Lefatšeng la taolo ea motsamao e nepahetseng haholo, ho na le karolo e etsang ho hong ho utloahalang ho sa utloahale: sethala sa ho nepahala se phaphametseng filiming ea moea o teteaneng ka li-micron tse 'maloa feela, se tsamaeang ka khohlano ea ho hang. Ena ha se tšōmo ea mahlale. Ke granite air bearing—mme ke theknoloji e nolofalletsang ka morao ho semiconductor lithography, tlhahlobo ea wafer, tlhahlobo ea betri ea EV, le hoo e ka bang ts'ebeliso e 'ngoe le e 'ngoe e hlokang boemo ba nanometer.
Sefate sa Moea ke Eng?
Sefuba sa moya se sebetsa ka ho qobella moya o hatelletsoeng ho feta sebakeng se nang le masoba kapa se fepuoang ke lesoba, ho etsa mosamo o mosesaane, o tsoelang pele oa moea pakeng tsa libaka tse peli tseo ho seng joalo li neng li tla kopana 'meleng. Mojaro—sethaleng, spindle, tafole e tsamaeang—ka ho toba o phaphamala holim'a filimi ena ea moea, hangata o pakeng tsa li-micron tse 5 le tse 20 ka botenya, ho latela moralo le litlhoko tsa mojaro.
Hobane ha ho na kamano ea 'mele pakeng tsa libaka tse tsamaeang le tse sa sisinyeheng, ha ho na khohlano ea mechine, ha ho na mokhoa oa ho thella ha lithupa, 'me ha e le hantle ha ho na ho tsofala. Ena ke boemo bo fapaneng ka ho feletseng le baho jara mechine ka mokhoa o tloaelehileng, e leng—ho sa tsotelehe hore na e entsoe hantle hakae—e dula e na le kgohlano e itseng, ho se tsitse ha bokaholimo bo nyenyane, le ho senyeha butle-butle nakong ya tshebetso ya yona.
Hobaneng Granite e le Khetho e le 'Ngoe feela bakeng sa Li-Air Bearings
Ho ya ka khopolo-taba, dibering tsa moya di ka hahuwa hodima thepa e fapaneng e bataletseng, e thata, empa granite e se e le kgetho e tlwaelehileng bakeng sa bokahodimo ba ho bea bo sa sisinyeheng ditshebedisong tse nepahetseng haholo.
Ho Tsitsisa ho ba Sephara Ha Nako e Fetile. Hobane granite e na le kgatello e tlase haholo ya ka hare ha e bapiswa le tshepe e entsweng ka mechini—tshepe e boloka kgatello e setseng ho tloha tshebetsong ya ho lahla le ho sebetsa, e leng se ka bakang diphetoho tse nyane butle-butle ka dikgwedi kapa dilemo—bokahodimo ba granite bo na le tshekamelo ya ho boloka tlhaloso ya bona ya ho ba sephara nako e telele ho feta e lekanang le tshepe. Bakeng sa bearing ya moya, moo enfelopo yohle ya tshebetso e itshetlehileng ka ho boloka sekgeo se tsitsitseng, se laolwang, botsitso bona bo bohlokwa.
Ho Tsitsa ha Thempereichara. Lekhalo la ho jara moya le ka microscope—hangata ke di micron tse 5–20. Katoloso ya thempereichara ya tataiso e fetola lekhalo lena, e fetola tshebetso ya ho jara mme e hlahisa diphoso tsa ho beha. CTE ya Granite e batla e lekana le halofo ya tshepe mme karolo ya boraro ya e lekana le ya aluminium. Sena se netefatsa hore ho nepahala ha boemo ba nanometer ho dula ho le nnete nakong ya dipotoloho tsa tshebetso tsa dihora tse 24.
Ho Arohanya ho Sireletsa le ho Sireletsa. Granite e na le bokgoni ba tlhaho ba ho sireletsa ho feta tshepe ka makgetlo a 10. Ha e kopantswe le ho sireletsa ho hlabang ha filimi ya moya, sistimi e hlahisa phello ya "ho sireletsa habeli" e arolang meroalo e utlwahalang ho tswa ho ho thothomela ha fatshe le lerata la enjene. Sena se bohlokwa bakeng sa ditshebediso tse kang dikholomo tsa di-electron beam le di-interferometer, moo ho thothomela ho senyang qeto ya setshwantsho.
Ha e na makenete, ha e na motlakase. Libakeng tsa tlhahiso ea li-semiconductor le tsa elektroniki, ho qoba matla a makenete le ho tsamaisa motlakase haufi le lits'ebetso tse bonolo hangata ke tlhokahalo e thata. Granite e khotsofatsa sena ntle le kalafo e eketsehileng.
Phello ea "Ho Fokotsa Metsi Habeli"
Mona ke seo se etsang hore motsoako oa granite-air bearing o sebetse hantle ka ho ikhethang. Granite ka boeona e fana ka damping e ikhethang—e fokotsa molumo oa mochini ka makhetlo a fihlang ho a 10 ha e bapisoa le tšepe e entsoeng ka tšepe. Filimi ea moea e fana ka damping e eketsehileng e nang le viscous, e ntlafatsang ho thothomela ha maqhubu a phahameng. Hammoho, li theha seo baenjiniere ba se bitsang phello ea "damping habeli".
Sena se bolela hore mohato oa granite air bearing ha se feela o nepahetseng; o khutsitse. Mokhahlelo o tsamaea hantle, ntle le ho sisinyeha ha microscopic ho hlaselang li-bearing tsa mechine. O lula kapele, ntle le ho lla ho ka liehisang litekanyo. 'Me o boloka ho nepahala ha oona ka lilemo tse ngata tsa ts'ebetso, ntle le ho senyeha butle-butle ho senyang ts'ebetso ea li-bearing tsa mechine.
Moo Li-bearings tsa Moea tsa Granite li Hlileng li Sebelisoang Teng
Lethathamo la dikopo le baleha jwalo ka leeto la dikhutlo tse nepahetseng ka ho fetisisa tsa tlhahiso le tlhahlobo ya sejwalejwale:
Tlhahlobo ea Semiconductor Lithography le Wafer. Ho phetoa ha sebaka sa sub-nanometer hoa hlokahala ho hokahanya likarolo hantle ho pholletsa le wafer. Li-bearing tsa moea tsa granite li fana ka motsamao o se nang khohlano, o sa amaneng le o lumellang ho nepahala ho hlokahalang bakeng sa tlhahiso ea chip ea moloko o latelang.
Mechini ea ho Lekanya ea Coordinate (CMMs). Motsoako oa litataiso tsa granite tse nepahetseng le li-air bearing ke tekanyetso ea khauta bakeng sa li-CMM, moo ho thothomela ha sethala ho senyang qeto ea tekanyo. Ho se be le khohlano le ho thella ha bearing ea moea ho nolofalletsa ho beha maemo ka keketseho ea nanometer.
Mekhoa ea ho Lekanya e Thehiloeng ho Optical le Laser. Mokhoa ofe kapa ofe oa ho lekanya o itšetlehileng ka interferometry kapa optical imaging o hloka mohato oa motsamao o sa hlahiseng phoso ea ho thothomela kapa ea ho beha. Li-bearing tsa moea tsa granite li fana ka botsitso bo hlokahalang bakeng sa lits'ebetso tsena tse boima.
Tlhahlobo ea Libetri tsa EV. Ha tlhahiso ea libeteri tsa likoloi tsa motlakase e ntse e eketseha, tlhoko ea litsamaiso tsa tlhahlobo tse lebelo le phahameng le tse nepahetseng e eketsehile haholo. Mehato ea ho jara moea oa granite e fana ka lebelo le ho nepahala ho hlokahalang bakeng sa ho hlahloba litekanyo tsa sele ea betri, ho hokahanya ha li-electrode le liparamente tse ling tsa bohlokoa.
Ho Cheka le ho Tsamaisa PCB. Ho tjheka PCB ka lebelo le phahameng ho hloka ho beoa ka potlako le ka nepo ka nako e fokolang ea ho tsitsa. Li-bearing tsa moea li nolofalletsa motsamao o potlakileng oa ho hata le ho rarolla o hlokahalang bakeng sa tlhahiso ea phallo e phahameng.
Ke Eng e Fapanyang ZHHIMG®
Hase likarolo tsohle tsa granite air bearing tse bōpiloeng ka ho lekana. Boleng ba granite, ho nepahala ha ho kopanya, le boiphihlelo ba litsebi tsa mesebetsi ea matsoho kaofela li etsa qeto ea hore na air bearing e sebetsa ho latela litlhoko.
Ho ZHHIMG®, granite ea rona e ntšo ea ZHHIMG® e fihlella boima ba ≈3100 kg/m³—e phahameng ho feta granite e ngata e ntšo ea Europe le Amerika—e netefatsang botsitso bo phahameng le ho hanyetsa ho tsofala. Li-grinder tsa rona tse hloahloa, tse nang le boiphihlelo ba lilemo tse fetang 30 ba ho lahlela ka letsoho, li fihlella ho ba bataletseng ha boemo ba nanometer bo hlokahalang bakeng sa lits'ebetso tsa ho jara moea. Seteishene sa rona sa mocheso o sa fetoheng sa lisekoere-mithara tse 10,000, se hahiloeng holim'a motheo oa konkreite o teteaneng haholo oa 1000mm o nang le liforo tse thibelang ho thothomela tse tebileng tsa 2000mm, se fana ka tikoloho e tsitsitseng e hlokahalang bakeng sa ho hlahisa likarolo tsa ho nepahala hona.
'Me boitlamo ba rona ba boleng—bo akaretsoang leanong la rona la boleng, "Khoebo e nepahetseng e ke ke ea ba boima haholo"—bo netefatsa hore karolo e 'ngoe le e 'ngoe ea granite e nang le moea e tlohang setsing sa rona e fihlela maemo a thata ka ho fetisisa a lefats'e.
Hore na o haha moloko o latelang wa disebediswa tsa semiconductor lithography, CMM e nepahetseng haholo, kapa sistimi ya tlhahlobo ya betri ya EV, motswako wa granite e nepahetseng le theknoloji ya ho jara moya e fana ka motheo wa taolo ya motsamao wa boemo ba nanometer. Mme ho ZHHIMG®, re ntse re tseba motswako oo ka mashome a dilemo.
Nako ea poso: Phupu-08-2026