Ha re ntse re phehella Molao oa Moore, indasteri ea semiconductor e kene sebakeng seo ho nepahala ha athomo e leng tekanyetso, eseng mokhelo. Ha re ntse re sutumelletsa ho ea ho li-node tse nyane tsa ts'ebetso, libaka tseo li-wafer tsa silicon li sebetsoang ho tsona li fetohile tse hanyetsang haholo thepa ea boenjiniere ea setso. Haholo-holo, likamoreng tse nang le vacuum e ngata tse sebelisoang bakeng sa ho beha le ho betla tse tsoetseng pele, khetho ea motheo oa mochini ha e sa le taba ea boima le ho tiea feela. Kajeno, li-OEM tse etellang pele lefatšeng li botsa potso ea bohlokoa: thepa ea meaho ea rona ea ka hare e ama botšepehi ba vacuum ka boeona joang? Mona ke moo bophahamo ba tekheniki basemiconductor ea motheo oa granite e sa etseng khase e ngatats'ebeliso e fetoha ntlha e hlalosang indasteri.
Ketsahalo ea ho ntša khase—ho lokolloa ha likhase tse tšoasitsoeng ho tsoa nthong e tiileng—e ka ba kotsi tikolohong e se nang letho. Esita le likaroloana tse nyenyane kapa limolek'hule tsa khase li ka silafatsa wafer, e leng se lebisang tahlehelong e kholo ea chai. Lisebelisoa tsa setso tse kopantsoeng kapa litšepe tse phekotsoeng hangata li thatafalloa ho fihlela litlhoko tse thata tsa ho lumellana ha vacuum e ngata. Granite e ntšo ea tlhaho, ha e sebetsoa ka hloko le ho hloekisoa ke litsebi, e fana ka boemo bo sa sebetseng ka tlhaho. Bakeng sa ZHHIMG Group, ho netefatsa hore likarolo tsa rona tsa granite li fihlela litekanyetso tsena tse se nang letho tsa gassing ho kenyelletsa ts'ebetso ea khetho ea beng ba eona moo ho khethoang lejoe le nang le porosity e phahameng ka ho fetisisa feela bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor. Sena se netefatsa hore nako ea ho hlaphoheloa ha vacuum e fokotsoa 'me bohloeki ba tikoloho ea ts'ebetso boa bolokoa.
Ka nqane ho botšepehi ba vacuum, karolo ea metheo ea sebopeho ts'ebetsong ea photolithography le eona ea bohlokoa ka ho lekana. Ha mehloli ea leseli e fetela ho Extreme Ultraviolet (EUV), litsamaiso tsa motsamao tse jereng wafer le reticle li tlameha ho tsamaea ka boemo ba ho lumellana ho sa lumellaneng le meeli ea setso ea mechini.sethala sa granite bakeng sa mochini oa photolithographye fana ka sebaka se seholo sa litšupiso se nang le ho thothomela se hlokahalang bakeng sa ho nepahala hona. Boima ba tlhaho ba granite bo sebetsa e le sefe se fetisang ka tlase, se monyang ho thothomela ha fatše ho nang le maqhubu a phahameng hoo ho seng joalo ho neng ho tla eketsoa ke likholomo tse bonolo tsa optical. Ntle le motheo ona o boima, o tsitsitseng, ho fihlella ho nepahala ha sub-nanometer overlay ho hlokahalang bakeng sa li-microchip tsa sejoale-joale ho ne ho ke ke ha khoneha 'meleng.
Taolo ea mocheso e ntse e le tšitiso e 'ngoe ea bohlokoa tlhahisong ea li-semiconductor. Nakong ea lihora tsa ts'ebetso e tsoelang pele, mocheso o hlahisoang ke li-motor tse lebelo le phahameng o ka baka katoloso ea mocheso setsing sa mochini. Leha litšepe li ntse li hola le ho nyenyefala haholo ka liphetoho tsa mocheso, granite e na le coefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso. Botsitso bona ba boholo bo netefatsa horesethala sa granite bakeng sa mochini oa photolithographye ntse e phethahetse ka sebopeho sa jeometri esita le nakong ea potoloho e matla ea tlhahiso. Tšepo ena e lumella linako tse telele lipakeng tsa ho lekanyetsa, e fetolelang ka kotloloho ho nako e phahameng ea ho sebetsa le phaello e eketsehileng bakeng sa basebetsi ba masela libakeng tse kang Silicon Valley le litsi tsa semiconductor tsa Europe tse Dresden le Eindhoven.
ZHHIMG e hlokometse hore ho kopanngoa ha likarolo tsena ho hloka kutloisiso e tebileng ea mekhoa ea kamore ea ho hloekisa. Ha hoa lekana ho fana ka lejoe le nepahetseng haholo; le tlameha ho ba "le loketse kamore ea ho hloekisa." Sena se bolela hore granite e tlameha ho phekoloa ho thibela ho tšoloha ha likaroloana 'me e tlameha ho lumellana le lisebelisoa tse matla tsa ho hloekisa tse sebelisoang litsing tsa semiconductor. Ka ho tsepamisa maikutlo hosemiconductor ea motheo oa granite e sa etseng khase e ngatatharollo, ZHHIMG e fana ka sehlahisoa seo e seng feela sebopeho sa tšehetso, empa e le karolo e kopaneng ka botlalo ea leano la taolo ea tšilafalo. Mokhoa ona o akaretsang oa boenjiniere ke oona o khethollang mofani oa indasteri ea tloaelehileng ho molekane ea ikhethang oa semiconductor.
Ho feta moo, ho rarahana ha disebediswa tsa sejwalejwale tsa lithography ho hloka dijiometri tse rarahaneng tsa kahare ka hara granite ka boyona. Ho tloha dikanaleng tse rarahaneng tsa taolo ya dikheibole ho ya ho bokahodimo bo kopaneng ba ho jara moya, tlhahiso yasethala sa granite bakeng sa mochini oa photolithographye kenyelletsa lihora tse makholo tsa ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng oa CNC ho lateloa ke ho lahla ka letsoho ka hloko. Ho ZHHIMG, re fihlella mamello ea bokaholimo le ho se teteane hoo pele ho neng ho nahanoa hore ho ke ke ha khoneha bakeng sa lejoe la tlhaho. Lenyalo lena la thepa ea khale le theknoloji ea bokamoso ke motheo oo lefats'e la dijithale le hahiloeng holim'a oona, le tšehetsang li-sensor, li-processor le li-chip tsa memori tse matlafatsang moruo oa rona oa lefats'e.
Qetellong, ha indasteri ea semiconductor e ntse e tsoela pele ka leeto la eona le sa khaotseng ho ea mehleng ea sub-1nm, bohlokoa ba motheo oa thepa bo ke ke ba feteletsoa. Mochini o na le bokhoni bo lekanang feela le motheo oo o emeng ho oona. Ka ho beha etelletsa pelesemiconductor ea motheo oa granite e sa etseng khase e ngatamotheo le ho tsetela boleng bo holimo ka ho fetisisasethala sa granite bakeng sa mochini oa photolithographyKa lebaka la likarolo, bahlahisi ba lisebelisoa ba tiisa botsitso le bohloeki bo hlokahalang bakeng sa lilemo tse leshome tse tlang tsa boqapi. Sehlopha sa ZHHIMG se ntse se ikemiselitse ho sutumelletsa meeli ea mahlale a lintho tse bonahalang, ho netefatsa hore motheo oa indasteri ea semiconductor o lula o tiile ebile o nepahetse joalo ka theknoloji eo e e tšehetsang.
Nako ea poso: Hlakubele-03-2026