.
Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, e phehellang ho nepahala ha ho qetela, coefficient ea katoloso ea mocheso ke e 'ngoe ea likarolo tsa mantlha tse amang boleng ba sehlahisoa le botsitso ba tlhahiso. Ho pholletsa le ts'ebetso eohle ho tloha ho photolithography, etching ho paka, liphapang tsa li-coefficients tsa ho atolosa mocheso li ka kena-kenana le ho nepahala ha tlhahiso ka litsela tse sa tšoaneng. Leha ho le joalo, motheo oa granite, o nang le coefficient ea eona ea ho eketsa mocheso o tlase haholo, e fetohile senotlolo sa ho rarolla bothata bona. .
Lithography process: Thermal deformation e baka ho kheloha ha mokhoa
Photolithography ke mohato oa mantlha oa tlhahiso ea semiconductor. Ka mochine oa photolithography, mekhoa ea potoloho holim'a mask e fetisetsoa holim'a sephaphatha se koahetsoeng ka photoresist. Nakong ea ts'ebetso ena, tsamaiso ea mocheso ka hare ho mochine oa photolithography le botsitso ba worktable ke tsa bohlokoa haholo. Nka lisebelisoa tsa tšepe tsa setso e le mohlala. Coefficient ea bona ea katoloso ea mocheso e batla e le 12×10⁻⁶/℃. Nakong ea ts'ebetso ea mochine oa photolithography, mocheso o hlahisoang ke mohloli oa leseli la laser, lense tsa optical le likarolo tsa mochine li tla etsa hore mocheso oa thepa o phahame ka 5-10 ℃. Haeba mochini o sebetsang oa mochini oa lithography o sebelisa setsi sa tšepe, setsi sa bolelele ba limithara tse 1 se ka baka deformation ea katoloso ea 60-120 μm, e leng se tla lebisa phetohong ea boemo bo lekanyelitsoeng lipakeng tsa mask le sephaphatha. .
Lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa tlhahiso (joalo ka 3nm le 2nm), sebaka sa transistor ke li-nanometer tse 'maloa feela. Phofo e nyane joalo ea mocheso e lekane ho etsa hore mohlala oa photolithography o se ke oa lumellana, o lebisang ho khokahanyo e sa tloaelehang ea li-transistor, li-circuits tse khutšoanyane kapa li-circuits tse bulehileng, le litaba tse ling, ka ho toba ho fella ka ho hlōleha ha mesebetsi ea chip. Thermal katoloso coefficient ea botlaaseng granite ke tlaase ho 0.01μm/°C (ke hore, (1-2) × 10⁻⁶/℃), le deformation tlas'a phetoho e tšoanang mocheso ke 1/10-1/5 feela ea tšepe. E ka fana ka sethala se tsitsitseng sa mojaro bakeng sa mochine oa photolithography, ho netefatsa hore ho fetisoa ka mokhoa o nepahetseng oa mokhoa oa photolithography le ho ntlafatsa haholo lihlahisoa tsa tlhahiso ea li-chip. .
Etching le deposition: E ama ho nepahala ha sebopeho sa sebopeho
Etching le deposition ke lits'ebetso tsa bohlokoa bakeng sa ho aha meaho ea lipotoloho tse mahlakore a mararo holim'a bokaholimo. Nakong ea ts'ebetso ea etching, khase e sebetsang e kena karabelo ea lik'hemik'hale ka thepa e ka holimo ea sephaphatha. Ho sa le joalo, likarolo tse kang phepelo ea motlakase oa RF le taolo ea phallo ea khase ka har'a sesebelisoa li hlahisa mocheso, e leng ho bakang mocheso oa sephaphatha le lisebelisoa tsa lisebelisoa ho nyoloha. Haeba coefficient ea katoloso ea mocheso oa mochini oa liphaephe kapa setsi sa lisebelisoa ha se lumellane le sephaphatha (coefficient ea katoloso ea mocheso oa thepa ea silicon e ka ba 2.6×10⁻⁶/℃), khatello ea mocheso e tla hlahisoa ha mocheso o fetoha, o ka bakang mapetsong a manyane kapa ho soahlamana holim'a sephaphatha. .
Mofuta ona oa deformation o tla ama botebo ba etching le verticality ea lerako lehlakoreng, ho etsa hore litekanyo tsa grooves etched, ka masoba le mehaho e meng ho kheloha litlhoko tsa moralo. Ka mokhoa o ts'oanang, ts'ebetsong ea tlhahiso ea filimi e tšesaane, phapang ea ho atolosoa ha mocheso e ka 'na ea baka khatello ea kelello ka hare ho filimi e tšesaane e behiloeng, e lebisang mathateng a kang ho senya le ho senya filimi, e amang ts'ebetso ea motlakase le ho tšepahala ha nako e telele ea chip. Tšebeliso ea metheo ea granite e nang le coefficient ea ho atolosa mocheso e ts'oanang le ea lisebelisoa tsa silicon e ka fokotsa khatello ea mocheso ka katleho le ho netefatsa botsitso le ho nepahala ha mekhoa ea etching le deposition. .
Mokhahlelo oa ho paka: Ho se tsamaisane ha mocheso ho baka mathata a ho tšepahala
Mokhahlelong oa ho paka oa semiconductor, ho lumellana ha li-coefficients tsa ho atolosa mocheso pakeng tsa chip le thepa ea ho paka (e kang epoxy resin, ceramics, joalo-joalo) ke ea bohlokoa haholo. Katoloso ea mocheso oa silicon, thepa ea mantlha ea lichifi, e batla e le tlase, athe ea lisebelisoa tse ngata tsa ho paka e batla e phahame. Ha mocheso oa chip o fetoha nakong ea tšebeliso, khatello ea mocheso e tla etsahala pakeng tsa chip le thepa ea ho paka ka lebaka la ho se lumellane ha li-coefficients tsa ho atolosa mocheso. .
Khatello ena ea mocheso, tlas'a phello ea potoloho e pheta-phetoang ea mocheso (joalo ka ho futhumatsa le ho pholisa nakong ea ts'ebetso ea chip), e ka lebisa ho khathala ha manonyeletso a solder pakeng tsa chip le substrate ea ho paka, kapa ea etsa hore lithapo tse tlamang holim'a chip li theohe, 'me qetellong li felle ka ho hlōleha ha khokahanyo ea motlakase ea chip. Ka ho khetha lisebelisoa tsa ho paka tsa substrate tse nang le coefficient ea katoloso ea mocheso e haufi le ea lisebelisoa tsa silicon le ho sebelisa sethala sa tlhahlobo sa granite se nang le botsitso bo botle ba mocheso bakeng sa ho lemoha ka nepo nakong ea ho paka, bothata ba ho se tsamaisane ha mocheso bo ka fokotsoa ka nepo, ts'epahalo ea ho paka e ka ntlafatsoa, 'me bophelo ba ts'ebeletso ba chip bo ka eketseha. .
Taolo ea tikoloho ea tlhahiso: Ho tsitsisa ho hokahaneng ha thepa le meaho ea lifeme
Ntle le ho ama ka kotloloho ts'ebetso ea tlhahiso, coefficient ea katoloso ea mocheso e boetse e amana le taolo e akaretsang ea tikoloho ea lifeme tsa semiconductor. Likopanong tse kholo tsa tlhahiso ea li-semiconductor, lintlha tse kang ho qala le ho emisa ha litsamaiso tsa moea le ho qhalana ha mocheso oa lihlopha tsa lisebelisoa li ka baka ho fetoha ha mocheso oa tikoloho. Haeba coefficient ea katoloso ea mocheso oa mokatong oa fektheri, lisebelisoa tsa lisebelisoa le lisebelisoa tse ling li phahame haholo, liphetoho tsa nako e telele tsa mocheso li tla etsa hore fatše ho phatlohe 'me motheo oa thepa o fetohe, ka hona ho ama ho nepahala ha lisebelisoa tse nepahetseng tse kang mechine ea photolithography le mechine ea etching. .
Ka ho sebelisa metheo ea granite e le lisebelisoa tse tšehetsang le ho li kopanya le thepa ea mohaho oa fektheri e nang le li-coefficients tse fokolang tsa ho atolosa mocheso, ho ka etsoa tikoloho e tsitsitseng ea tlhahiso, ho fokotsa makhetlo a mangata a ho lekanya thepa le litšenyehelo tsa tlhokomelo tse bakoang ke ho senyeha ha mocheso oa tikoloho, le ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea nako e telele ea mohala oa tlhahiso ea semiconductor. .
Coefficient ea katoloso ea mocheso e tsamaisana le potoloho eohle ea bophelo ea tlhahiso ea semiconductor, ho tloha khethong ea thepa, taolo ea ts'ebetso ho isa ho liphutheloana le liteko. Tšusumetso ea katoloso ea mocheso e hloka ho nahanoa ka thata sehokelong se seng le se seng. Lithako tsa granite, tse nang le coefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso le lisebelisoa tse ling tse ntle haholo, li fana ka motheo o tsitsitseng oa 'mele bakeng sa tlhahiso ea semiconductor le ho ba tiisetso ea bohlokoa bakeng sa ho khothaletsa nts'etsopele ea lits'ebetso tsa tlhahiso ea li-chip ho isa ho tse nepahetseng haholoanyane.
Nako ea poso: May-20-2025