Phetohelo e Nepahetseng tlhahisong ea li-semiconductor: Ha granite e kopana le theknoloji ea micron
1.1 Litšibollo tse sa lebelloang saenseng ea thepa
Ho ya ka tlaleho ya Mokgatlo wa Semiconductor wa Matjhaba wa SEMI wa 2023, 63% ya di-fab tse tswetseng pele lefatsheng di se di qadile ho sebedisa metheo ya granite ho ena le di-platform tsa tshepe tsa setso. Lejwe lena la tlhaho, le simolohang ho tswa ho magma condensation botebong ba Lefatshe, le ngola botjha nalane ya tlhahiso ya di-semiconductor ka lebaka la thepa ya lona e ikgethang ya mmele:
Molemo oa ho se be le mocheso: coefficient ea katoloso ea mocheso ea granite ea 4.5×10⁻⁶/℃ ke 1/5 feela ea tšepe e sa ruseng, 'me botsitso ba boholo ba ± 0.001mm bo bolokoa mosebetsing o tsoelang pele oa mochini oa lithography.
Litšobotsi tsa ho thiba ho thothomela: coefficient ea khohlano ea kahare e phahame ka makhetlo a 15 ho feta ea tšepe e lahliloeng, e monya lisebelisoa ka katleho ho thothomela ho honyenyane
Tlhaho ea makenete ea Zero: felisa ka botlalo phoso ea makenete tekanyong ea laser
1.2 Leeto la phetoho ho tloha ho la ka ho ea ho le letle
Ha re nka setsi se bohlale sa tlhahiso sa ZHHIMG Shandong e le mohlala, karolo ea granite e tala e hloka ho feta:
Ho sebetsa ka ho nepahala ho hoholo: setsi sa ho sebetsa ka ho kopanya li-axis tse hlano bakeng sa lihora tse 200 tsa ho sila ho tsoelang pele, ho ba thata ha bokaholimo ho fihlela ho Ra0.008μm
Kalafo ea botsofali ba maiketsetso: Lihora tse 48 tsa ho lokolloa ha khatello ea tlhaho setsing sa ho sebetsa sa mocheso le mongobo se sa fetoheng, e leng se ntlafatsang botsitso ba sehlahisoa ka 40%.
Ea bobeli, rarolla mathata a tšeletseng a ho nepahala ha tlhahiso ea semiconductor "tharollo ea lefika"
2.1 Morero oa ho fokotsa sekhahla sa ho arohana ha wafer
Pontšo ea nyeoe: Kamora hore setsi sa ho theha li-chip Jeremane se amohele sethala sa rona sa granite se phaphametseng ka khase:
| Bophara ba wafer | phokotso ea sekhahla sa chip | ntlafatso ea ho batalla |
| Li-inchi tse 12 | 67% | ≤0.001mm |
| Li-inchi tse 18 | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Morero oa katleho ea ho nepahala ha ho hokahanya ha Lithographic
Sistimi ea puseletso ea mocheso: sensor ea ceramic e kentsoeng e lekola phetoho ea sebopeho ka nako ea sebele 'me e fetola tšekamelo ea sethala ka bo eona
Lintlha tse lekantsoeng: tlas'a phetoho ea 28℃±5℃, ho nepahala ha ho kenngoa hoa fetoha ka tlase ho 0.12μm
Nako ea poso: Hlakubele-24-2025