Mafapheng a tlhahiso e nepahetseng le lipatlisiso tsa mahlale, ho batalatsa ha liforomo tsa ho nepahala ha granite ke sesupo sa bohlokoa ho netefatsa ho nepahala ha lisebelisoa. Se latelang ke selelekela se qaqileng sa mekhoa e mengata ea ho lemoha le mekhoa ea eona ea ts'ebetso bakeng sa hau.
I. Mokhoa oa ho lemoha interferometer ea laser
Interferometer ea laser ke sesebelisoa se ratoang bakeng sa ho lemoha ho bataletse ka nepo. Nka mohlala oa interferometer ea laser ea ZYGO GPI XP, qeto ea eona e ka fihla ho 0.1nm. Ha u etsa tlhahlobo, qala ka ho hokahanya mohloli oa leseli oa interferometer le sethala 'me u arole bokaholimo ba sethala ka libaka tsa gridi ea 50mm×50mm. Ka mor'a moo, lintlha tsa fringe ea tšitiso li ile tsa bokelloa ntlha ka ntlha, 'me lintlha li ile tsa kenngoa le ho hlahlojoa ho sebelisoa polynomial ea Zernike ho fumana phoso ea ho bataletse. Mokhoa ona o sebetsa ho li-platform tse nepahetseng haholo 'me o ka lemoha liphoso tsa ho bataletse tsa ≤0.5μm/m². Hangata o sebelisoa ho lemoha mechine ea photolithography le li-platform tsa mochini tse lekanyang tse tharo tse phahameng.
II. Mokhoa oa Array oa Boemo ba Elektroniki
Ho lemoha sehlopha sa maemo a elektroniki ho bonolo ho ho sebetsa ebile ho sebetsa hantle haholo. Boemo ba elektroniki ba TESA A2 (ka qeto ea 0.01μm/m) bo khethiloe 'me bo hlophisitsoe ka sehlopha sa 9×9 ho latela tataiso ea X/Y axis ea sethala. Ka ho bokella lintlha tsa ho sekamela tsa boemo ka bong ka nako e le 'ngoe ebe ho sebelisoa mokhoa o monyenyane oa sekwere bakeng sa ho bala, boleng ba ho batalla bo ka fumanoa ka nepo. Mokhoa ona o ka khetholla ka katleho maemo a ho kobeha le a ho kobeha a sethala. Mohlala, phetoho ea 0.2μm ka har'a sebaka sa 50mm le eona e ka fumanoa, e leng se loketseng ho fumanoa ka potlako tlhahisong ea bongata.
III. Mokhoa oa kristale e bataletseng ea Optical
Mokhoa oa kristale e bataletseng ea optical o loketse ho lemoha liforomo tse nyane tsa sebaka. Khomaretsa kristale e bataletseng ea optical ka thata holim'a metsi a tla lekoa sethaleng 'me u bone lipheletso tse entsoeng pakeng tsa tsona tlas'a khanya ea mohloli oa leseli le letšo (joalo ka lebone la sodium). Haeba mela e le mela e otlolohileng e bapileng, e bontša ho batalla hantle. Haeba mela e kobehileng e hlaha, bala phoso ea ho batalla ho latela tekanyo ea ho kobeha ha mela. Mohala o mong le o mong o kobehileng o emela phapang ea bolelele ba 0.316μm, 'me data ea ho batalla e ka fumanoa ka phetoho e bonolo.
Mokhoa oa tlhahlobo oa mochini oa ho lekanya oa likhokahano tse tharo.
Mochini o lekanyang oa likhokahano tse tharo o ka fihlela tekanyo e nepahetseng haholo sebakeng sa mahlakore a mararo. Beha sethala sa granite tafoleng ea mosebetsi ea mochini o lekanyang 'me u sebelise probe ho bokella data ka ho lekana ho tsoa lintlheng tse ngata tsa tekanyo holim'a sethala. Sistimi ea mochini o lekanyang e sebetsana le ho sekaseka data ena ho hlahisa tlaleho ea ho ba bataletse ea sethala. Mokhoa ona ha o khone ho lemoha ho ba bataletse feela, empa hape o ka fumana liparamente tse ling tsa jeometri tsa sethala ka nako e le 'ngoe, 'me o loketse ho lemoha ka botlalo liforomo tse kholo tsa granite.
Ho tseba mekhoa ena ea ho lemoha ho ka u thusa ho lekola ka nepo ho batalatsa ha sethala sa ho nepahala ha granite le ho fana ka tiiso e tšepahalang bakeng sa ts'ebetso e tsitsitseng ea lisebelisoa tsa ho nepahala.
Nako ea poso: Mots'eanong-29-2025