Likarolo tsa granite li sebelisitsoe haholo ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor ka lebaka la litšoaneleho tsa tsona tse ntle joalo ka ho qeta holimo holimo, ho satalla ho hoholo, le ho sisinyeha ho hoholo ha vibration.Likarolo tsa granite li bohlokoa bakeng sa lisebelisoa tsa masela a semiconductor, ho kenyeletsoa mechini ea lithography, metjhini ea polishing, le litsamaiso tsa metrology kaha li fana ka boemo bo nepahetseng le botsitso nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso.Ho sa tsotellehe melemo eohle ea ho sebelisa likarolo tsa granite, li boetse li na le mefokolo.Sehloohong sena, re tla tšohla mefokolo ea likarolo tsa granite bakeng sa lihlahisoa tsa tlhahiso ea semiconductor.
Ntlha ea pele, likarolo tsa granite li na le coefficient e phahameng ea ho atolosa mocheso.E bolela hore li atoloha haholo tlas'a khatello ea mocheso, e ka bakang mathata nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso.Ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor e hloka ho nepahala ho phahameng le ho nepahala ha boholo bo ka senyehang ka lebaka la khatello ea mocheso.Mohlala, silicon wafer deformation ka lebaka la katoloso ea mocheso e ka baka mathata a ho tsamaisana nakong ea lithography, e ka senyang boleng ba sesebelisoa sa semiconductor.
Taba ea bobeli, likarolo tsa granite li na le liphoso tsa porosity tse ka bakang ho lutla ha vacuum ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor.Ho ba teng ha moea kapa khase efe kapa efe ka har'a sistimi ho ka baka tšilafalo holim'a sephaphatha, ho baka mathata a ka amang ts'ebetso ea sesebelisoa sa semiconductor.Ligase tse sa sebetseng tse kang argon le helium li ne li ka kenella ka har'a likaroloana tsa granite tse nang le masoba 'me tsa etsa lipulumo tsa khase tse ka sitisang ts'ebetso ea vacuum.
Ntlha ea boraro, likaroloana tsa granite li na le li-microfractures tse ka sitisang ho nepahala ha mokhoa oa tlhahiso.Granite ke lintho tse brittle tse ka hlahisang li-microfractures ha nako e ntse e ea, haholo-holo ha li pepesehile ka linako tsohle tsa khatello ea kelello.Ho ba teng ha li-microfractures ho ka lebisa ho se tsitseng ha dimensional, ho baka mathata a bohlokoa nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso, joalo ka ho lokisoa ha lithography kapa polishing ea wafer.
Ea bone, likarolo tsa granite li na le maemo a fokolang.Ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor e hloka lisebelisoa tse tenyetsehang tse ka amohelang liphetoho tse fapaneng tsa ts'ebetso.Leha ho le joalo, likarolo tsa granite li thata ebile ha li khone ho ikamahanya le liphetoho tse fapaneng tsa ts'ebetso.Ka hona, liphetoho leha e le life ts'ebetsong ea tlhahiso li hloka hore ho tlosoe kapa ho nkeloe sebaka sa likarolo tsa granite, e leng se lebisang ho fokotseha ha nako le ho ama tlhahiso.
Ea bohlano, likarolo tsa granite li hloka ho tšoaroa ka mokhoa o khethehileng le lipalangoang ka lebaka la boima ba tsona le fragility.Granite ke thepa e teteaneng le e boima e hlokang lisebelisoa tse khethehileng tsa ho tšoara joalo ka li-cranes le lifti.Ho feta moo, likarolo tsa granite li hloka ho paka ka hloko le ho tsamaisoa ho thibela tšenyo nakong ea thomello, e lebisang litšenyehelong tse eketsehileng le nako.
Qetellong, likarolo tsa granite li na le litšitiso tse ling tse ka amang boleng le tlhahiso ea lihlahisoa tsa semiconductor.Litšitiso tsena li ka fokotsoa ka ho sebetsana ka hloko le ho hlokomela likaroloana tsa granite, ho kenyelletsa le tlhahlobo ea nako le nako bakeng sa li-microfractures le bofokoli ba porosity, tlhoekiso e nepahetseng ho thibela tšilafalo, le ho sebetsana ka hloko nakong ea lipalangoang.Leha ho na le bofokoli, likarolo tsa granite li lula e le karolo ea bohlokoa ea ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor ka lebaka la boleng ba tsona bo holimo, ho satalla ho hoholo, le ho sisinyeha ho hotle ho sisinyeha.
Nako ea poso: Dec-05-2023