Na setsi sa mochini oa granite se tla hola ka lebaka la mocheso nakong ea ho skena oa wafer?

Khokahanong ea bohlokoa ea tlhahiso ea li-chip - ho skena li-wafer, ho nepahala ha lisebelisoa ho etsa qeto ea boleng ba chip. Jwalo ka karolo ea bohlokoa ea lisebelisoa, bothata ba katoloso ea mocheso oa setsi sa mochini oa granite bo hohetse tlhokomelo e kholo.

Hangata tekanyo ea katoloso ea mocheso ea granite e pakeng tsa 4 le 8×10⁻⁶/℃, e leng tlase haholo ho feta ea litšepe le 'mabole. Sena se bolela hore ha mocheso o fetoha, boholo ba oona bo fetoha hanyane. Leha ho le joalo, ho lokela ho hlokomeloa hore katoloso e tlase ea mocheso ha e bolele hore ha ho na katoloso ea mocheso. Tlas'a liphetoho tse feteletseng tsa mocheso, esita le katoloso e nyane haholo e ka ama ho nepahala ha nanoscale ea ho hlahloba wafer.

Nakong ea ts'ebetso ea ho hlahloba wafer, ho na le mabaka a mangata a ho etsahala ha katoloso ea mocheso. Ho feto-fetoha ha mocheso setsing sa mosebetsi, mocheso o hlahisoang ke ts'ebetso ea likarolo tsa lisebelisoa, le mocheso o phahameng oa hang-hang o tlisoang ke ts'ebetso ea laser kaofela li tla etsa hore motheo oa granite o "atolohe 'me o fokotsehe ka lebaka la liphetoho tsa mocheso". Hang ha motheo o ntse o atolosoa ka mocheso, ho otloloha ha seporo sa tataiso le ho ba batalla ha sethala ho ka kheloha, ho fellang ka tsela e sa nepahalang ea motsamao oa tafole ea wafer. Likarolo tse tšehetsang tsa optical le tsona li tla fetoha, li etse hore lehlaseli la ho hlahloba le "khelohe". Ho sebetsa ka ho tsoelang pele nako e telele le hona ho tla bokella liphoso, ho etsa hore ho nepahala ho mpefale le ho feta.

Empa o seke wa tshwenyeha. Batho ba se ba ntse ba na le ditharollo. Mabapi le thepa, methapo ya granite e nang le coefficient e tlase ya katoloso ya mocheso e tla kgethwa mme e tla tshwarwa ka kalafo ya botsofadi. Mabapi le taolo ya mocheso, mocheso wa workshop o laolwa ka nepo ho 23±0.5℃ kapa esita le ka tlase, mme sesebediswa se sebetsang sa ho qhala mocheso le sona se tla etsetswa motheo. Mabapi le moralo wa sebopeho, meaho e lekanang le ditšehetso tse tenyetsehang di a sebediswa, mme tlhokomelo ya nako ya sebele e etswa ka di-sensor tsa mocheso. Diphoso tse bakwang ke phetoho ya mocheso di lokiswa ka matla ke di-algorithms.

Lisebelisoa tsa maemo a holimo tse kang mechine ea lithography ea ASML, ka mekhoa ena, li boloka phello ea katoloso ea mocheso oa motheo oa granite ka har'a sebaka se senyenyane haholo, e leng se nolofalletsang ho nepahala ha ho skena ha wafer ho fihlela boemong ba nanometer. Ka hona, hafeela e laoloa hantle, motheo oa granite e ntse e le khetho e tšepahalang bakeng sa lisebelisoa tsa ho skena tsa wafer.