.
Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, ho nepahala ha lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer ho khetholla ka ho toba boleng le tlhahiso ea li-chip. Jwalo ka motheo o tšehetsang likarolo tsa mantlha tsa ho lemoha, botsitso ba boholo ba thepa ea motheo ea lisebelisoa bo bapala karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ea ts'ebetso ea nako e telele ea lisebelisoa. Granite le tšepe e entsoeng ka tšepe ke lisebelisoa tse peli tsa motheo tse sebelisoang haholo bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer. Phuputso ea papiso ea lilemo tse 10 e senotse liphapang tse kholo lipakeng tsa tsona mabapi le botsitso ba boholo, e fana ka litšupiso tsa bohlokoa bakeng sa khetho ea lisebelisoa.
Semelo le Moralo oa Liteko
Ts'ebetso ea tlhahiso ea li-wafer tsa semiconductor e na le litlhoko tse phahameng haholo bakeng sa ho nepahala ha ho fumanoa. Esita le ho kheloha ha tekanyo ea micrometer ho ka lebisa ho fokotseha ha ts'ebetso ea chip kapa esita le ho qhaqhoa. Ho hlahloba botsitso ba tekanyo ea granite le tšepe e lahliloeng nakong ea ts'ebeliso ea nako e telele, sehlopha sa lipatlisiso se entse liteko tse etsisang libaka tsa 'nete tsa ts'ebetso. Lisampole tsa granite le tšepe e lahliloeng tsa tlhaloso e tšoanang li khethiloe 'me tsa beoa ka phapusing ea tikoloho moo mocheso o neng o fetoha ho tloha ho 15℃ ho isa ho 35℃ 'me mongobo o fetoha ho tloha ho 30% ho isa ho 70% RH. Ho thothomela ha mechini nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa ho ile ha etsisoa ka tafole ea ho thothomela. Litekanyo tsa bohlokoa tsa lisampole li ne li lekanngoa kotara e 'ngoe le e 'ngoe ho sebelisoa interferometer ea laser e nepahetseng haholo, 'me data e ne e rekotoa khafetsa ka lilemo tse 10.
Sephetho sa teko: Molemo o felletseng oa granite
Lilemo tse leshome tsa tlhahisoleseding ea liteko li bontša hore substrate ea granite e bontša botsitso bo makatsang. Coefficient ea eona ea katoloso ea mocheso e tlase haholo, e leng karolelano ea 4.6 × 10⁻⁶/℃ feela. Tlas'a liphetoho tse matla tsa mocheso, ho kheloha ha litekanyo kamehla ho laoloa ka hare ho ± 0.001mm. Ha ho tobane le liphetoho tsa mongobo, sebopeho se teteaneng sa granite se etsa hore e se ke ea ameha, 'me ha ho na liphetoho tse ka lekanngoang tsa litekanyo tse etsahalang. Tikolohong ea ho thothomela ha mechine, litšobotsi tse ntle tsa ho nyenyefatsa tsa granite li monya matla a ho thothomela ka katleho, 'me ho feto-fetoha ha litekanyo ho honyenyane haholo.
Ka lehlakoreng le leng, bakeng sa substrate ea tšepe e entsoeng ka tšepe, karolelano ea eona ea katoloso ea mocheso e fihla ho 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, 'me phapang e kholo ka ho fetisisa e bakoang ke liphetoho tsa mocheso nakong ea lilemo tse 10 ke ±0.05mm. Tikolohong e mongobo, tšepe e entsoeng ka tšepe e sekametse ho mafome le ho bola. Mehlala e meng e bontša ho fetoha ha sebaka, 'me phapang ea litekanyo e eketseha le ho feta. Tlas'a ketso ea ho thothomela ha mechini, tšepe e entsoeng ka tšepe e na le ts'ebetso e mpe ea ho thothomela ha thothomelo 'me boholo ba eona bo fetoha khafetsa, e leng se etsang hore ho be thata ho fihlela litlhoko tse nepahetseng tsa tlhahlobo ea wafer.
Lebaka la bohlokoa la phapang botsitsong
Granite e thehiloe ka lilemo tse makholo a limilione ka mekhoa ea jeoloji. Sebopeho sa eona sa kahare se teteaneng ebile sea tšoana, 'me likristale tsa diminerale li hlophisitsoe ka mokhoa o tsitsitseng, li felisa khatello ea kahare ka tlhaho. Sena se etsa hore e se ke ea tsotella liphetoho linthong tse kantle tse kang mocheso, mongobo le ho thothomela. Tšepe e entsoeng ka ho lahla e etsoa ka mokhoa oa ho lahla 'me e na le liphoso tse nyenyane tse kang masoba le masoba a lehlabathe kahare. Ho sa le joalo, khatello e setseng e hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea ho lahla e ka baka liphetoho tsa boholo tlas'a tšusumetso ea tikoloho ea kantle. Thepa ea tšepe ea tšepe e entsoeng ka ho lahla e etsa hore e be le mafome ka lebaka la mongobo, e potlakisa tšenyo ea sebopeho le ho fokotsa botsitso ba boholo.
Tšusumetso ea lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer
Lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer tse thehiloeng holim'a substrate ea granite, ka ts'ebetso ea eona e tsitsitseng ea litekanyo, li ka netefatsa hore sistimi ea tlhahlobo e boloka ho nepahala ho hoholo ka nako e telele, e fokotsa kahlolo e fosahetseng le ho se lemohe ho bakoang ke ho kheloha ha ho nepahala ha lisebelisoa, le ho ntlafatsa chai ea sehlahisoa haholo. Ho sa le joalo, litlhoko tse tlase tsa tlhokomelo li fokotsa litšenyehelo tsa potoloho eohle ea bophelo ba lisebelisoa. Lisebelisoa tse sebelisang substrate tsa tšepe e entsoeng ka tšepe, ka lebaka la botsitso bo fokolang ba litekanyo, li hloka ho lekanngoa le tlhokomelo khafetsa. Sena ha se eketse feela litšenyehelo tsa ts'ebetso empa hape se ka ama boleng ba tlhahiso ea semiconductor ka lebaka la ho se nepahale ho lekaneng, e leng se bakang tahlehelo e ka bang teng ea moruo.
Tlas'a mokhoa oa indasteri ea semiconductor oa ho batla ho nepahala ho hoholo le boleng bo betere, ho khetha granite e le thepa ea motheo bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer ntle ho pelaelo ke mohato o bohlale oa ho netefatsa ts'ebetso ea lisebelisoa le ho ntlafatsa tlholisano ea likhoebo.
Nako ea poso: Mots'eanong-14-2025