Ha indasteri ea lefats'e ea li-semiconductor le ea mahlo e ntse e sutumelletsa boholo ba likarolo tse nyane le litlhoko tse phahameng tsa ho nepahala, lisebelisoa tsa motheo tse nolofalletsang ho lekanya le ho hokahanya li se li le bohlokoa haholo. Tlhahisong ea li-semiconductor, moo litekanyo tsa transistor joale li fihlang ho li-nanometer tsa nomoro e le 'ngoe, le lits'ebetsong tsa mahlo moo mamello ea ho hokahanya e atamelang likaroloana tsa bolelele ba leqhubu, botsitso le ho nepahala ha lisebelisoa tsa ho lekanya li khetholla ka ho toba chai ea sehlahisoa le ts'ebetso. Sengoloa sena se hlahloba hore na ke hobane'ng ha lisebelisoa tsa ho lekanya granite—ho kenyeletsoa lipoleiti tsa bokaholimo ba granite, metheo ea granite e nepahetseng, le likarolo tsa metrology—li fetohile tekanyetso ea indasteri bakeng sa lits'ebetso tse nepahetseng haholo, li feta mekhoa e meng ea tšepe ea setso.
Tlhoko ea ho nepahala ha sub-micron e bakile phetoho ea paradigm ho metrology. Lisebelisoa tsa setso tsa ho lekanya tšepe e entsoeng ka tšepe le tšepe, leha li lekane bakeng sa tlhahiso ea setso, li thatafalloa ho boloka botsitso tlas'a maemo a thata a hlokahalang bakeng sa tlhahlobo ea semiconductor wafer, ho hokahanya lithography le kopano ea optical. Granite, ka motsoako oa eona o ikhethang oa thepa ea 'mele e entsoeng ka lilemo tse limilione tlas'a lekoko la Lefatše, e fana ka tharollo e sebetsanang le litlhoko tse thata ka ho fetisisa tsa ho nepahala tsa indasteri ea sejoale-joale.
Matlotlo a 'Mele a Bohlokoa: Hobaneng Granite e Ipabola Litšebelisong tse Nepahetseng
Ho Tsitsisa Thempereichara: Motheo oa Tekanyo e Tsitsitseng
E 'ngoe ea melemo ea bohlokoa ka ho fetisisa ea lisebelisoa tsa ho lekanya granite ke botsitso ba tsona bo ikhethang ba mocheso. Ka karolelano ea katoloso ea mocheso ea 6.5±0.5×10⁻⁶/℃, granite e bontša hoo e ka bang karolo ea boraro ea katoloso ea mocheso ea tšepe e entsoeng ka tšepe le karolo ea leshome ea aluminium. Katoloso ena ea mocheso o tlase e bolela hore litsamaiso tsa tekanyo tse thehiloeng granite li boloka ho nepahala ha tsona ha li pepesehetse ho feto-fetoha ha mocheso ho tloaelehileng libakeng tsa tlhahiso.
Litšebelisong tsa metrology ea semiconductor, moo phetoho ea mocheso ea 1℃ feela e ka bakang hore wafer ea silicon ea 300mm e atolohe ka hoo e ka bang 7.5μm, botsitso ba mocheso ba granite bo ba bohlokoa haholo. Poleiti ea bokaholimo ba granite e fetotsoeng ke phetoho e tšoanang ea mocheso e tla atoloha ka 1.95μm feela ho pholletsa le bophara bo tšoanang, e leng se fanang ka sebaka se tsitsitseng sa litšupiso bakeng sa litekanyo tsa bohlokoa. Thepa ena e bohlokoa haholo mesebetsing ea tlhahiso ea lihora tse 24/7 moo lisebelisoa li hlahisang mocheso o tsoelang pele o ka amang ho nepahala ha tekanyo.
Ho thatafala ho ikhethang le ho hanyetsa ho apara
Tekanyo ea boima ba Mohs ea Granite ea 6-7 e e beha har'a thepa e thata ka ho fetisisa ea indasteri e sebelisoang bakeng sa ho lekanya ka nepo. Bothata bona bo phahameng bo fetolela ka ho toba ho hanyetsa ho tsofala ho ikhethang, ho netefatsa hore lisebelisoa tsa ho lekanya granite li boloka ho nepahala ha tsona ka nako e telele ea tšebeliso. Ho fapana le libaka tsa tšepe tse ka bang le mengoapo, matheba le mekhoa ea ho tsofala ka ho kopana khafetsa, sebopeho sa kristale sa granite se hanela ho senyeha ha bokaholimo.
Ho hanyetsa ho tsofala hona ho lekanngoa ke data ea indasteri e bontšang hore libaka tse nepahetseng tsa granite li na le ts'enyeho e ka tlase ho 0.3μm ka lilemo tse leshome tsa ts'ebeliso e tloaelehileng, ha li bapisoa le hoo e ka bang 0.8μm ka selemo bakeng sa tšepe e entsoeng ka tšepe. Bakeng sa bahlahisi ba semiconductor le ba optical, sena se bolela ho fokotseha ha makhetlo a ho lekanngoa hape, litšenyehelo tse tlase tsa tlhokomelo, le ho nepahala ha tekanyo ho tsitsitseng nakong eohle ea ts'ebetso ea sesebelisoa.
Bokhoni bo Phahameng ba ho Fokotsa ho Thothometsa
Ho thothomela ke sera sa ho lekanya ka nepo. Litsing tsa tlhahiso ea li-semiconductor, moo li-linear motors, litsamaiso tsa ho sebetsana le liroboto, le lisebelisoa tsa HVAC li hlahisang ho thothomela ha mechine ho sa khaotseng, bokhoni ba ho arola le ho nyenyefatsa litšitiso tsena bo bohlokoa. Sebopeho sa tlhaho sa kristale sa Granite se fana ka thepa ea tlhaho ea ho thothomela ho thothomela e sebetsang ka makhetlo a 3-5 ho feta tšepe e entsoeng ka tšepe.
Boima bo phahameng le litšobotsi tsa ho dampetsa ka hare tsa granite li etsa sefe sa tlhaho sa mechine se tsamaeang ka tlase, se monyang ho thothomela ha maqhubu a phahameng pele li ka fihla ho li-sensor tse nang le tekanyo e bonolo kapa likarolo tsa optical. Ho itšehla thajana hona ho sa sebetseng ho bohlokoa haholo bakeng sa mechini ea ho lekanya e kopanetsoeng (CMMs), li-interferometer tsa laser, le litsamaiso tsa tlhahlobo ea wafer, moo esita le ho thothomela ha nanometer-scale ho ka senyang data ea tekanyo.
Matlotlo a se nang makenete le a sa sebetseng ka lik'hemik'hale
Sebopeho se seng sa tšepe sa Granite se felisa kotsi ea tšitiso ea makenete, e leng monyetla oa bohlokoa lits'ebetsong tsa ho lekanya tsa semiconductor le tsa optical. Masimo a makenete a ka sitisa lisebelisoa tsa ho lekanya tsa elektroniki tse bonolo le ho baka liphoso tsa ho hokahanya litsamaisong tsa optical. Ka lisebelisoa tsa ho lekanya tsa granite, ha ho na kotsi ea hore makenete e ama ho nepahala ha tekanyo kapa ho hohela likaroloana tsa ferromagnetic tse ka senyang li-wafer tse bonolo kapa likarolo tsa optical.
Ho phaella moo, granite ha e na lik'hemik'hale, e hanela li-acid, alkali le lik'hemik'hale tsa ho hloekisa tse sebelisoang hangata libakeng tsa kamore e hloekileng. Khanyetso ena ea lik'hemik'hale e netefatsa hore libaka tsa granite li boloka qetello ea tsona e nepahetseng le botsitso ba sebopeho esita le ha li pepesehetse lik'hemik'hale tse matla tse sebelisoang ts'ebetsong ea semiconductor le tlhoekisong ea likarolo tsa optical.
Ditshebediso tsa Indasteri ya Semiconductor: Ho Kgontsha Phetohelo ya Nano
Tlhahlobo ea Wafer le Mekhoa ea Metrology
Tlhahisong ea li-semiconductor, tlhahlobo ea wafer ke ts'ebetso ea bohlokoa e amang chai le boleng ba sehlahisoa ka kotloloho. Lisebelisoa tsa ho lekanya granite li sebetsa e le motheo oa sebopeho sa litsamaiso tsa tlhahlobo ea othomathiki ea optical (AOI), lisebelisoa tsa ho lekanya botenya ba wafer, le lisebelisoa tsa metrology ea boholo bo bohlokoa.
Mabota a bataletseng haholo a metheo ea granite e nepahetseng a fana ka sebaka se tsitsitseng sa litšupiso se hlokahalang bakeng sa litekanyo tse nepahetseng tsa jeometri ea wafer. Lipoleiti tsa bokaholimo ba granite tsa sehlopha sa 000, tse nang le mamello e bataletseng ea ≤1.5μm/m, li netefatsa hore li-wafer tsa 300mm esita le tsa 450mm li tšehetsoa ka ho lekana nakong ea tlhahlobo. Tšehetso ena e tšoanang e thibela ho inama ha wafer kapa ho sotha ho ka lebisang liphosong tsa tekanyo le ho lemoha liphoso tsa bohata.
Mehato ea Mechini ea Lithography le Mekhoa ea ho Lokisa
Semiconductor lithography e emela ts'ebeliso e boima ka ho fetisisa bakeng sa likarolo tsa granite tse nepahetseng. Litsamaisong tsa lithography tsa ultraviolet e feteletseng (EUV) le deep ultraviolet (DUV), mekhahlelo ea wafer le reticle e tlameha ho fihlella ho nepahala ha ho beha sebaka sa sub-nanometer le ho boloka ho lekana masimong a pepesehileng.
Motsoako oa granite oa botsitso ba mocheso, ho thothomela ha vibration, le ho tšoarella ha litekanyo ho etsa hore e be thepa e loketseng bakeng sa likarolo tsena tsa bohlokoa tsa mohato. Katoloso e tlase ea mocheso e netefatsa hore geometry ea sethala e lula e tsitsitse ha li-motor tse otlolohileng li hlahisa mocheso nakong ea ho beha lebelo le phahameng, li thibela liphoso tsa overlay tse ka senyang lihlopha tsohle tsa li-chip. Lintlha tsa indasteri li bontša hore mekhahlelo ea lithography e thehiloeng granite e fihlella ho pheta-pheta ha sebaka ka tlase ho 5nm, e leng se nolofalletsang ho etsa lipaterone tsa 2nm le li-node tse nyane tsa transistor.
Liteishene tsa Probe le Teko ea Motlakase
Ho hlahloba wafer ka semiconductor ho hloka ho hokahanya ka nepo pakeng tsa likarete tsa probe le li-wafer test pad. Lisebelisoa tsa ho lekanya granite li fana ka motheo o tiileng le o tsitsitseng bakeng sa liteishene tsa probe, ho netefatsa hore ho hokahanya ho bonolo pakeng tsa li-probe le li-pad ho bolokoa nakong eohle ea liteko. Thepa e seng ea makenete ea granite e felisa tšitiso efe kapa efe ea makenete le matšoao a liteko tsa motlakase, e netefatsa litekanyo tse nepahetseng tsa hona joale le motlakase.
Mechini ea ho Lekanya e Kopanetsoeng (CMMs)
Mechini e lekanyang e hokahaneng e bohlokoa bakeng sa netefatso ea litekanyo tsa likarolo tsa sephutheloana sa semiconductor, lisebelisoa tsa MEMS le likarolo tsa lisebelisoa. Granite e sebetsa e le sebopeho sa motheo le bokaholimo ba litšupiso bakeng sa mechini ena, e fanang ka botsitso ba jeometri bo hlokahalang bakeng sa ho nepahala ha tekanyo ea mahlakore a mararo. Motsoako oa motheo oa granite, borokho ba granite, le litsela tsa ho jara moea oa granite o theha sistimi ea tekanyo e nang le botsitso bo ikhethang ba mocheso le ba mechini, e fihlelang ho se tsitse ha tekanyo mofuteng oa sub-micron.
Likopo tsa Indasteri ea Optical: Ho Tšehetsa Tsamaiso ea Leseli le Nepahetseng
Metheo le Li-platform tsa Tafole tsa Optical
Indasteri ea mahlo e itšetlehile ka lisebelisoa tsa ho lekanya granite ho fana ka liforomo tse tsitsitseng bakeng sa litsamaiso tsa laser, li-interferometer, le libaka tsa mosebetsi tsa kopano ea mahlo. Le hoja litafole tsa kajeno tsa mahlo li atisa ho sebelisa litlhōrō tsa tšepe ea mahe a linotši, granite e ntse e le thepa e ratoang bakeng sa meaho ea motheo le bakeng sa lits'ebetso tse hlokang botsitso bo phahameng ba mocheso le ba mechini.
Li-platform tsa optical tsa granite li fana ka ho ba bataletse le ho tiea ho ikhethang, ho netefatsa hore likarolo tsa optical li boloka ho lekana ha tsona hantle ha nako e ntse e ea. Sena se bohlokoa haholo bakeng sa litekanyo tsa interferometric, moo phapang ea bolelele ba tsela ea li-nanometer tse 'maloa feela e ka amang liphetho tsa tekanyo haholo. Litšobotsi tsa ho thiba ho thothomela ha granite li boetse li thusa ho arola litsamaiso tsa optical ho tsoa ho thothomelo ea meaho le litšitiso tse hlahisoang ke lisebelisoa.
Metheo ea Laser Interferometer le Meaho ea Litšupiso
Li-interferometer tsa laser li emela ts'ebeliso e boima ka ho fetisisa ea tekanyo ea optical, e hlokang botsitso bo ikhethang ho boloka ho ts'oaroa hantle ha liipone, li-splitter tsa mahlaseli le likarolo tsa optical. Metheo ea granite e fana ka motheo o tiileng, o tsitsitseng mochesong o hlokahalang bakeng sa lisebelisoa tsena tse nang le kutlo e phahameng.
Litsamaisong tsa metrology ea semiconductor wafer flatness, joalo ka XCALIBIR interferometer e ntlafalitsoeng ke National Institute of Standards and Technology (NIST), litafole tsa granite li sebetsa e le sethala se tsitsitseng se tšehetsang sistimi eohle ea optical. Li sebetsa taolong ea mocheso oa (20 ± 0.02)°C, litsamaiso tsena li fihlela ho se nepisisehe ha tekanyo ea hoo e ka bang 1nm RMS—maemo a ho nepahala ao ho neng ho ke ke ha khoneha ho a fihlela ka meaho e thehiloeng tšepeng.
Kopano le Tiisetso ea Optical e Nepahetseng
Ho kopanngoa ha litsamaiso tse rarahaneng tsa mahlo, ho kenyeletsoa le lilense tsa khamera, li-optic tsa telescope, le litsamaiso tsa ho tsamaisa mahlaseli a laser, ho hloka ho hokahanya ka nepo likarolo tse ngata tsa mahlo. Lisebelisoa tsa ho lekanya granite—ho kenyeletsoa lipoleiti tsa bokaholimo, li-straightedges le lipoleiti tsa sekhutlo—li fana ka litšupiso tsa jeometri tse hlokahalang ho netefatsa ho hokahanya hantle nakong ea kopano.
Litsebi tsa mahlo li sebelisa lipoleiti tsa bokaholimo ba granite e le lifofane tsa litšupiso bakeng sa ho hokahanya likarolo tsa lense, ho netefatsa hore karolo e 'ngoe le e 'ngoe e behiloe hantle ha e bapisoa le motsoako oa optical. Botsitso bo botle ba granite bo tiisa hore lisebelisoa tsena tsa litšupiso li boloka ho nepahala ha tsona ka mashome a lilemo, li fana ka litekanyetso tse tsitsitseng tsa ho hokahanya ho pholletsa le potoloho ea bophelo ba tlhahiso ea sistimi ea optical.
Melemo ea ho Bapisa: Granite khahlanong le Lisebelisoa tsa Tšepe tsa Setso
Bophelo bo Atolositsoeng ba Tšebeletso
Lisebelisoa tsa ho lekanya granite li fana ka bophelo ba tšebeletso bo bolelele haholo ha li bapisoa le mekhoa e meng ea tšepe. Ka nako e lebelletsoeng ea bophelo ba lilemo tse fetang 30, lisebelisoa tsa granite li ka sebeletsa meloko e mengata ea lisebelisoa tsa tlhahiso, li fana ka puseletso e ikhethang matseteng. Ka lehlakoreng le leng, lipoleiti tsa tšepe tse entsoeng ka tšepe hangata li hloka ho lokisoa bocha lilemo tse ling le tse ling tse 5-10 'me li na le bophelo bo botle ba lilemo tse 10-15 pele ho hlokahala hore li nkeloe sebaka.
Bophelo bona bo bolelele ba tšebeletso bo fetolela ho phokotso e kholo ea litšenyehelo nakong e telele. Phuputso ea 2023 ea Mokhatlo oa Amerika oa Baenjiniere ba Mechanical (ASME) e fumane hore likarolo tsa meaho ea granite li fana ka litšenyehelo tse tlase tsa beng ba thepa ka 27% ha li bapisoa le mekhoa e meng ea tšepe kapa tšepe e entsoeng ka tšepe nakong ea lilemo tse 10. Bakeng sa masela a semiconductor le libaka tsa tlhahiso ea optical, sena se bolela ho fokotseha ha litšenyehelo tsa motse-moholo le litšitiso tse fokolang tsa tlhahiso ka lebaka la ho nkeloa sebaka ha lisebelisoa.
Litlhoko tse Tlase tsa Tlhokomelo
Lisebelisoa tsa ho lekanya granite li hloka tlhokomelo e nyane haholo ho feta mekhoa e meng ea tšepe. Ho fapana le libaka tsa tšepe tse entsoeng ka tšepe tse hlokang ho tlotsoa ka oli khafetsa ho thibela ho rusa le ho hohla khafetsa ho tsosolosa ho ba bataletse, libaka tsa granite ha li hloke tlhokomelo tlas'a maemo a tloaelehileng a ts'ebetso.
Tsela eo granite e se nang masoba ka yona, e sa etseng letho ka dikhemikhale e bolela hore ha e ruse, ha e hloke masela a sireletsang, mme e hanela tšilafalo e bakwang ke ditshila le dikhemikhale tsa workshop. Sekgahla sa ho bola ha ho nepahala ha selemo le selemo sa hoo e ka bang 1% se bolela hore disebediswa tsa granite di boloka tekanyo ya tsona nako e telele ho feta disebediswa tsa tshepe, tse ka bang le tshenyeho ya ho nepahala ha selemo le selemo ya 5-10% ka lebaka la ho tsofala le mabaka a tikoloho.
Botsitso ba Tekanyo ea Nako e Telele
Mohlomong molemo o moholo ka ho fetisisa oa lisebelisoa tsa ho lekanya granite ke botsitso ba tsona bo ikhethang ba nako e telele. Kaha li fetile lilemo tse limilione tsa phomolo ea khatello ea tlhaho tlas'a lefatše, granite ha e utloe bohloko ba khatello ea ka hare bo etsang hore meaho ea tšepe e kobehe le ho senyeha ha nako e ntse e ea.
Ho tsitsa hona ho bolela hore hang ha sesebelisoa sa ho lekanya granite se siloa ka nepo ho fihlela litekanyong tsa sona tsa ho qetela, se tla boloka litekanyo tseo ka mashome a lilemo. Lintlha tsa indasteri li bontša hore lipoleiti tsa granite tse holim'a metsi li boloka 95% ea ho nepahala ha tsona ha pele kamora lilemo tse 10 tsa tšebeliso e tloaelehileng, ha li bapisoa le 70-80% bakeng sa lipoleiti tsa tšepe tse entsoeng ka tšepe ea boleng bo holimo. Bakeng sa bahlahisi ba semiconductor le ba optical, sena se fetolela ho nepahala ho tsitsitseng ha tekanyo selemo le selemo, ho fokotsa kotsi ea liphoso tsa tlhahiso tse bakoang ke ho lekola lisebelisoa tse hoholehang.
Tshebetso ea Lefatše la 'Nete: Lithuto tsa Nyeoe le Lintlha
Katleho ea Tlhahlobo ea Wafer ea Semiconductor
Moetsi ea ka sehloohong oa li-semiconductor oa Europe o kentse tšebetsong liforomo tsa tlhahlobo ea wafer tse thehiloeng ho granite 'me a tlaleha lintlafatso tse kholo ts'epahalong ea litekanyo. Phetoho ho tloha holim'a litšupiso tsa tšepe e entsoeng ka tšepe ho ea ho granite e bakile:
- Phokotso ea 40% ea phapang ea litekanyo ho pholletsa le liphetoho tsa mocheso
- Phokotso ea 60% khafetsa ea ho leka-lekanya hape (ho tloha likhoeling tse 6 ho isa ho lilemo tse 2)
- Ntlafatso ea 2.3% tlhahisong eohle ea tlhahiso ka lebaka la tlhahlobo e tsitsitseng haholoanyane
Ho tsitsa ha mocheso oa liforomo tsa granite ho bile bohlokoa haholo tikolohong ea tlhahiso ea k'hamphani lihora tse 24 ka letsatsi, matsatsi a 7 ka letsatsi, moo mocheso o hlahisoang ke lisebelisoa o neng o baka ho feto-fetoha ha mocheso ho neng ho ama ho nepahala ha tekanyo pele.
Tshebetso ea Laboratori ea Metrology ea Optical
Setsi sa Naha sa Maemo le Theknoloji (NIST) se tlalehile tshebetso ya ditsamaiso tsa interferometer tse thehilweng hodima granite laboratoring ya sona ya metrology ya wafer flatness. Interferometer ya XCALIBIR, e kentsweng tafoleng ya granite e nepahetseng, e fihlella:
- Ho se tsitse ha tekanyo ea ho batalla ha ~1nm RMS bakeng sa li-wafer tsa 300mm
- Botsitso ba angular ba 0.01μrad bakeng sa ho hokahanya likarolo tsa bohlokoa tsa optical
- Tshebetso e tsitsitseng ho pholletsa le dilemo tse 10+ tsa tshebetso e tswelang pele ntle le ho senyeha ha sebopeho
Boemo bona ba tshebetso, bo kgontshwang ke thepa e ikgethang ya granite, bo tshehetsa ntshetsopele ya mahlale a tlhahiso ya di-semiconductor tsa moloko o latelang.
Netefatso ea ho Tšoarella ha Nako e Telele
Liteko tse ikemetseng tsa Laboratori ea Naha ea 'Mele ea UK li hlahlobile ts'ebetso ea nako e telele ea lisebelisoa tsa ho lekanya granite tlas'a maemo a indasteri. Kamora lilemo tse 15 tsa ts'ebeliso e tsoelang pele tikolohong ea tlhahiso e nepahetseng, lipoleiti tsa bokaholimo ba granite tse lekiloeng li bontšitse:
- Phapang e bataletseng e ka tlase ho 1.2μm ho tloha litlhalosong tsa mantlha (hantle ka har'a mamello ea Kereiti ea 000)
- Ha ho na ho senyeha ha bokaholimo ho ka lekanngoang ho sa tsotelehe lipotoloho tse likete tsa litekanyo
- Tshebetso e tsitsitseng ea katoloso ea mocheso e tsamaellanang le litlhaloso tsa mantlha tsa thepa
Liphetho tsena li tiisa ho tšoarella ho ikhethang le botsitso ba nako e telele ba lisebelisoa tsa ho lekanya granite lits'ebetsong tse hlokang boiteko liindastering.
Mekhoa le Qeto ea Nakong e Tlang
Ha indasteri ea semiconductor e ntse e tsoela pele ho ea ho li-node tsa transistor tsa sub-2nm 'me indasteri ea optical e sutumelletsa meeli ea ho nepahala litsamaisong tsa laser, litšoantšong le li-optical tsa quantum, tlhoko ea lisebelisoa tse tsitsitseng le tse nepahetseng tsa ho lekanya e tla eketseha feela. Lisebelisoa tsa ho lekanya granite, ka motsoako oa tsona o pakiloeng oa botsitso ba mocheso, ho hanyetsa ho tsofala, ho thothomela ha vibration, le botsitso ba nako e telele, li behiloe hantle ho fihlela litlhoko tsena tse ntseng li fetoha.
Mekhoa e hlahellang litsamaisong tsa thepa e kopantsoeng, e kopanyang granite le metsoako e tsoetseng pele kapa liseramike, e tšepisa ho ntlafatsa ts'ebetso ea lisebelisoa tsa ho lekanya ka nepo ha e ntse e sebetsana le litlhoko tse itseng tsa ts'ebeliso tse kang phokotso ea boima kapa ho tsamaisoa ha mocheso ho ntlafetseng. Leha ho le joalo, melemo ea mantlha ea granite ea tlhaho—e hahuoeng ho feta litekanyo tsa nako ea jeoloji le e ntlafalitsoeng ka tlhahiso ea ho nepahala—e tla lula e sa nkeloe sebaka ke lits'ebetso tsa ho nepahala tse hlokang tlhokomelo e kholo.
Bakeng sa bahlahisi ba semiconductor le optical, matsete a lisebelisoa tsa ho lekanya granite a tlisa puseletso ka ho nepahala ho ntlafetseng ha tekanyo, litšenyehelo tse fokotsehileng tsa tlhokomelo, bophelo bo atolositsoeng ba tšebeletso, 'me qetellong, chai e phahameng ea lihlahisoa. Ha mamello ea litekanyo e ntse e tsoela pele ho tiea le lits'ebetso tsa tlhahiso li ntse li rarahana haholoanyane, tlhahiso ea boleng ba lisebelisoa tsa ho lekanya granite e ba e ipiletsang le ho feta.
Qetellong, melemo ea lisebelisoa tsa ho lekanya granite indastering ea semiconductor le ea optical e hlakile ebile e ngotsoe hantle. Ho tloha botsitsong ba tsona bo ikhethang ba mocheso le ho hanyetsa ho tsofala ho ea ho bokhoni ba tsona bo phahameng ba ho thothomela le bophelo ba tšebeletso ea lilemo tse fetang 30, lisebelisoa tsa granite li fana ka motheo oa tekanyo e nepahetseng e nolofalletsang tsoelo-pele ea theknoloji ea sejoale-joale. Ha liindasteri li ntse li tsoela pele ho sutumelletsa meeli ea se ka khonehang tlhahisong ea nano le ho nepahala ha optical, lisebelisoa tsa ho lekanya granite li tla lula e le tekanyetso ea khauta bakeng sa lits'ebetso tsa metrology le alignment.
Nako ea poso: Mots'eanong-08-2026