.
Lefapheng la tlhahiso ea li-semiconductor, ho nepahala ha lisebelisoa tsa tlhahlobo ea li-wafer ho supa ka kotloloho boleng le chai ea li-chips. E le motheo o tšehetsang likarolo tsa mantlha tsa ho lemoha, botsitso ba tekanyo ea thepa ea motheo ea lisebelisoa bo phetha karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ea nako e telele ea ts'ebetso ea lisebelisoa. Granite le tšepe ea tšepe ke lisebelisoa tse peli tse sebelisoang hangata bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer. Boithuto ba papiso ea lilemo tse 10 bo senotse phapang e kholo lipakeng tsa bona mabapi le botsitso ba dimensional, ho fana ka litšupiso tsa bohlokoa bakeng sa khetho ea lisebelisoa. .
Semelo sa Teko le Moralo
Ts'ebetso ea tlhahiso ea li-wafers tsa semiconductor e na le litlhoko tse phahameng haholo bakeng sa ho tseba ho nepahala. Esita le ho kheloha ha tekanyo ea micrometer ho ka lebisa ho fokotseha ha ts'ebetso ea chip kapa esita le ho senyeha. Ho hlahloba botsitso ba sebopeho sa granite le tšepe ea tšepe nakong ea tšebeliso ea nako e telele, sehlopha sa lipatlisiso se ile sa etsa liteko tse etsisang maemo a sebele a ho sebetsa. Ho ile ha kgethwa disampole tsa granite le iron cast tsa tlhaloso e tshwanang mme tsa bewa ka phaposing ya tikoloho moo mocheso o neng o fetoha ho tloha ho 15℃ ho ya ho 35℃ mme mongobo o fetoha ho tloha ho 30% ho ya ho 70% RH. Ho thothomela ha mechine nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa ho ne ho etsisoa ka tafole ea ho thothomela. Litekanyo tsa bohlokoa tsa lisampole li ile tsa lekanyetsoa kotara e 'ngoe le e 'ngoe ho sebelisoa laser interferometer e nepahetseng haholo, 'me lintlha li ile tsa tsoela pele ho tlalehoa lilemo tse 10. .
Sephetho sa liteko: Molemo o felletseng oa granite
Lilemo tse leshome tsa data ea liteko li bonts'a hore substrate ea granite e bonts'a botsitso bo makatsang. Coefficient ea eona ea katoloso ea mocheso e tlase haholo, ka karolelano ke 4.6×10⁻⁶/℃ feela. Tlas'a liphetoho tse matla tsa mocheso, ho kheloha ha dimensional ho lula ho laoloa ka hare ho ± 0.001mm. Ha ho tobane le liphetoho tsa mongobo, sebopeho se teteaneng sa granite se etsa hore se se ke sa ameha, 'me ha ho na liphetoho tse ka lekanyetsoang tse etsahalang. Sebakeng sa ho thothomela ha mochini, litsobotsi tse phophomang tsa granite li monya matla a ho thothomela, 'me ho feto-fetoha ha dimensional ho nyane haholo. .
Ka lehlakoreng le leng, bakeng sa substrate ea tšepe e entsoeng ka tšepe, karolelano ea eona ea katoloso ea mocheso e fihla ho 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃, 'me ho kheloha ho hoholo ho bakoang ke liphetoho tsa mocheso nakong ea lilemo tse 10 ke ± 0.05mm. Sebakeng se mongobo, tšepe e entsoeng ka tšepe e atisa ho ba le mafome le ho senya. Mehlala e meng e bonts'a deformation ea lehae, 'me ho kheloha ha dimensional ho ntse ho eketseha. Tlas'a ts'ebetso ea mochine o sisinyehang, tšepe e entsoeng ka tšepe e na le ts'ebetso e fokolang ea ho thothomela 'me boholo ba eona bo fetoha hangata, e leng ho etsang hore ho be thata ho finyella litlhoko tse nepahetseng tse phahameng tsa tlhahlobo ea li-wafer. .
Lebaka la bohlokoa la phapang ea botsitso
Granite e thehiloe ka lilemo tse limilione tse makholo ka mekhoa ea jeoloji. Sebopeho sa eona sa ka hare se teteaneng ebile se tšoana, 'me likristale tsa diminerale li hlophisitsoe ka mokhoa o tsitsitseng, ho felisa khatello ea kelello ka hare ka tlhaho. Sena se etsa hore e se utloele liphetoho tse etsahalang kantle ho naha joalo ka mocheso, mongobo le ho thothomela. Cast iron e entsoe ka mokhoa oa ho lahla 'me e na le likoli tse nyane tse kang li-pores le masoba a lehlabathe ka hare. Ho sa le joalo, khatello ea maikutlo e setseng e hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea ho lahla e na le tšekamelo ea ho baka liphetoho tse nyenyane tlas'a ts'usumetso ea tikoloho e ka ntle. Thepa ea tšepe ea tšepe e entsoeng ka tšepe e etsa hore e ratehe ho rusa ka lebaka la mongobo, e potlakisa tšenyo ea sebopeho le ho fokotsa botsitso ba mahlakore. .
Tšusumetso ho lisebelisoa tsa tlhahlobo ea liphaphatha
Thepa ea tlhahlobo ea Wafer e thehiloeng holim'a substrate ea granite, e nang le ts'ebetso e tsitsitseng ea dimensional, e ka etsa bonnete ba hore tsamaiso ea tlhahlobo e boloka ho nepahala ho phahameng ka nako e telele, ho fokotsa kahlolo e fosahetseng le ho sibolloa ho fosahetseng ho bakoang ke ho kheloha ho nepahetseng ha thepa, le ho ntlafatsa haholo lihlahisoa tsa lihlahisoa. Ho sa le joalo, litlhoko tse tlase tsa tlhokomelo li fokotsa litšenyehelo tse felletseng tsa potoloho ea lisebelisoa. Lisebelisoa tse sebelisang li-substrates tsa tšepe tse entsoeng ka tšepe, ka lebaka la ho se tsitse ha maemo a fokolang, li hloka ho lekoa khafetsa le tlhokomelo. Sena ha se eke feela litšenyehelo tsa ts'ebetso empa hape se ka ama boleng ba tlhahiso ea semiconductor ka lebaka la ho se nepahale ho lekaneng, ho bakang tahlehelo e ka bang teng moruong. .
Tlas'a mokhoa oa indasteri ea semiconductor ea ho batla ho nepahala le boleng bo betere, ho khetha granite joalo ka thepa ea motheo ea lisebelisoa tsa tlhahlobo ea li-wafer ke mohato o bohlale ho netefatsa ts'ebetso ea lisebelisoa le ho ntlafatsa tlholisano ea likhoebo. .
Nako ea poso: May-14-2025