Indasteri ea lefats'e ea semiconductor e ntse e tsamaea nakong ea ho nepahala ho sa tloaelehang. Ha boholo ba likarolo tsa li-wafer tsa silicon bo ntse bo fokotseha ho ea ho li-node tsa 2nm le 1nm, moeli oa phoso ho metrology le tlhahlobo o se o nyametse ka ho felletseng. Tikolohong ena e nang le mathata a maholo, esita le litsamaiso tse tsoetseng pele ka ho fetisisa tsa optical le electron-beam li tšepahala feela joaloka li-platform tseo li lutseng ho tsona. 'Nete ena e bakile phetoho e kholo indastering ka bophara: ho itšetleha ho ntseng ho eketseha hogranite e se nang makenete bakeng sa tlhahlobo ea wafere le thepa ea motheo bakeng sa libaka tsa liteko tse nang le tlhahiso e phahameng.
Ka mashome a lilemo, granite ea tlhaho e bile "tekanyetso ea khauta" bakeng sa boenjiniere ba ho nepahala ka lebaka la ho thothomela ha eona ho ikhethang le coefficient e tlase ea katoloso ea mocheso. Leha ho le joalo, moelelong oa tlhahlobo ea wafer ea sejoale-joale, ha se granite eohle e bōpiloeng e lekanang. Boteng ba lintho tse kenyellelitsoeng tsa tšepe kapa liminerale tsa makenete lejoeng la maemo a tloaelehileng bo ka baka tšitiso ea matla a makenete sebakeng seo. Bakeng sa litsamaiso tse sebelisang mahlaseli a elektrone kapa li-sensor tse bonolo tsa makenete, tšitiso e joalo e kotsi, e lebisang ho kheloheng ha mahlaseli le ho se nepahale ha tekanyo ho behang ts'ebetso eohle ea taolo ea boleng kotsing.
ZHHIMG e qetile dilemo e ntlafatsa tshebetso ya kgetho ho fumana dibopeho tsa jeoloji tse nang le bokgoni bo tlase ba makenete.granite e se nang makenete bakeng sa tlhahlobo ea wafer, re nolofalletsa bahlahisi ba lisebelisoa ho sutumelletsa meeli ea tharollo ntle le "lerata" le makatsang le hlaselang thepa e fokolang. Tlhaloso ena ea tekheniki ke eona e arolang sesebelisoa se tloaelehileng sa tlhahlobo ho sehlopha sa metrology sa maemo a lefats'e se khonang ho boloka ho pheta-pheta ha sub-nanometer.
Ho tsamaellana le ditlhoko tsa makenete ke tlhoko e ke keng ya buisanoa ya bohloeki ba tikoloho. Ho Fab ya sejwalejwale, sethala se tlameha ho etsa ho fetang feela ho dula se tsitsitse; se lokela ho dula se "sa bonahale" tikolohong. Mona ke moo mohopolo wasethala sa granite se lumellanang le kamore e hloekilenge ba ea bohlokoa. Lisebelisoa tsa indasteri tsa setso hangata lia hloleha libakeng tse se nang letho kapa tse hloekileng haholo ka lebaka la ho tsoa ha khase—ho lokolloa ha likhase tse tšoasitsoeng kapa metsoako ea lintho tse phelang e feto-fetohang e ka silafatsang optics kapa ea lula holim'a wafer, e leng se bakang "liphoso tse bolaeang" tse senyang.
Filosofi ea boenjiniere ea ZHHIMG e nka bokaholimo ba granite e le karolo ea ts'ebetso e phahameng ho fapana le boloko ba majoe bo sa sisinyeheng. Ts'ebetso ea rona e ikhethileng e netefatsa hore e 'ngoe le e 'ngoesethala sa granite se lumellanang le kamore e hloekilenge feta tsamaisong e matla ea ho hloekisa le ho koala e reretsoeng ho felisa ho tšoloha ha likaroloana tse nyenyane. Boemo bona ba botšepehi ba thepa bo bohlokoa bakeng sa lithography le lisebelisoa tsa tlhahlobo tse sebetsang likamoreng tsa ho hloekisa tsa Sehlopha sa 1 kapa ISO 3, moo esita le karoloana e le 'ngoe e lahlehileng e ka fellang ka ho lahleheloa ke lidolara tse likete.
Ka nqane ho thepa ea 'mele ea lejoe ka bolona, ho kopanngoa ha granite le meralo e pharaletseng ea mochini ho hloka kutloisiso e tebileng ea matla a sebopeho. Li-OEM tse etellang pele tsa semiconductor tsa Europe le Amerika ha li sa batla bafepedi ba bonolo; li batla balekane ba sebelisanang 'moho ba utloisisang khatello ea mocheso le ea mechini ea ho sebetsana le wafer ka lebelo le phahameng la 24/7. Tsebo ea ZHHIMG ea ho lapa ka nepo le ho kenya ka mokhoa o ikhethileng e lumella ho kopanngoa ho se nang sekoli ha mekhahlelo e jereng moea le lienjene tse otlolohileng ka kotloloho motheong oa granite, ho theha sistimi e kopaneng e fokotsang liphoso tsa ho bokellana.
Ha re ntse re shebile bokamoso ba indasteri, karolo ea motheo oa sebopeho e tla hola feela ka bohlokoa. Ka ho fihla ha lithography ea High-NA EUV le ho hola ha 3D NAND, boima le botsitso bagranite e se nang makenete bakeng sa tlhahlobo ea waferLi-platform li tlameha ho fetoha ho sebetsana le ho potlaka ho hoholo le meroalo e rarahaneng ea mocheso. ZHHIMG e ka pele ho phetoho ena, e tsetela lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa metrology ho netefatsa ho ba bataletseng le ho ts'oana le mamello eo ho neng ho nahanoa hore e ke ke ea khoneha lilemong tse leshome tse fetileng feela.
Boitlamo ba ho etsa bokhabane ho ZHHIMG bo susumetsoa ke kutloisiso ea hore lefatšeng la li-semiconductor, botsitso ke selelekela sa boqapi.sethala sa granite se lumellanang le kamore e hloekilengke ho feta theko feela; ke letsete ho tshepahaleng ha nako e telele ha mohala wa tlhahiso. Ka ho fedisa tshitiso ya makenete le tshilafatso ya dikarolwana mohloding, ZHHIMG e fana ka tikoloho e kgutsitseng, e hlwekileng le e tsitsitseng eo di-chip tsa hosane di e hlokang.
Bakeng sa mekhatlo e ikitlaelletsang ho ntlafatsa tlhahiso ea eona ea tlhahlobo le ho fokotsa litšenyehelo tsohle tsa ho ba le thepa ea bona ea metrology, khetho ea thepa ea motheo ke qeto ea bohlokoa ka ho fetisisa mohatong oa moralo. ZHHIMG e tsoela pele ho tšehetsa baetapele ba lefats'e ka ho fana ka likarolo tsa majoe tse fihlelang litekanyetso tse thata ka ho fetisisa tsa machaba tsa bohloeki le ho nepahala.
Lefatšeng le hlalosoang ke microscope, botsitso bo boholo ba granite ea ZHHIMG e ntse e le mohlokomeli ea khutsitseng oa mehla ea dijithale. Re mema baenjiniere ba lits'ebetso le baqapi ba lisebelisoa ho hlahloba kamoo saense ea rona e ikhethang ea thepa e ka hlalosang bocha meeli ea seo litsamaiso tsa bona tsa tlhahlobo li ka se finyellang.
Nako ea poso: Hlakubele-05-2026