Li-platform tsa granite tse nepahetseng, ka ho tiea ha tsona ho hoholo, coefficient e tlase ea katoloso, ts'ebetso e ntle ea ho damping le thepa ea tlhaho ea anti-magnetic, li na le boleng bo ke keng ba nkeloa sebaka ke ts'ebeliso masimong a tlhahiso ea maemo a holimo le lipatlisiso tsa mahlale moo ho nepahala le botsitso li hlokoang haholo. Tse latelang ke maemo a mantlha a ts'ebeliso ea eona le melemo ea tekheniki:
I. Tšimo ea lisebelisoa tsa ts'ebetso tse nepahetseng haholo
Lisebelisoa tsa tlhahiso ea semiconductor
Maemo a tshebediso: Tafole ya mosebetsi wa mochini wa Lithography, setsi sa mochini wa wafer dicing, sethala sa ho beha disebediswa tsa ho paka.
Boleng ba tekheniki:
Koefficient ea katoloso ea mocheso ea granite ke feela (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃, e ka hanelang ho feto-fetoha ha mocheso nakong ea ho pepesehela mochini oa lithography ka nanoscale (phoso ea ho falla < 0.1nm tikolohong ea ±0.1℃).
Sebopeho sa ka hare sa di-micro-pore se etsa damping ya tlhaho (karolelano ya damping 0.05 ho isa ho 0.1), se thibela ho thothomela (amplitude < 2μm) nakong ya ho seha ka lebelo le phahameng ke mochini o sehang le ho netefatsa hore bohale ba Ra ba seha sa wafer bo ka tlase ho 1μm.
2. Mechini ea ho Sila ka ho Nepahetseng le Mechini ea ho Lekanya e Kopanetsoeng (CMM)
Nyeoe ea kopo:
Botlaase ba mochini o lekanyang oa likhokahano tse tharo bo amohela sebopeho sa granite se kopaneng, se nang le botenya ba ±0.5μm/m. Ha se kopantsoe le seporo sa tataiso se phaphametseng moeeng, se fihlella ho nepahala ha motsamao oa boemo ba nano (ho nepahala ha ho beha hape ±0.1μm).
Tafole ea mosebetsi ea mochini o silang oa optical e sebelisa sebopeho se kopaneng sa granite le tšepe ea silevera. Ha ho siloa khalase ea K9, bophahamo ba leqhubu bo ka tlase ho λ/20 (λ=632.8nm), e leng se fihlelang litlhoko tsa ts'ebetso e boreleli haholo ea lilense tsa laser.
II. Lekala la Optics le Photonics
Litheleskoupo tsa linaleli le litsamaiso tsa laser
Likopo tse tloaelehileng:
Sethala sa tšehetso sa bokaholimo ba khanya ea thelesekoupo e kholo ea seea-le-moea se sebelisa sebopeho sa lehe la linotši la granite, se bobebe ka boima ba sona (botenya ba 2.7g/cm³) 'me se na le khanyetso e matla ea ho thothomela ha moea (ho fetoha ha < 50μm tlas'a moea oa maemo a 10).
Sethala sa optical sa laser interferometer se sebedisa granite e nang le masoba a manyane. Setshwantsho se lokiswa ke ho kopanngwa ha vacuum, ka phoso ya ho ba bataletse ya ka tlase ho 5nm, ho netefatsa botsitso ba diteko tsa optical tse nepahetseng haholo tse kang ho lemoha maqhubu a matla a khoheli.
2. Ts'ebetso e nepahetseng ea likarolo tsa mahlo
Melemo ea tekheniki:
Ho kenella ha makenete le ho tsamaisa motlakase sethaleng sa granite ho haufi le lefela, ho qoba tšusumetso ea tšitiso ea motlakase lits'ebetsong tse nepahetseng tse kang ho polishing ea mahlaseli a ion (IBF) le ho polishing ea magnetorheological (MRF). Boleng ba PV ba ho nepahala ha sebopeho sa bokaholimo ba lense ea asphical e sebetsitsoeng bo ka fihla ho λ/100.
III. Tlhahlobo ea Lifofane le ho nepahala
Sethala sa tlhahlobo ea likarolo tsa lifofane
Maemo a tshebediso: Tlhahlobo ya mahlakore a mararo ya di-blade tsa difofane, tekanyo ya mamello ya sebopeho le boemo ba dikarolo tsa sebopeho sa alloy ya aluminium ya difofane.
Tshebetso ya bohlokwa:
Bokaholimo ba sethala sa granite bo phekoloa ka ho bola ha electrolytic ho etsa dipaterone tse ntle (ka ho ba thata ha Ra 0.4-0.8μm), bo loketse di-trigger probe tse nepahetseng haholo, mme phoso ya ho lemoha boemo ba lehare e ka tlase ho 5μm.
E ka mamella mojaro oa likarolo tsa lifofane tse fetang 200kg, 'me phetoho ea ho ba bataletse kamora tšebeliso ea nako e telele e ka tlase ho 2μm/m, e leng se fihlelang litlhoko tsa tlhokomelo e nepahetseng ea Kereiti ea 10 indastering ea lifofane.
2. Ho lekanya likarolo tsa ho tsamaea tse sa sebetseng hantle
Litlhoko tsa tekheniki: Tekanyo e sa fetoheng ea lisebelisoa tse sa sebetseng tse kang li-gyroscope le li-accelerometer li hloka sethala sa litšupiso se tsitsitseng haholo.
Tharollo: Sethala sa granite se kopantsoe le sistimi e sebetsang ea ho itšehla thajana ea ho thothomela (maqhubu a tlhaho < 1Hz), e fihlella tlhahlobo e nepahetseng haholo ea botsitso ba zero-offset ba likarolo tsa inertial < 0.01°/h tikolohong e nang le lebelo la ho thothomela < 1×10⁻⁴g.
Iv. Nanotechnology le Biomedicine
Sethala sa microscope ea probe ea ho skena (SPM)
Mosebetsi oa mantlha: E le motheo oa microscopy ea matla a athomo (AFM) le microscopy ea ho hlahloba tunneling (STM), e hloka ho aroloa ho thothomela ha tikoloho le ho kheloha ha mocheso.
Matšoao a tshebetso:
Sethala sa granite, hammoho le maoto a ho itšehla thajana a pneumatic vibration, se ka fokotsa sekhahla sa phetiso ea vibration tsa kantle (1-100Hz) ho ea ka tlase ho 5%, sa fihlella setšoantšo sa AFM sa boemo ba athomo tikolohong ea sepakapaka (resolution < 0.1nm).
Kutloisiso ea mocheso e ka tlase ho 0.05μm/℃, e fihlelang litlhoko tsa ho shebella disampole tsa baeloji ka tekanyo e nyane tikolohong ea mocheso o sa fetoheng (37℃±0.1℃).
2. Lisebelisoa tsa ho paka tsa Biochip
Nyeoe ea ts'ebeliso: Sethala sa ho hokahanya ka nepo se phahameng bakeng sa li-chip tsa tatellano ea DNA se amohela li-rails tsa tataiso tse phaphametseng moeeng tsa granite, ka ho nepahala ha sebaka sa ± 0.5μm, ho netefatsa ho hokahana ha sub-micron pakeng tsa kanale ea microfluidic le electrode ea ho lemoha.
V. Maemo a Ts'ebeliso e Hlahang
Setsi sa lisebelisoa tsa k'homphieutha tsa quantum
Mathata a tekheniki: Ho laola Qubit ho hloka mocheso o tlase haholo (boemo ba mK) le tikoloho e tsitsitseng haholo ea mechini.
Tharollo: Thepa ea katoloso e tlase haholo ea granite mochesong (sekhahla sa katoloso < 1ppm ho tloha ho -200℃ ho ea mochesong oa kamore) e ka bapisa litšobotsi tsa ho honyela ha limakenete tsa superconducting tsa mocheso o tlase haholo, e leng se netefatsang ho nepahala ha ho lekola ha li-chip tsa quantum.
2. Sistimi ea Lithography ea Electron Beam (EBL)
Tshebetso ya bohlokwa: Thepa ya ho kwahela mocheso ya sethala sa granite (resistivity > 10¹³Ω · m) e thibela ho hasana ha mahlasedi a dieleketerone. Ha e kopantswe le electrostatic spindle drive, e fihlella mongolo wa lithography o nepahetseng haholo ka bophara ba mola wa nanoscale (< 10nm).
Kakaretso
Tšebeliso ea liforomo tsa ho nepahala ha granite e atolohile ho tloha mechineng ea setso ea ho nepahala ho ea masimong a sejoale-joale joalo ka nanotechnology, fisiks ea quantum le biomedicine. Tlholisano ea eona ea mantlha e hokahaneng ho tebileng ha thepa ea thepa le litlhoko tsa boenjiniere. Nakong e tlang, ka ho kopanngoa ha mahlale a matlafatso a kopaneng (joalo ka li-nanocomposites tsa graphene-granite) le mahlale a bohlale a ho lemoha, liforomo tsa granite li tla phunyeletsa ka litsela tsa ho nepahala ha athomo, botsitso ba mocheso o felletseng, le kopanyo ea mesebetsi e mengata, e be likarolo tsa mantlha tsa motheo tse tšehetsang moloko o latelang oa tlhahiso ea ho nepahala haholo.
Nako ea poso: Mots'eanong-28-2025