.
Lefapheng la tlhahiso ea semiconductor, e phehellang ho nepahala ho feletseng, coefficient ea katoloso ea mocheso ke e 'ngoe ea liparamente tsa mantlha tse amang boleng ba sehlahisoa le botsitso ba tlhahiso. Ho pholletsa le ts'ebetso eohle ho tloha ho photolithography, ho fata ho isa ho paketeng, liphapang tsa coefficients ea katoloso ea mocheso ea thepa li ka sitisa ho nepahala ha tlhahiso ka litsela tse fapaneng. Leha ho le joalo, motheo oa granite, ka coefficient ea oona ea katoloso ea mocheso e tlase haholo, e fetohile senotlolo sa ho rarolla bothata bona.
Mokhoa oa ho sebelisa lithography: Ho fetoha ha mocheso ho baka ho kheloha ha paterone
Photolithography ke mohato oa bohlokoa tlhahisong ea semiconductor. Ka mochini oa photolithography, mekhoa ea potoloho ea maske e fetisetsoa holim'a wafer e koahetsoeng ka photoresist. Nakong ea ts'ebetso ena, tsamaiso ea mocheso ka har'a mochini oa photolithography le botsitso ba tafole ea mosebetsi ke tsa bohlokoa haholo. Nka mohlala oa thepa ea tšepe ea setso. Coefficient ea bona ea katoloso ea mocheso ke hoo e ka bang 12×10⁻⁶/℃. Nakong ea ts'ebetso ea mochini oa photolithography, mocheso o hlahisoang ke mohloli oa leseli la laser, lilense tsa optical le likarolo tsa mechini li tla etsa hore mocheso oa lisebelisoa o nyolohe ka 5-10 ℃. Haeba tafole ea mosebetsi ea mochini oa lithography e sebelisa setsi sa tšepe, setsi sa bolelele ba mithara e le 'ngoe se ka baka phetoho ea katoloso ea 60-120 μm, e leng se tla lebisa phetohong ea boemo bo amanang pakeng tsa maske le wafer.
Mekhoa e tsoetseng pele ea tlhahiso (joalo ka 3nm le 2nm), sebaka sa transistor ke li-nanometer tse 'maloa feela. Phetoho e nyane joalo ea mocheso e lekane ho etsa hore paterone ea photolithography e se ke ea tsamaea hantle, e leng se lebisang ho likhokahano tse sa tloaelehang tsa transistor, lipotoloho tse khutšoane kapa lipotoloho tse bulehileng, le mathata a mang, e leng se fellang ka ho hloleha ha mesebetsi ea chip. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea motheo oa granite e tlase ho 0.01μm/°C (ke hore, (1-2) ×10⁻⁶/℃), 'me phetolo tlas'a phetoho e tšoanang ea mocheso ke 1/10-1/5 feela ea ea tšepe. E ka fana ka sethala se tsitsitseng se jarang mojaro bakeng sa mochini oa photolithography, ho netefatsa phetiso e nepahetseng ea paterone ea photolithography le ho ntlafatsa haholo tlhahiso ea tlhahiso ea chip.
Ho fata le ho beha: Ho ama ho nepahala ha sebopeho ka boholo
Ho tjhesa le ho beha ke lits'ebetso tsa bohlokoa bakeng sa ho haha meaho ea potoloho ea mahlakore a mararo holim'a wafer. Nakong ea ts'ebetso ea ho tjhesa, khase e arabelang e feta karabelong ea lik'hemik'hale le thepa ea bokaholimo ba wafer. Ho sa le joalo, likarolo tse kang phepelo ea motlakase ea RF le taolo ea phallo ea khase ka har'a sesebelisoa li hlahisa mocheso, li etsa hore mocheso oa wafer le likarolo tsa lisebelisoa li nyolohe. Haeba coefficient ea katoloso ea mocheso ea mojari oa wafer kapa setsi sa lisebelisoa e sa lumellane le ea wafer (coefficient ea katoloso ea mocheso ea thepa ea silicon e ka bang 2.6×10⁻⁶/℃), khatello ea mocheso e tla hlahisoa ha mocheso o fetoha, e leng se ka bakang mapetso a manyane kapa ho sotha holim'a wafer.
Mofuta ona oa phetoho o tla ama botebo ba ho fata le ho otloloha ha lebota le ka thoko, e leng se etsang hore litekanyo tsa li-groove tse fatileng, ka masoba le meaho e meng li fapane le litlhoko tsa moralo. Ka mokhoa o ts'oanang, ts'ebetsong ea ho beha filimi e tšesaane, phapang ea katoloso ea mocheso e ka baka khatello ea ka hare filiming e tšesaane e kentsoeng, e lebisang mathateng a kang ho petsoha le ho petsoha ha filimi, e leng se amang ts'ebetso ea motlakase le ts'epo ea nako e telele ea chip. Tšebeliso ea metheo ea granite e nang le coefficient ea katoloso ea mocheso e ts'oanang le ea thepa ea silicon e ka fokotsa khatello ea mocheso ka katleho le ho netefatsa botsitso le ho nepahala ha lits'ebetso tsa ho fata le ho beha.
Mokhahlelo oa ho paka: Ho se lumellane ha mocheso ho baka mathata a ts'epahalo
Mokhahlelong oa ho paka oa semiconductor, ho lumellana ha li-coefficient tsa katoloso ea mocheso pakeng tsa chip le thepa ea ho paka (joalo ka epoxy resin, ceramics, jj.) ho bohlokoa haholo. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea silicon, thepa ea mantlha ea li-chips, e tlase haholo, ha ea boholo ba thepa ea ho paka e le holimo haholo. Ha mocheso oa chip o fetoha nakong ea ts'ebeliso, khatello ea mocheso e tla hlaha pakeng tsa chip le thepa ea ho paka ka lebaka la ho se lumellane ha li-coefficient tsa katoloso ea mocheso.
Khatello ena ea mocheso, tlas'a tšusumetso ea lipotoloho tse pheta-phetoang tsa mocheso (joalo ka ho futhumatsa le ho pholisa nakong ea ts'ebetso ea chip), e ka lebisa ho petsoheng ha manonyeletso a solder pakeng tsa chip le substrate ea sephutheloana, kapa ea etsa hore lithapo tsa bond tse holim'a chip li oe, qetellong li fella ka ho hloleha ha khokahano ea motlakase ea chip. Ka ho khetha thepa ea substrate ea sephutheloana e nang le coefficient ea katoloso ea mocheso e haufi le ea thepa ea silicon le ho sebelisa li-platform tsa teko ea granite tse nang le botsitso bo botle ba mocheso bakeng sa ho lemoha ho nepahala nakong ea ts'ebetso ea sephutheloana, bothata ba ho se lumellane ha mocheso bo ka fokotsoa ka katleho, botšepehi ba sephutheloana bo ka ntlafatsoa, 'me bophelo ba ts'ebeletso ba chip bo ka lelefatsoa.
Taolo ea tikoloho ea tlhahiso: Botsitso bo hokahaneng ba lisebelisoa le mehaho ea fektheri
Ntle le ho ama ka kotloloho tshebetso ya tlhahiso, coefficient ya katoloso ya mocheso e boetse e amana le taolo e akaretsang ya tikoloho ya difeme tsa semiconductor. Dithupelong tse kgolo tsa tlhahiso ya semiconductor, mabaka a kang ho qalwa le ho emiswa ha ditsamaiso tsa moya o pholileng le ho qhala ha mocheso wa dihlopha tsa disebediswa a ka baka ho fetofetoha ha mocheso wa tikoloho. Haeba coefficient ya katoloso ya mocheso wa mokatong wa fektheri, metheo ya disebediswa le meralo e meng ya motheo e phahame haholo, diphetoho tsa mocheso wa nako e telele di tla etsa hore mokatong o petsohe mme motheo wa disebediswa o fetohe, ka hona di ama ho nepahala ha disebediswa tse nepahetseng tse kang mechine ya photolithography le metjhini ya ho betla.
Ka ho sebelisa metheo ea granite e le litšehetso tsa lisebelisoa le ho li kopanya le thepa ea kaho ea fektheri e nang le li-coefficient tse tlase tsa katoloso ea mocheso, tikoloho e tsitsitseng ea tlhahiso e ka thehoa, e fokotsang khafetsa ea ho lekanya lisebelisoa le litšenyehelo tsa tlhokomelo tse bakoang ke phetoho ea mocheso oa tikoloho, le ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea nako e telele ea mohala oa tlhahiso oa semiconductor.
Koefficient ea katoloso ea mocheso e pholletsa le potoloho eohle ea bophelo ba tlhahiso ea li-semiconductor, ho tloha khethong ea thepa, taolo ea ts'ebetso ho isa ho sephutheloana le liteko. Tšusumetso ea katoloso ea mocheso e hloka ho nahanoa ka hloko khokahanong e 'ngoe le e 'ngoe. Metheo ea granite, ka koefficient ea eona e tlase haholo ea katoloso ea mocheso le thepa e meng e ntle, e fana ka motheo o tsitsitseng oa 'mele bakeng sa tlhahiso ea li-semiconductor' me e ba tiisetso ea bohlokoa bakeng sa ho khothaletsa nts'etsopele ea lits'ebetso tsa tlhahiso ea li-chip ho ea ho nepahalo e phahameng.
Nako ea poso: Mots'eanong-20-2025