Ka Nģ'ane ho Lejoe: Hobaneng Taolo ea Tikoloho e Laela ho Nepahala ha Metrology

Khopolo-taba ea ho nepahala ka phapusing e sa laoleheng

Motsamaisi oa tlhahiso ea indasteri a ka reka bethe e ntle ka ho fetisisa ea granite e ntšo e teteaneng haholo, a fumana li-axes tsa enjene tse otlolohileng tse nepahetseng ka ho fetisisa, 'me a fumane li-sensor tsa ho lekanya tsa maemo a holimo ho tsoa ho Mahr kapa Mitutoyo. Leha ho le joalo, haeba likarolo tseo li kentsoe fekthering e tloaelehileng e se nang taolo ea tikoloho, letsete lohle le lahleheloa ke boleng ba lona.

Boenjiniereng bo nepahetseng haholo, tikoloho ka boeona ke karolo ea mantlha ea mochini. Ntle le taolo e tiileng ea mocheso o potolohileng, mongobo o lekanyelitsoeng, lebelo la moea, le ho thothomela ha sebopeho, ho hapa data e nepahetseng sekaleng sa sub-micron ho ba thata.

Ho loantša lintho tsena tse sitisang tikoloho, ZHONGHUI Group e hahile setsi se ikhethileng sa mocheso le mongobo o sa fetoheng sa 10,000 m², se hahiloeng ka botlalo ho latela melao-motheo e tsoetseng pele ea ho itšehla thajana.

Fisiks ea ho Itšehla ha Sebopeho: Liforo tsa Tšisinyeho ea Lefatše tse Tebileng tsa Limithara tse 2

Hangata ho thothomela ha di-micro-vibrations ha ho bonahale ho batho. Diforoko tse kgannang fatshe la polokelo, sephethephethe se haufi sa ditsela tse kgolo, kapa motjhini o hatisang o sebetsang dimithara tse makgolo hole di romela maqhubu a tshohanyetso a tswelang pele lefatsheng. Haeba maqhubu ana a fihla kopanong e nepahetseng haholo kapa ho seta ha interferometer ya laser ya Renishaw, a sotha dipalo mme a senya tekanyo ya dikarolo.

Ho arola sebaka sa rona sa metrology le lerata la semelo sa tšisinyeho ea lefatše, setsi sena se na le boenjiniere bo tebileng ba ho itšehla thajana:

Ka ho seha foro e tebileng ea 2000mm e tsoelang pele ho potoloha libaka tsa rona tsa ho lekanya, maqhubu a thothomelo a mahlakoreng a tsamaeang mobung o ka holimo aa thibeloa 'me a monngoa pele a ka fihla lisebelisoa tsa teko.

Ho Tsitsisa ka Thempereichara Methara ea Lisekoere-mithara tse 10,000

Ho feto-fetoha ha mocheso ho hlahisa ho kheloha ha tekanyo ea sebopeho.granite ea boleng bo holimo(~3100 kg/m³) e na le boima bo botle ba mocheso, ho fetoha ha mocheso ka nako e telele ho tla etsa hore esita le thepa e tsitsitseng ka ho fetisisa e atolohe kapa e honyele ka mokhoa o sa bonahaleng.

Kamore ea rona e khethehileng ea ho hloekisa e boloka boemo ba mocheso bo sa fetoheng, bo sa fetoheng. Phallo ea moea e sefshoa le ho ajoa hape ka litsamaiso tsa phallo ea laminar ho thibela ho thehoa ha lipokotho tse chesang kapa tse batang. Taolo ena e matla ea tlelaemete e lumella lisebelisoa tsa rona tsa ho lekanya—tse kang maemo a elektroniki a Swiss WYLER le liteko tsa ho holisa roughness tse phahameng—ho sebetsa libakeng tsa tsona tse nepahetseng tsa tlhahlobo ea boenjiniere.

Sesebelisoa se seng le se seng sa ho lekanya se sebelisoang setsing sena se na le litifikeiti tsa semmuso tsa ho lekanya tse fanoeng ke Jinan Institute of Metrology le Shandong Institute of Metrology, tse nang le ho sala morao ka kotloloho ho National Institute of Metrology (NIM).

Emulating Semiconductor Fabs: Tikoloho ea Kopano e se nang Lerōle

Ka nqane ho mocheso le ho thothomela, tšilafalo ea likaroloana tse moeeng e hlahisa kotsi e totobetseng ho li-bearing tsa moea tse nepahetseng le sekala sa optical. Lerole le le leng le lekanyang li-micron tse 10 le ka sitisa tataiso ea ho bea moea e nepahetseng haholo kapa la etsa hore hlooho ea 'mali oa laser e utloisise boemo ba eona hampe.

Ka lebaka lena, karolo e inehetseng ea setsi sa rona e sebetsa e le kamore ea ho hlwekisa e etsisang tikoloho ea semiconductor fab. Mona, likarolo tsa granite lia hloekisoa, lia hlahlojoa, 'me li kopanngoa le lisebelisoa tsa elektroniki tse nepahetseng, li-bracket tsa tšepe, kapa litataiso tsa ceramic tlas'a mekhoa e thata ea ho se be lerōle. Ka ho laola lejoe, mocheso, ho thothomela le boleng ba moea, re netefatsa hore lihlahisoa tsa rona li fana ka ts'ebetso e tsitsitseng le e ka boleloang esale pele kae kapa kae lefatšeng.