Sehokelong sa bohlokoa sa tlhahiso ea chip - ho hlahlojoa ka sephaphatha, ho nepahala ha lisebelisoa ho lekanya boleng ba chip. E le karolo ea bohlokoa ea lisebelisoa, bothata ba ho atolosa mocheso oa setsi sa mochine oa granite bo khahlile haholo.
Coefficient ea katoloso ea mocheso oa granite hangata e pakeng tsa 4 le 8×10⁻⁶/℃, e tlase haholo ho feta ea tšepe le marble. Sena se bolela hore ha mocheso o fetoha, boholo ba eona bo fetoha hanyenyane. Leha ho le joalo, hoa lokela ho hlokomeloa hore ho atolosoa ha mocheso o tlaase ha ho bolele hore ha ho na ho atolosoa ha mocheso. Tlas'a liphetoho tse feteletseng tsa mocheso, esita le katoloso e nyenyane feela e ka ama ho nepahala ha nanoscale ea ho hlahlojoa ha wafer.
Nakong ea ts'ebetso ea ho hlahloba li-wafer, ho na le mabaka a mangata a ho ba teng ha katoloso ea mocheso. Ho feto-fetoha ha mocheso ka har'a workshop, mocheso o hlahisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa tsa lisebelisoa, le mocheso o phahameng oa hang-hang o tlisoang ke ts'ebetso ea laser kaofela li tla etsa hore motheo oa granite o "atolohe le ho konteraka ka lebaka la liphetoho tsa mocheso". Hang ha setsi se e-na le katoloso ea mocheso, ho otloloha ha seporo sa tataiso le ho batalla ha sethala ho ka 'na ha kheloha, ho fella ka mokhoa o sa nepahalang oa motsamao oa tafole ea liphaphatha. Likarolo tse tšehetsang tsa optical le tsona li tla fetoha, e leng se etsang hore sekena se "khelohe". Ho sebetsa ka nako e telele nako e telele ho tla boela ho bokelle liphoso, ho etsa hore ho nepahala ho mpe le ho feta.
Empa u se ke ua tšoenyeha. Batho ba se ba ntse ba e-na le tharollo. Mabapi le lisebelisoa, methapo ea granite e nang le coefficient e tlase ea ho atolosoa ha mocheso e tla khethoa 'me e be tlas'a phekolo ea botsofali. Mabapi le taolo ea mocheso, mocheso oa workshop o laoloa ka nepo ho 23 ± 0.5 ℃ kapa esita le tlase, mme sesebelisoa se sebetsang sa ho qhala mocheso le sona se tla etsoa bakeng sa motheo. Mabapi le moralo oa meralo, meaho ea symmetrical le litšehetso tse tenyetsehang li amoheloa, 'me tlhahlobo ea nako ea nnete e etsoa ka li-sensor tsa mocheso. Liphoso tse bakoang ke ho senyeha ha mocheso li lokisoa ka matla ke li-algorithms.
Lisebelisoa tsa boemo bo holimo tse kang mechine ea lithography ea ASML, ka mekhoa ena, li boloka phello ea ho atolosa mocheso oa setsi sa granite ka har'a sebaka se senyenyane haholo, se nolofalletsang ho nepahala ha sekhechana sa wafer ho fihla boemong ba nanometer. Ka hona, hafeela e ntse e laoloa ka nepo, setsi sa granite se lula e le khetho e tšepahalang bakeng sa lisebelisoa tsa ho hlahloba sephaphatha.
Nako ea poso: Jun-12-2025