.
Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, e le lisebelisoa tsa mantlha tse khethollang ho nepahala ha ts'ebetso ea tlhahiso ea li-chip, botsitso ba tikoloho ea ka hare ea mochini oa photolithography bo bohlokoa haholo. Ho tloha ho khothatsong ea mohloli o feteletseng oa leseli la ultraviolet ho isa ts'ebetsong ea sethala sa motsamao oa ho nepahala ha nanoscale, ho ke ke ha e-ba le ho kheloha ho honyenyane khokahanong e 'ngoe le e 'ngoe. Metheo ea granite, e nang le letoto la thepa e ikhethang, e bontša melemo e ke keng ea bapisoa ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea mechini ea photolithography le ho ntlafatsa ho nepahala ha photolithography.
Tshebetso e ikhethang ea tšireletso ea motlakase
Karolo e ka hare ea mochini oa photolithography e tletse tikoloho e rarahaneng ea motlakase. Tšitiso ea motlakase (EMI) e hlahisoang ke likarolo tse kang mehloli e matla ea leseli la ultraviolet, li-drive motors, le lisebelisoa tsa motlakase tse nang le maqhubu a phahameng, haeba li sa laoloe ka katleho, li tla ama ka botebo ts'ebetso ea likarolo tsa elektroniki tse nepahetseng le litsamaiso tsa optical ka har'a lisebelisoa. Mohlala, tšitiso e ka baka ho kheloha hanyane mefuteng ea photolithography. Ts'ebetsong e tsoetseng pele ea tlhahiso, sena se lekane ho lebisa likhokahanong tse fosahetseng tsa transistor ho chip, e leng se fokotsang chai ea chip haholo.
Granite ke thepa e seng ea tšepe 'me ha e tsamaise motlakase ka boeona. Ha ho na ketsahalo ea tlhahiso ea motlakase e bakoang ke ho tsamaea ha lielektrone tse lokolohileng kahare joalo ka linthong tsa tšepe. Tšobotsi ena e etsa hore e be 'mele oa tlhaho oa tšireletso ea motlakase, o ka thibelang tsela ea phetisetso ea tšitiso ea motlakase ea ka hare. Ha matla a makenete a feto-fetohang a hlahisoang ke mohloli oa tšitiso ea motlakase oa kantle a ata ho ea botlaaseng ba granite, kaha granite ha e na makenete 'me e ke ke ea etsoa makenete, matla a makenete a feto-fetohang a thata ho a kenella, ka hona a sireletsa likarolo tsa mantlha tsa mochini oa photolithography o kentsoeng botlaaseng, joalo ka li-sensor tse nepahetseng le lisebelisoa tsa ho lokisa lense ea optical, tšusumetsong ea tšitiso ea motlakase le ho netefatsa ho nepahala ha phetisetso ea mohlala nakong ea ts'ebetso ea photolithography.
Ho tsamaisana hantle ha vacuum
Kaha leseli le feteletseng la ultraviolet (EUV) le monngoa habonolo ke lintho tsohle, ho kenyeletsoa le moea, mechine ea lithography ea EUV e tlameha ho sebetsa tikolohong ea vacuum. Nakong ena, ho lumellana ha likarolo tsa lisebelisoa le tikoloho ea vacuum ho ba bohlokoa haholo. Sebakeng sa vacuum, thepa e ka qhibiliha, ea tlosa le ho lokolla khase. Khase e ntšitsoeng ha e monye feela khanya ea EUV, e fokotsa matla le katleho ea phetisetso ea khanya, empa hape e ka silafatsa lilense tsa mahlo. Mohlala, mouoane oa metsi o ka oxidize lilense, 'me li-hydrocarbon li ka beha likarolo tsa carbon lilenseng, e leng se amang boleng ba lithography ka botebo.
Granite e na le thepa e tsitsitseng ea lik'hemik'hale 'me ha e lokolle khase tikolohong ea vacuum. Ho ea ka liteko tsa litsebi, tikolohong ea vacuum ea mochini oa photolithography e etsisitsoeng (joalo ka tikoloho ea vacuum e hloekileng haholo moo sistimi ea mabone ea khanya le sistimi ea litšoantšo ea optical ka kamoreng e kholo li leng teng, tse hlokang H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), sekhahla sa ho tsoa ha khase ea motheo oa granite se tlase haholo, se tlase haholo ho feta sa lisebelisoa tse ling tse kang litšepe. Sena se nolofalletsa karolo e ka hare ea mochini oa photolithography ho boloka tekanyo e phahameng ea vacuum le bohloeki ka nako e telele, ho netefatsa phetiso e phahameng ea leseli la EUV nakong ea phetiso le tikoloho ea ts'ebeliso e hloekileng haholo bakeng sa lilense tsa mahlo, ho atolosa bophelo ba ts'ebeletso ea sistimi ea mahlo, le ho ntlafatsa ts'ebetso e akaretsang ea mochini oa photolithography.
Khanyetso e matla ea ho thothomela le botsitso ba mocheso
Nakong ea ts'ebetso ea photolithography, ho nepahala boemong ba nanometer ho hloka hore mochini oa photolithography o se ke oa ba le ho thothomela ho honyenyane kapa ho fetoha ha mocheso. Ho thothomela ha tikoloho ho hlahisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa tse ling le motsamao oa basebetsi ka har'a workshop, hammoho le mocheso o hlahisoang ke mochini oa photolithography ka boeona nakong ea ts'ebetso, kaofela li ka sitisa ho nepahala ha photolithography. Granite e na le boima bo phahameng le sebopeho se thata, 'me e na le khanyetso e ntle ea ho thothomela. Sebopeho sa eona sa kristale ea diminerale se ka hare se kopane, se ka fokotsang matla a ho thothomela ka katleho le ho thibela ka potlako ho ata ha ho thothomela. Lintlha tsa liteko li bontša hore tlas'a mohloli o tšoanang oa ho thothomela, motheo oa granite o ka fokotsa boholo ba ho thothomela ka ho feta 90% ka metsotsoana e 0.5. Ha e bapisoa le motheo oa tšepe, e ka khutlisetsa lisebelisoa botsitsong kapele, ea netefatsa boemo bo nepahetseng bo amanang pakeng tsa lense ea photolithography le wafer, le ho qoba ho fifala ha paterone kapa ho se lumellane hantle ho bakoang ke ho thothomela.
Ho sa le jwalo, tekanyo ya katoloso ya mocheso ya granite e tlase haholo, e ka bang (4-8) ×10⁻⁶/℃, e leng tlase haholo ho feta ya thepa ya tshepe. Nakong ya tshebetso ya mochini wa photolithography, leha mocheso wa kahare o fetoha ka lebaka la mabaka a kang tlhahiso ya mocheso ho tswa mohloding wa lesedi le kgohlano e tswang dikarolong tsa mechini, motheo wa granite o ka boloka botsitso ba dibopeho mme o ke ke wa feta sebopehong se seholo ka lebaka la katoloso le ho honyela ha mocheso. E fana ka tshehetso e tsitsitseng le e tshepahalang bakeng sa sistimi ya optical le sethala sa motsamao o nepahetseng, e boloka botsitso ba ho nepahala ha photolithography.
Nako ea poso: Mots'eanong-20-2025