohato oa ho beha maemo a manyanekapa sistimi ea tlhahlobo ea wafer e potlakileng haholo, ke ceramic e rarahaneng ea boenjiniere. Ho utloisisa phapang lipakeng tsa lisebelisoa tsa motheo tsa metrology le li-platform tse tsoetseng pele tsa motsamao ho bohlokoa bakeng sa OEMs ba batlang ho sutumelletsa meeli ea se ka khonehang tlhahisong ea silicon.
Granite CMM vs. Granite Surface Plate: Ho utloisisa Phetoho ea Boenjiniere
Lilaboratoring tse ngata tsa taolo ea boleng,Plate ea Bokaholimo ba Graniteke sesebelisoa se fumanehang hohle—tšupiso e tšepahalang, e bataletseng bakeng sa tekanyo ea letsoho. Leha ho le joalo, ho na le maikutlo a fosahetseng a tloaelehileng a hore poleiti ea bokaholimo le motheo oa Granite CMM (Coordinate Measuring Machine) lia fapanyetsana. Ho ea ka pono ea boenjiniere, li emela maemo a mabeli a fapaneng a ho rarahana.
Poleiti ea bokaholimo e etselitsoe botsitso bo sa fetoheng. Mosebetsi oa eona oa mantlha ke ho lula e bataletse tlas'a mojaro o sa sisinyeheng. Ka lehlakoreng le leng, motheo oa granite bakeng sa CMM kapa mohato oa ho nepahala o tlameha ho sebetsana le meroalo e matla. Ha borokho ba CMM bo ntse bo tsamaea kapa enjene e otlolohileng e potlakisa mohato oa wafer ho G tse 'maloa, granite ha ea lokela ho hanela ho kobeha feela, empa hape le ho torsion le harmonic resonance.
Baenjiniere ba ZHHIMG ba khetha "Black Granite" ka ho khetheha bakeng sa lits'ebetso tse fetohang ka lebaka la boima ba eona bo phahameng le sebopeho sa lithollo tse tšesaane. Le ha poleiti e tloaelehileng ea bokaholimo e ka sebelisa mofuta o nang le masoba a mangata, setsi sa CMM se hloka Modulus ea Young e phahameng ka ho fetisisa ho netefatsa hore "ho phatloha" ha motsamao o potlakileng ha ho fetole ho lla ha sebopeho ho ka senyang data ea tekanyo.
Mehato e Nepahetseng Tlhahisong ea Semiconductor: Motheo oa Tlhahiso
Tlhahisong ea li-semiconductor, tlhahiso ea tlhahiso le chai ke litekanyo tse peli tsa bohlokoa ka ho fetisisa. Ka bobeli li itšetlehile ka ho toba ka ts'ebetso eamekhahlelo ea ho nepahala. Ebang ke mohato oa wafer mochining oa DUV/EUV lithography kapa sistimi ea ho beha lintho ka har'a sesebelisoa sa Automated Optical Inspection (AOI), thepa ea motheo e tlameha ho nolofatsa ho pheta-pheta ha sub-nanometer.
Bothata bo boholo mosebetsing ona ke mocheso. Li-motor tse otlolohileng le li-actuator li hlahisa matla a maholo a mocheso. Haeba motheo oa sethala o ne o entsoe ka aluminium kapa tšepe, katoloso e hlahang ea mocheso e ne e tla etsa hore wafer e tlohe ho otloloha, e leng se lebisang ho "liphoso tsa ho koahela" tse senyang lihlopha tsohle tsa li-chip.
Katoloso e tlase haholo ea mocheso (CTE) ea Granite e netefatsa hore leha lienjene li ntse li chesa, "'mapa" oa sethala o lula o tsitsitse. Ho feta moo, ZHHIMG e fana ka likarolo tsa granite tse ikhethileng ka mekhoa e kopaneng ea ho jara moea. Hobane granite e ka hokahanngoa ho ba seipone se bataletseng, e sebetsa e le sefahleho se phethahetseng sa ho jara moea, e lumellang mekhahlelo ho "phaphamala" holim'a filimi e tšesaane ea moea e se nang khohlano le ho tsitsipana ha lefela.
Fisiks ea Motheo oa Nanopositioning Stage
Ha re kena 'musong oamohato oa ho beha maemo a manyane, re sebetsana le metsamao e menyenyane ho feta moriri oa motho ka tekanyo ea 10,000. Boemong bona, ho thothomela ke sera. Mabato a tloaelehileng a indasteri a thothomela khafetsa ka lebaka la litsamaiso tsa HVAC, sephethephethe sa maoto, le mechini e haufi.
Granite e sebetsa e le sefe se seholo se fetisang ka tlase. Ka lebaka la boima ba eona bo phahameng le ho dampetsa ka hare ho phahameng, ka tlhaho e monya ho thothomela ha maqhubu a phahameng pele e ka fihla ho li-sensor tse bonolo kapa wafer ka boeona. "Ho itšehla thajana hona ho sa sebetseng" ke lona lebaka leo ka lona bafepedi ba lithography ba etellang pele lefatšeng ba itšetlehileng ka ZHHIMG ho fana ka metheo e boima, e tsitsitseng bakeng sa mekhahlelo ea bona e lumellanang le vacuum. Granite ea rona e phekoloa ka ho khetheha ho netefatsa hore ha e tsoe ka khase, e leng se etsang hore e lokele libaka tse nang le vacuum e ngata tse hlokahalang bakeng sa lits'ebetso tsa electron-beam le EUV.
Ho fihlela Moeling: Molemo oa ZHHIMG
Phetoho ho tloha lejoeng le sa tsoakoang ho ea ho karolo ea sehlopha sa semiconductor ke leeto la mamello e feteletseng. Leha ho sila ha CNC ho re atametsa haufi, sehlopha sa ho qetela sa "Super-Precision" se finyelloa ka ho kopanya ka letsoho. Ena ke ts'ebetso eo litsebi tsa ZHHIMG li sebelisang li-pastes tse khorofo le metsamao ea matsoho ho beola likaroloana tsa micron ka nako.
Bakeng samohato oa ho beha maemo a manyane, ho ba bataletse ha se eona feela tlhoko; ho bapa le ho otloloha ha bokaholimo ba tataiso le tsona li bohlokoa ka ho tšoanang. Setsi sa rona se sebelisa li-tracker tsa laser le maemo a elektroniki ka liqeto tsa metsotsoana e 0.1 ea arc ho netefatsa hore axis e 'ngoe le e 'ngoe e tsamaellana hantle. Boemo bona ba boqhetseke bo netefatsa hore ha moreki a kenya li-motor tsa hae tse otlolohileng le li-encoder, motheo oa mechini o haufi le "phethahetseng" joalo ka ha fisiks e lumella.
Ho paka bokamoso bo botle
Ha indasteri e ntse e leba ho di-node tsa 2nm le ho feta, ditlhoko tsa bohloeki ba thepa le botsitso ba dibopeho di tla mpefala feela. Ho kopanngwa ha granite le thepa e nngwe e tswetseng pele—jwalo ka marokho a carbon fiber kapa di-vacuum chucks tsa ceramic—ke moedi o latelang taolong ya motsamao.
ZHHIMG e ntse e ikemiselitse ho ba ho fetang feela mofani oa thepa; re molekane ea sebelisanang 'moho ketane ea phepelo ea semiconductor ea lefats'e. Ka ho fana ka metheo e tsitsitseng haholo e hlokahalang bakeng sa moloko o latelang oa mekhahlelo ea ho nepahala, re thusa ho haha mechini e hahang bokamoso.
Nako ea poso: Hlakola-02-2026