Taolo ea Motsamao o Nepahetseng: Ho Bapisa Mekhahlelo ea ho Bea Moea le Mekhoa ea Granite ho Optical Metrology

Ho phehella ho sa khaotseng ho nepahala ha boemo ba nanometer tlhahisong ea semiconductor le tlhahlobo e kholo ea mahlo ho behile litlhoko tse sa tloaelehang litsamaisong tsa taolo ea motsamao. Hangata baenjiniere ba tobane le khetho ea bohlokoa ea moralo: bokhabane bo se nang khohlano ba mekhahlelo ea ho jara moea kapa botšepehi bo matla, bo fokotsang ho thothomela ha mekhahlelo ea mechini e thehiloeng ho granite. Ho ZHHIMG Group, rea hlokomela hore tharollo e nepahetseng hangata e lutse moo saense ea lintho tse bonahalang le matla a mokelikeli li kopanang teng.

Phehisano ea Bohlokoa: Mekhahlelo ea ho Bea Moea khahlanong le Mekhahlelo ea Granite

Ho utloisisa phapang, motho o lokela ho sheba mekhoa ea ho kopana. Mekhahlelo ea setso ea granite hangata e sebelisa li-bearings tsa mechini tse nepahetseng haholo—joalo ka li-cross-roller kapa li-ball slide—tse kopantsoeng ka ho toba hosetsi sa granite. Litsamaiso tsena li ananeloa ka lebaka la bokhoni ba tsona bo phahameng ba ho jara le ho tiea ho ikhethang. Litšobotsi tsa tlhaho tsa granite tsa ho fifatsa li netefatsa hore ho thothomela ho salang ho tsoa ho enjene kapa tikoloho ho qhalana ka potlako, e leng se etsang hore e be ntho ea bohlokoa ho metrology e boima.

Ka lehlakoreng le leng, mekhahlelo ea ho jara moea e emela sehlohlolo sa boreledi. Ka ho tšehetsa kariki e tsamaeang holim'a filimi e tšesaane ea moea o hatelletsoeng—hangata e le botenya ba li-micron tse 'maloa feela—mekhahlelo ena e felisa ho kopana 'meleng. Ho hloka khohlano hona ho fetolela ho ho se tsitsinyehe ha lefela le ho senyeha ha lefela, ho lumellang lebelo le sa fetoheng haholo le hlokahalang lits'ebetsong tsa ho skena. Le hoja li-bearing tsa moea li fana ka ho nepahala ho phahameng ha jeometri, li hloka phepelo ea moea o hloekileng, o omileng 'me ka kakaretso li na le kutloelo-bohloko haholoanyane ho mojaro o sa tloaelehang ha li bapisoa le li-mechanical counterparts tsa tsona.

Ho Hlahloba Mefuta ea Mekhahlelo ea Optical bakeng sa Likopo tse Ikhethang

Tšimo ea optics e hloka liprofaele tse khethehileng tsa motsamao, e leng se lebisang nts'etsopele ea mekhahlelo e fapaneng ea optical. Ho khetha mofuta o nepahetseng ho itšetlehile ka maemo a tokoloho a hlokahalang le tikoloho ea tlhahlobo.

Mekhahlelo ea optical e otlolohileng mohlomong ke eona e atileng haholo, e sebelisang li-screw tsa loto bakeng sa li-motor tse matla kapa tse otlolohileng bakeng sa ho potlakisa haholo. Ha ho hlokahala ho otloloha ha boemo ba nanometer nakong ea maeto a malelele, mekhahlelo e otlolohileng e jereng moea hangata e kopanngoa le li-interferometer tsa laser bakeng sa maikutlo.

Mekhahlelo ea optical ea rotary e bohlokoa bakeng sa litekanyo tse itšetlehileng ka sekhutlo, joalo ka goniometry kapa ho hlahloba bohareng ba likarolo tsa lense. Mekhahlelo ea optical e jereng moea e molemo haholo mona, kaha e bontša ho potoloha ha axial le radial ho batlang ho se na leeme, ho netefatsa hore axis ea optical e lula e otlolohile hantle nakong ea potoloho.

Mekhoa ea li-axis tse ngata, joalo ka li-stack tsa XY kapa XYZ, e sebelisoa khafetsa tlhahlobong ea wafer e iketsang. Litlhophisong tsena, khetho ea motheo oa granite ha e buisane. Granite e fana ka boima bo hlokahalang le inertia ea mocheso ho thibela motsamao oa axis e 'ngoe ho sotha ho nepahala ha e 'ngoe.

Tšebelisano-'moho ea Granite le Air Bearings

Ke khopolo-taba e fosahetseng e tloaelehileng hore mekhahlelo ea ho jara moea lemekhahlelo ea graniteHa e le hantle, litsamaiso tsa motsamao tse tsoetseng pele ka ho fetisisa ke motsoako oa tse peli. Mehato ea ho jara moea e phahameng e sebelisa granite feela e le bokaholimo bo tataisang. Lebaka le itšetlehile ka bokhoni ba granite ba ho hokelloa ho ba bataletseng ba sub-micron libakeng tse kholo - e leng ntho e thata ho e finyella ka aluminium kapa tšepe.

Kaha dibering tsa moya di "hlahisa" ho se tsitse ha bokaholimo ba tataiso, ho batalatsa ho feteletseng ha lehlasedi la granite le entsweng ke ZHHIMG ho dumella filimi ya moya ho dula ho tsitsitse nakong yohle ya leeto. Tshebedisano ena e fella ka ditsamaiso tsa motsamao tse fanang ka tse ntle ka ho fetisisa tsa lefatshe ka bobedi: motsamao o se nang kgohlano wa moya le botsitso bo tiileng ba granite.

Metroloji ea Liindasteri

Tlhokomelo le Lintho Tse Loketseng Tikoloho

Ho sebetsa litsamaiso tsena ho hloka taolo e tiileng ea tikoloho. Mekhahlelo ea granite ea mechine e matla haholo empa e hloka ho tlotsa le ho hloekisa litsela tsa ho bea le ho thibela ho bokellana ha lithōle. Litsamaiso tsa ho bea moea, le hoja li sa hloke tlhokomelo mabapi le ho tlotsa, li itšetlehile ka boleng ba phepelo ea pneumatic. Mongobo kapa oli efe kapa efe moleng oa moea e ka lebisa ho "thibelo ea li-orifice," e leng se ka behang filimi ea moea kotsing 'me sa baka ho kopana ho kotsi holim'a metsi.

Ho feta moo, taolo ya mocheso ke ya bohlokwa. Ditsamaiso tsena ka bobedi di rua molemo boima bo phahameng ba granite bo futhumatsang, e sebetsang e le setsi sa mocheso bakeng sa dienjene tse otlolohileng. Leha ho le jwalo, ditshebedisong tsa nanometer-scale, esita le phetoho ya Celsius ya degree e le nngwe e ka baka katoloso e kgolo. Dilaboratori tsa profeshenale hangata di sebedisa dikobo tse ikgethang tsa granite ho boloka boemo ba lehodimo bo tsitsitseng ho potoloha sethala.

Qetello: Ho Khetha Motheo o Nepahetseng bakeng sa Boiqapelo ba Hao

Hore na ts'ebeliso ea hau e hloka bokhoni bo phahameng ba ho jara mojaro ba sethala sa granite sa mechini kapa taolo ea lebelo e boreleli haholo ea sistimi ea ho jara moea, motheo o ntse o le karolo ea bohlokoa ka ho fetisisa. Ho ZHHIMG, ha re fane feela ka mekhahlelo; re fana ka bonnete ba jeoloji le mechini bo hlokahalang bakeng sa merero ea hau e meholo ka ho fetisisa. Ha liindasteri tsa semiconductor le optical li ntse li tsoela pele ho mamellana le ho feta, boitlamo ba rona ba bokhabane ba thepa le boenjiniere bo nepahetseng bo netefatsa hore sistimi ea hau ea taolo ea motsamao e ke ke ea hlola e ba ntlha e sitisang lipatlisisong kapa tlhahisong ea hau.


Nako ea poso: Pherekhong-22-2026