Ke hobane'ng ha Granite ea Tlhaho e le Motheo o sa Bonoeng oa Nanoscale Precision ho Lisebelisoa tsa ho Sebetsa ka Wafer?

Ha ho phehellwa ka thata ho fumana di-microchip tse nyane, tse potlakileng le tse matla haholoanyane, ditlhoko tse behilweng ho Disebediswa tsa ho Sebetsa tsa Wafer di ntse di eketseha ho ya maemong a ho nepahala ao pele ho neng ho thwe a ke ke a fihlellwa. Ha dikarolo di ntse di fokotseha sebakeng sa nanometer ya nomoro e le nngwe, botsitso ba sethala sohle sa tlhahiso bo ba bohlokwa haholo. Ke mona, tlasa letoto le rarahaneng la di-laser, dikamore tsa vacuum, le ditsamaiso tsa roboto, moo thepa ya kgale—granite ya tlhaho—e hlahang e le ntlha ya bohlokwa bakeng sa katleho ya semiconductor ya sejwalejwale. Ditlhaloso, boenjiniere, le phepelo ya dikarolo tsa granite tsa OEM tse nepahetseng haholo le bethe ya mochini wa granite wa OEM o nang le monolithic ha se ditlhoko tsa botekgeniki feela; ke motheo wa botshepehi ba tshebetso.

Karolo ea setsi sa mochini tsamaisong efe kapa efe e nepahetseng haholo ke ho fana ka sefofane sa litšupiso se sa fetoheng le se tsitsitseng. Tikolohong e feto-fetohang le e bohlokoa ea tlhahiso ea semiconductor, moo lits'ebetso tse kang lithography, etching, le deposition li etsahalang, liphapang tse nyane - esita le boemong ba sub-micron - li ka lebisa tahlehelong e mpe ea chai. Khetho ea thepa bakeng sa likarolo tsa mantlha tsa sebopeho, joalo ka setsi sa mochini sa Wafer Processing Equipment, ka hona ke mohato o ke keng oa buisanoa moralong.

Melemo ea Tlhaho ea Granite ea Tlhaho

Ke hobane'ng ha granite ea tlhaho e sebetsa hantle ho feta thepa e entsoeng ka boenjiniere joalo ka tšepe e lahliloeng, tšepe, kapa esita le metsoako e itseng ts'ebelisong ena e ikhethang haholo? Karabo e holim'a thepa ea eona ea 'mele e ikhethang, ea khale ka tlhaho e loketseng tikoloho e sa tšoareleng ea mechini e nepahetseng.

1. Ho Sireletsa ho Ikhethang ha ho Thothometsa (Ho Aroloa ho Ts'ebetso ea Matla):

Ho thothomela ke sera sa tlhahiso ea nanoscale. Ebang e hlahisoa ka hare ke lienjene le likarolo tse tsamaeang kapa ka ntle ho tloha mokatong oa kamore ea ho hloekisa, ho sisinyeha leha e le hofe ho tlameha ho monngoa ka potlako. Granite e na le coefficient e phahameng ka hare ea ho damping ea ka hare - e betere haholo ho feta litšepe. Thepa ena e bolela hore matla a mechini a qhalana ka potlako e le mocheso, a thibela ho thothomela le ho netefatsa hore lits'ebetso tsa bohlokoa li etsoa sethaleng se sa sisinyeheng. Sena se bohlokoa bakeng sa ho boloka ntlha e tobileng ea lithography e tsoetseng pele kapa ho netefatsa hore thepa e tlositsoe ka mokhoa o ts'oanang nakong ea polanarization ea mechini ea lik'hemik'hale (CMP).

2. Katoloso ea Thermal e Haufi le Lefela (Ho Boloka Botšepehi ba Tekano):

Lisebelisoa tsa ho Sebetsa ka Wafer hangata li kenyelletsa ho feto-fetoha ha mocheso, ka bobeli ho bakoang ke tikoloho le ts'ebetso. Lisebelisoa tsa tšepe lia atoloha 'me lia honyela haholo ka liphetoho tsa mocheso, e leng se lebisang ho hoholeheng ha mocheso le ho se lumellane hantle ha litsamaiso tsa optical kapa tsa mechine. Granite, haholo-holo granite e ntšo, e bontša coefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso (CTE), hoo e ka bang 3×10⁻⁶/℃. Ho tsitsa hona ha mocheso ho netefatsa hore ho nepahala ha boholo ba bethe ea mochini oa granite le likarolo tse ling tsa granite tsa OEM ho lula ho tsitsitse, ho fokotsa liphoso tsa mocheso le ho netefatsa ho pheta-pheta ha tekanyo tlas'a maemo a fapaneng.

3. Ho batalatsa le ho satalla ho hoholo:

Ka mekhoa e tsoetseng pele ea ho lata le ho bentša, granite ea tlhaho e ka finyella ho batalla ha bokaholimo ho lekantsoeng ka li-sub-micron—e leng tlhoko ea bohlokoa bakeng sa libaka tsa litšupiso tse sebelisoang taolong ea ho sisinyeha ka nepo. Ho feta moo, modulus ea eona e phahameng ea Young e fana ka ho tiea ho ikhethang ho sa fetoheng le ho fetoha ha matla. Ho hanyetsa hona ho kheloha tlas'a mojaro ho bohlokoa, kaha motheo o tlameha ho tšehetsa li-motor tse kholo tse otlolohileng, mekhahlelo le meaho e rarahaneng ea kopano ea Lisebelisoa tsa Ts'ebetso ea Wafer ntle le phetoho e ka lekanngoang, esita le ka nako e telele.

Boenjiniere ba Bokamoso: Likarolo tsa Granite tsa OEM le Kopano e Rarahaneng

Tšebeliso ea sejoale-joale ea granite e fetela ka nģ'ane ho lipoleiti tse bonolo tsa bokaholimo. Bahlahisi ba theknoloji e phahameng ba kajeno ba hloka likarolo tsa granite tsa OEM tse rarahaneng, tse entsoeng ka mokhoa o ikhethileng. Tsena li ka kenyelletsa lireile tse tataisang tse jereng moea, li-vacuum chucks tse rarahaneng, likarolo tsa sethala sa multi-axis, le li-mounting blocks bakeng sa lasers le optics. Likotoana tsena hangata li etsoa ka mechini ka likarolo tse rarahaneng tsa geometri, ho kenyeletsoa le masoba a phuntsoeng bakeng sa ho tsamaisa terata, li-insert tse nang le khoele bakeng sa ho kenya, le li-dovetails tse entsoeng ka nepo kapa li-slots bakeng sa litsamaiso tsa ho beha.

Ts'ebetso ea ho theha kopano e felletseng ea Lisebelisoa tsa Ts'ebetso ea Wafer e qala ka bethe e kholo ea mochini oa granite. Likarolo tse latelang tsa granite li hokahanngoa kapa li hokahantsoe ho eona ka nepo ho sebelisoa metsoako e tsoetseng pele e thehiloeng ho epoxy, mohato oa bohlokoa o netefatsang hore sebopeho sohle se sebetsa joalo ka yuniti e le 'ngoe, e ts'oanang. Ho kopanngoa ka katleho ho hloka tlhokomelo e hlokolosi ho lintlha tse qaqileng:

• Ho iketsetsa: Likarolo li tlameha ho etsoa ka nepo ho latela litlhaloso tse ikhethang tsa moreki, hangata ho kenyeletsoa ho kopanngoa ha likarolo tse seng tsa granite joalo ka mela e pholisang le li-sensor mounts ka kotloloho mohahong.

• Netefatso ea Boleng: Karolo ka 'ngoe e hloka taolo e matla ea boleng, ho kenyeletsoa le netefatso ea ho ba bataletse, ho otloloha, le squareness ho sebelisoa li-CMM le li-interferometer tsa laser, ho netefatsa hore li fihlela litekanyetso tse thata tsa ISO le tsa machaba bakeng sa metrology le ho nepahala.

• Tšebelisano-'moho le Bafani: Ho khetha mofani oa likarolo tsa granite oa OEM ke tšebelisano-'moho. Ho hloka kutloisiso e tebileng ea ts'ebeliso ea semiconductor, bokhoni ba ho khetha lejoe le tala la boemo bo holimo, le bokhoni ba tlhahiso ba ho sebetsa ka mochini le ho kopanya meaho e rarahaneng ho latela mamello ea nanometer.

Qetellong, le hoja microchip e felileng e le mohlolo oa bohlale ba motho, tlhahiso ea eona e itšetlehile ka botsitso bo khutsitseng bo fanoang ke lejoe la tlhaho. Tšebeliso e rarahaneng ea granite e le thepa ea mantlha bakeng sa bethe ea mochini oa granite le likarolo tse ling tse ikhethileng tsa granite tsa OEM ke karolo ea bohlokoahali ho sutumelletseng meeli ea miniaturization. Bakeng sa bahlahisi ba Lisebelisoa tsa Ts'ebetso ea Wafer, ho sebelisana le setsebi sa meaho ea granite e nepahetseng haholo ke mohato oa pele le oa bohlokoa ka ho fetisisa oa ho fumana monyetla oa tlholisano 'marakeng oa semiconductor oa lefats'e.