Ts'ebetsong ea indasteri ea semiconductor e hatelang pele lits'ebetsong tsa tlhahiso ea nanoscale, ho seha wafer, e le sehokelo sa bohlokoa tlhahisong ea chip, ho na le litlhoko tse thata haholo bakeng sa botsitso ba lisebelisoa. Motheo oa granite, ka khanyetso ea oona e ikhethang ea ho thothomela le botsitso ba mocheso, o fetohile karolo ea mantlha ea lisebelisoa tsa ho seha wafer, e fanang ka tiisetso e tšepahalang ea ho fihlela ts'ebetso ea wafer e nepahetseng haholo le e sebetsang hantle.
Litšobotsi tse phahameng tsa ho damping le ho thibela ho thothomela: Ho sireletsa ho nepahala ha ho seha ha boemo ba nano
Ha lisebelisoa tsa ho seha wafer li sebetsa, ho potoloha ha spindle ka lebelo le phahameng, ho thothomela ha sesebelisoa sa ho seha ka maqhubu a phahameng, le ho thothomela ha tikoloho ho hlahisoang ke lisebelisoa tse potolohileng kaofela li tla ba le tšusumetso e kholo ho nepahaleng ha ho seha. Ts'ebetso ea ho qhibilihisa metheo ea tšepe ea setso e lekanyelitsoe, e leng se etsang hore ho be thata ho fokotsa ho thothomela ka potlako, e leng se lebisang ho thothomelo ea micron ea lisebelisoa tsa ho seha 'me se baka ka kotloloho liphoso tse kang mathoko a petsohileng le mapetso holim'a li-wafer. Litšobotsi tse phahameng tsa ho qhibilihisa metheo ea granite li rarollotse bothata bona ka botlalo.
Likristale tsa ka hare tsa granite li lohellane haufi-ufi, li etsa sebopeho sa tlhaho sa ho qhalana ha matla. Ha ho thothomela ho fetisetsoa botlaaseng, sebopeho sa eona sa kahare se ka fetola matla a ho thothomela ka potlako hore e be matla a mocheso, ho fihlella ho fokotseha ho sebetsang hantle ha ho thothomela. Lintlha tsa liteko li bontša hore tlas'a tikoloho e tšoanang ea ho thothomela, botlaase ba granite bo ka fokotsa boholo ba ho thothomela ka ho feta 90% ka metsotsoana e 0.5, ha botlaase ba tšepe bo hloka metsotsoana e 3 ho isa ho e 5. Ts'ebetso ena e ikhethang ea ho damping e netefatsa hore sesebelisoa sa ho seha se lula se tsitsitse nakong ea ts'ebetso ea ho seha ea nanoscale, se netefatsa moeli o boreleli oa ho seha oa wafer le ho fokotsa sekhahla sa ho qhaqha ka katleho. Mohlala, ts'ebetsong ea ho seha oa wafer ea 5nm, lisebelisoa tse nang le botlaase ba granite li ka laola boholo ba ho qhaqha ka har'a 10μm, e leng ho feta 40% ho feta ea lisebelisoa tse nang le botlaase ba tšepe.
Koefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso: E hanela tšusumetso ea ho feto-fetoha ha mocheso
Nakong ea ts'ebetso ea ho seha wafer, mocheso o hlahisoang ke khohlano ea lisebelisoa tsa ho seha, ho phatloha ha mocheso ho bakoang ke ts'ebetso ea nako e telele ea lisebelisoa, le liphetoho mochesong oa tikoloho ea workshop kaofela li ka baka phetoho ea mocheso ea likarolo tsa lisebelisoa. Palo ea katoloso ea mocheso ea lisebelisoa tsa tšepe e phahame haholo (hoo e ka bang 12×10⁻⁶/℃). Ha mocheso o fetoha ka 5℃, setsi sa tšepe sa bolelele ba mithara e le 'ngoe se ka fetoha phetoho ea 60μm, e leng se etsang hore boemo ba ho seha bo fetohe 'me bo ame ho nepahala ha ho seha ka botebo.
Palo e lekanang ea katoloso ea mocheso ea motheo oa granite ke (4-8) ×10⁻⁶/℃ feela, e leng ka tlase ho karolo ea boraro ea thepa ea tšepe. Tlas'a phetoho e tšoanang ea mocheso, phetoho ea eona ea boholo e ka 'na ea hlokomolohuoa. Lintlha tse lekantsoeng tsa khoebo e itseng ea tlhahiso ea semiconductor li bontša hore nakong ea ts'ebetso e tsoelang pele ea ho seha wafer e matla haholo ea lihora tse 8, ha mocheso o potolohileng o fetoha ka 10℃, boemo ba ho seha bo fapaneng le sesebelisoa se nang le motheo oa granite bo ka tlase ho 20μm, ha ba sesebelisoa se nang le motheo oa tšepe bo feta 60μm. Ts'ebetso ena e tsitsitseng ea mocheso e netefatsa hore boemo bo amanang pakeng tsa sesebelisoa sa ho seha le wafer bo lula bo nepahetse ka linako tsohle. Esita le tlas'a ts'ebetso e tsoelang pele ea nako e telele kapa liphetoho tse kholo mochesong oa tikoloho, ho nepahala ha ho seha ho ka bolokoa.
Ho tiea le ho hanyetsa ho tsofala: Netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea nako e telele ea lisebelisoa
Ntle le melemo ea ho hanyetsa ho thothomela le botsitso ba mocheso, ho tiea ho hoholo le ho hanyetsa ho tsofala ha motheo oa granite ho ntlafatsa ts'epo ea lisebelisoa tsa ho seha wafer. Granite e na le boima ba 6 ho isa ho 7 sekaleng sa Mohs le matla a khatello a fetang 120MPa. E ka mamella khatello e kholo le matla a tšusumetso nakong ea ts'ebetso ea ho seha 'me ha e na monyetla oa ho fetoha. Ho sa le joalo, sebopeho sa eona se teteaneng se e fa khanyetso e ntle ea ho tsofala. Esita le nakong ea ts'ebetso ea ho seha khafetsa, bokaholimo ba motheo ha bo na monyetla oa ho tsofala, ho netefatsa hore lisebelisoa li boloka ts'ebetso e nepahetseng ka nako e telele.
Litšebelisong tse sebetsang, likhoebo tse ngata tsa tlhahiso ea wafer li ntlafalitse chai ea lihlahisoa le katleho ea tlhahiso ka ho amohela lisebelisoa tsa ho seha tse nang le metheo ea granite. Lintlha tse tsoang femeng e etellang pele lefatšeng ka bophara li bontša hore kamora ho hlahisa lisebelisoa tsa motheo oa granite, chai ea ho seha wafer e eketsehile ho tloha ho 88% ho ea ho feta 95%, potoloho ea tlhokomelo ea lisebelisoa e atolositsoe ka makhetlo a mararo, e leng se fokotsang litšenyehelo tsa tlhahiso le ho ntlafatsa tlholisano ea 'maraka ka katleho.
Qetellong, motheo oa granite, ka ho hanyetsa ho thothomela ha oona ho hoholo, botsitso ba mocheso, ho tiea ho hoholo le ho hanyetsa ho tsofala, o fana ka litiisetso tse felletseng tsa ts'ebetso bakeng sa lisebelisoa tsa ho seha wafer. Ha theknoloji ea semiconductor e ntse e tsoela pele ho ea ho nepahalo e phahameng, metheo ea granite e tla bapala karolo ea bohlokoa haholo lefapheng la tlhahiso ea wafer, e khothaletsa nts'etsopele e tsoelang pele ea indasteri ea semiconductor.
Nako ea poso: Mots'eanong-20-2025