Lefapheng la tlhahlobo ea wafer ea semiconductor, bohloeki ba tikoloho ea kamore e hloekileng bo amana ka ho toba le chai ea sehlahisoa. Ha ho nepahala ha lits'ebetso tsa tlhahiso ea chip ho ntse ho ntlafala, litlhoko tsa liforomo tsa ho jara lisebelisoa tsa ho lemoha li ntse li thatafala le ho feta. Liforomo tsa granite, tse nang le litšobotsi tsa ho se lokolloe ha li-ion tsa tšepe le tšilafalo e tlase ea likaroloana, li fetile lisebelisoa tsa tšepe tse sa hloekang tsa setso 'me e se e le tharollo e ratoang bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer.
Granite ke lefika la tlhaho le nang le mouoane o entsoeng haholo-holo ka liminerale tse seng tsa tšepe tse kang quartz, feldspar le mica. Tšobotsi ena e e fa monyetla oa ho se lokolloe ha li-ion tsa tšepe. Ka lehlakoreng le leng, tšepe e sa hloekang, e le motsoako oa litšepe tse kang tšepe, chromium le nickel, e kotsing ea ho bola ha electrochemical holim'a eona ka lebaka la ho senyeha ha mouoane oa metsi le likhase tse nang le asiti kapa alkaline tikolohong e hloekileng ea kamore, e leng se fellang ka ho putlama ha li-ion tsa tšepe tse kang Fe²⁺ le Cr³⁺. Hang ha li-ion tsena tse nyane li khomarela holim'a wafer, li tla fetola thepa ea motlakase ea thepa ea semiconductor lits'ebetsong tse latelang tse kang photolithography le etching, li bake ho kheloha ha motlakase oa transistor, 'me li be li lebise lipotolohong tse khutšoane potolohong. Lintlha tsa liteko tsa setheo sa profeshenale li bontša hore ka mor'a hore sethala sa granite se pepesetsoe khafetsa mochesong o hloekileng oa kamore le tikoloho ea mongobo (23±0.5℃, 45%±5% RH) ka lihora tse 1000, ho lokolloa ha li-ion tsa tšepe ho ne ho le tlase ho feta moeli oa ho lemoha (< 0.1ppb). Sekhahla sa di-wafer tse bakwang ke tshilafatso ya di-ion tsa tshepe ha ho sebediswa dipolatefomo tsa tshepe e sa ruseng se ka ba hodimo ho fihla ho 15% ho isa ho 20%.
Mabapi le taolo ea tšilafalo ea likaroloana, liforomo tsa granite le tsona li sebetsa hantle haholo. Li-cleanroom li na le litlhoko tse phahameng haholo bakeng sa ho bokellana ha likaroloana tse leketlileng moeeng. Mohlala, li-cleanroom tsa ISO Class 1, palo ea likaroloana tsa 0.1μm tse lumelloang ka mithara ea cubic ha e fete 10. Esita le haeba sethala sa tšepe e sa ruseng se fetile kalafo ea ho bentša, se ntse se ka hlahisa lithōle tsa tšepe kapa sekala sa oxide se tabohang ka lebaka la matla a kantle a kang ho thothomela ha lisebelisoa le ts'ebetso ea basebetsi, e ka sitisang tsela ea optical ea ho lemoha kapa ea ho ngoapa bokaholimo ba wafer. Liforomo tsa granite, tse nang le sebopeho sa tsona se teteaneng sa diminerale (botenya ≥2.7g/cm³) le ho thatafala ho hoholo (6-7 sekaleng sa Mohs), ha li na tšekamelo ea ho tsofala kapa ho robeha nakong ea tšebeliso ea nako e telele. Litekanyo tse lekantsoeng li bontša hore li ka fokotsa ho bokellana ha likaroloana tse leketlileng moeeng oa sebaka sa lisebelisoa tsa ho lemoha ka ho feta 40% ha li bapisoa le liforomo tsa tšepe e sa ruseng, ka katleho li boloka maemo a boemo ba kamore ea ho hloekisa.
Ntle le litšobotsi tsa eona tse hloekileng, ts'ebetso e felletseng ea li-platform tsa granite le eona e feta haholo ea tšepe e sa hloekang. Mabapi le botsitso ba mocheso, coefficient ea eona ea katoloso ea mocheso ke (4-8) × 10⁻⁶/℃ feela, e ka tlase ho halofo ea tšepe e sa hloekang (hoo e ka bang 17×10⁻⁶/℃), e leng se ka bolokang ho nepahala ha sebaka sa lisebelisoa tsa ho lemoha ha mocheso ka phapusing e hloekileng o fetoha. Tšobotsi e phahameng ea ho damping (karolelano ea ho damping > 0.05) e ka fokotsa ho thothomela ha lisebelisoa ka potlako le ho thibela probe ea ho lemoha ho thothomela. Ho hanyetsa ha eona mafome ka tlhaho ho e nolofalletsa ho lula e tsitsitse esita le ha e pepesehetse li-solvents tsa photoresist, likhase tse hlabang le lik'hemik'hale tse ling ntle le tlhoko ea tšireletso e eketsehileng ea ho roala.
Hona jwale, di-platform tsa granite di sebediswa haholo difemeng tse tswetseng pele tsa tlhahiso ya wafer. Dintlha di bontsha hore kamora ho amohela sethala sa granite, sekgahla sa kahlolo e fosahetseng sa ho lemoha dikarolwana tsa wafer se fokotsehile ka 60%, potoloho ya ho lekanya disebediswa e atolositswe ka makgetlo a mararo, mme ditjeo tsa tlhahiso ka kakaretso di theohile ka 25%. Ha indasteri ya semiconductor e ntse e ya ho nepahala ho hoholo, di-platform tsa granite, ka melemo ya tsona ya mantlha jwalo ka ho lokollwa ha ion ya tshepe le tshilafalo e tlase ya dikarolwana, di tla tswela pele ho fana ka tshehetso e tsitsitseng le e tshepahalang bakeng sa tlhahlobo ya wafer, e be matla a bohlokwa a kgannang kgatelopele ya indasteri.
Nako ea poso: Mots'eanong-20-2025