1. Ho nepahala ha tekanyo
Ho batalla: ho batalla ha bokaholimo ba setsi ho lokela ho fihlela maemo a holimo haholo, 'me phoso ea ho batalla ha ea lokela ho feta ± 0.5μm sebakeng sefe kapa sefe sa 100mm×100mm; Bakeng sa sefofane sohle sa setsi, phoso ea ho batalla e laoloa ka har'a ± 1μm. Sena se netefatsa hore likarolo tsa bohlokoa tsa lisebelisoa tsa semiconductor, joalo ka hlooho ea ho pepesehela ea lisebelisoa tsa lithography le tafole ea probe ea lisebelisoa tsa ho lemoha chip, li ka kenngoa ka mokhoa o tsitsitseng le ho sebelisoa sefofaneng se nepahetseng haholo, ho netefatsa ho nepahala ha tsela ea optical le khokahano ea potoloho ea lisebelisoa, le ho qoba ho kheloha ha likarolo ho bakoang ke sefofane se sa lekanang sa setsi, se amang tlhahiso ea chip ea semiconductor le ho nepahala ha ho lemoha.
Ho otloloha: Ho otloloha ha lehlakore ka leng la motheo ho bohlokwa. Ha o lebile bolelele, phoso ya ho otloloha e ke ke ya feta ±1μm ka 1m; Phoso ya ho otloloha e otlolohileng e laolwa ka hare ho ±1.5μm. Ha re nka mochini wa lithography o nepahetseng haholo e le mohlala, ha tafole e tsamaya hodima seporo sa tataiso sa motheo, ho otloloha ha lehlakore la motheo ho ama ka ho toba ho nepahala ha tsela ya tafole. Haeba ho otloloha ho sa fihlelle maemo a tloaelehileng, paterone ya lithography e tla sotheha mme e senyehe, e leng se fellang ka phokotso ya tlhahiso ya di-chip.
Ho tšoana: Phoso ea ho tšoana ha bokaholimo bo ka holimo le bo ka tlase ba motheo e lokela ho laoloa ka hare ho ±1μm. Ho tšoana hantle ho ka netefatsa botsitso ba setsi sa matla a khoheli ka kakaretso kamora ho kenngoa ha lisebelisoa, 'me matla a karolo ka' ngoe a lekana. Lisebelisoang tsa tlhahiso ea wafer ea semiconductor, haeba bokaholimo bo ka holimo le bo ka tlase ba motheo bo sa tšoane, wafer e tla sekamela nakong ea ts'ebetso, e ama ho tšoana ha ts'ebetso joalo ka ho fata le ho roala, 'me kahoo e ama botsitso ba ts'ebetso ea chip.
Ea bobeli, litšobotsi tsa thepa
Bothata: Bothata ba thepa ea motheo ea granite bo lokela ho fihla ho bothata ba Shore HS70 kapa ho feta. Bothata bo phahameng bo ka hanela ka katleho ho tsofala ho bakoang ke ho sisinyeha khafetsa le khohlano ea likarolo nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa, ho netefatsa hore setsi se ka boloka boholo bo nepahetseng bo phahameng kamora ts'ebeliso ea nako e telele. Lisebelisoang tsa ho paka tsa chip, letsoho la roboto le atisa ho tšoara le ho beha chip motheong, 'me boima bo phahameng ba setsi bo ka netefatsa hore bokaholimo ha bo bonolo ho hlahisa mengoapo le ho boloka ho nepahala ha motsamao oa letsoho la roboto.
Botenya: Botenya ba thepa bo lokela ho ba pakeng tsa 2.6-3.1 g/cm³. Botenya bo loketseng bo etsa hore motheo o be le botsitso ba boleng bo botle, e leng se ka netefatsang ho tiea ho lekaneng ho tšehetsa lisebelisoa, 'me se ke ke sa tlisa mathata ho kenngoeng le ho tsamaiseng lisebelisoa ka lebaka la boima bo feteletseng. Lisebelisoang tse kholo tsa tlhahlobo ea semiconductor, botenya ba motheo bo tsitsitseng bo thusa ho fokotsa phetiso ea ho thothomela nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa le ho ntlafatsa ho nepahala ha ho lemoha.
Ho tsitsa ha mocheso: coefficient ea katoloso e otlolohileng e ka tlase ho 5×10⁻⁶/℃. Lisebelisoa tsa semiconductor li na le kutloelo-bohloko haholo liphetohong tsa mocheso, 'me botsitso ba mocheso ba setsi bo amana ka ho toba le ho nepahala ha sesebelisoa. Nakong ea ts'ebetso ea lithography, ho feto-fetoha ha mocheso ho ka baka katoloso kapa ho honyela ha setsi, e leng se fellang ka ho kheloha boholo ba paterone ea ho pepesehela. Motheo oa granite o nang le coefficient e tlase ea katoloso e otlolohileng o ka laola phetoho ea boholo ka tekanyo e nyane haholo ha mocheso o sebetsang oa sesebelisoa o fetoha (ka kakaretso 20-30 ° C) ho netefatsa ho nepahala ha lithography.
Ea boraro, boleng ba bokaholimo
Ho se be le lehlohlojane: Ho se be le lehlohlojane hodima bokaholimo Boleng ba Ra bo hodima botlaaseng ha bo fete 0.05μm. Bokaholimo bo boreleli haholo bo ka fokotsa ho monngoa ha lerōle le litšila le ho fokotsa tšusumetso bohloeking ba tikoloho ea tlhahiso ea li-chip tsa semiconductor. Sebakeng sa ho sebetsa se se nang lerōle sa tlhahiso ea li-chip, likaroloana tse nyane li ka lebisa likoli tse kang potoloho e khutšoanyane ea chip, 'me bokaholimo bo boreleli ba botlaaseng bo thusa ho boloka tikoloho e hloekileng ea workshop le ho ntlafatsa chai ea li-chip.
Liphoso tse nyenyane haholo: Bokaholimo ba motheo ha boa lumelloa ho ba le mapetso a bonahalang, masoba a lehlabathe, masoba le liphoso tse ling. Boemong ba microscope, palo ea liphoso tse bophara bo fetang 1μm ka sekwere sa lisenthimithara ha ea lokela ho feta 3 ka microscopy ea elektronike. Liphoso tsena li tla ama matla a sebopeho le ho batalla ha bokaholimo ba motheo, ebe li ama botsitso le ho nepahala ha lisebelisoa.
Ea bone, botsitso le ho hanyetsa ho tšoha
Botsitso bo feto-fetohang: Tikolohong e etsisang ho thothomela e hlahisoang ke ts'ebetso ea lisebelisoa tsa semiconductor (boemo ba maqhubu a ho thothomela 10-1000Hz, boholo ba 0.01-0.1mm), ho falla ha ho thothomela ha lintlha tsa bohlokoa tsa ho kenya motheong ho lokela ho laoloa ka har'a ± 0.05μm. Ha re nka lisebelisoa tsa teko ea semiconductor e le mohlala, haeba ho thothomela ha sesebelisoa le ho thothomela ha tikoloho e potolohileng li fetisetsoa motheong nakong ea ts'ebetso, ho nepahala ha lets'oao la teko ho ka sitisoa. Botsitso bo botle ba matla bo ka netefatsa liphetho tse tšepahalang tsa liteko.
Ho hanyetsa ho sisinyeha ha lefatshe: Motheo o tlameha ho ba le tshebetso e ntle ya ho sisinyeha ha lefatshe, mme o ka fokotsa matla a ho sisinyeha ha o hlahelwa ke ho thothomela ha kantle ka tshohanyetso (jwalo ka ho thothomela ha maqhubu a ho sisinyeha ha lefatshe), mme o netefatse hore boemo bo amanang le dikarolo tsa bohlokwa tsa sesebediswa bo fetoha ka hare ho ± 0.1μm. Difekthering tsa semiconductor dibakeng tse kotsing ya ho sisinyeha ha lefatshe, metheo e hanelang ho sisinyeha ha lefatshe e ka sireletsa disebediswa tsa semiconductor tse turang ka katleho, e leng se fokotsang kotsi ya tshenyo ya disebediswa le tshitiso ya tlhahiso ka lebaka la ho thothomela.
5. Botsitso ba lik'hemik'hale
Ho hanyetsa mafome: Motheo wa granite o lokela ho mamella mafome a dikhemikhale tse tlwaelehileng tshebetsong ya tlhahiso ya semiconductor, jwalo ka hydrofluoric acid, aqua regia, jj. Kamora ho inela ka hara tharollo ya hydrofluoric acid ka karolo e kgolo ya 40% ka dihora tse 24, sekgahla sa tahlehelo ya boleng ba bokahodimo se ke ke sa feta 0.01%; Inela ka hara aqua regia (karolelano ya bophahamo ba hydrochloric acid ho nitric acid 3:1) ka dihora tse 12, mme ha ho na mesaletsa e totobetseng ya mafome hodima bokahodimo. Ts'ebetso ya tlhahiso ya semiconductor e kenyelletsa mefuta e fapaneng ya mekgwa ya ho tjhesa le ho hlwekisa ya dikhemikhale, mme kganyetso e ntle ya mafome ya motheo e ka netefatsa hore tshebediso ya nako e telele tikolohong ya dikhemikhale ha e senyehe, mme ho nepahala le botsitso ba sebopeho di a bolokwa.
Thibelo ea tšilafalo: Thepa ea motheo e na le monyelo o fokolang haholo oa litšila tse tloaelehileng tikolohong ea tlhahiso ea semiconductor, joalo ka likhase tsa tlhaho, li-ion tsa tšepe, jj. Ha li behiloe tikolohong e nang le 10 PPM ea likhase tsa tlhaho (mohlala, benzene, toluene) le 1ppm ea li-ion tsa tšepe (mohlala, li-ion tsa koporo, li-ion tsa tšepe) ka lihora tse 72, phetoho ea ts'ebetso e bakoang ke ho monngoa ha litšila holim'a bokaholimo ba motheo ha e na thuso. Sena se thibela litšila ho falla ho tloha bokaholimong ba motheo ho ea sebakeng sa tlhahiso ea li-chip le ho ama boleng ba chip.
Nako ea poso: Hlakubele-28-2025