Indasteri ea semiconductor e sebetsa ka meeli ea 'mele ea seo se ka lekanngoang le se ka hlahisoang. Lipotoloho tse kopantsoeng tsa sejoale-joale li na le li-transistors tse bolelele ba heke ka tlase ho li-nanometer tse 3 - litekanyo tseo ho tsona athomo e le 'ngoe ea silicon e emelang karolo e nang le moelelo oa boholo ba tšobotsi ea bohlokoa. Litsamaiso tsa lithography, lisebelisoa tsa tlhahlobo ea wafer, le lisebelisoa tsa metrology tse thehang le ho netefatsa meaho ena li tlameha ho fihlela ho nepahala ha ho beha, ho itšehla thajana ha ho thothomela, le botsitso ba litekanyo boo ho neng ho ka bonahala bo sa khonehe lilemong tse mashome a mabeli tse fetileng feela.
Empa ka hare ho likamore tsena tse tletseng theknoloji e ikhethang, e 'ngoe ea thepa ea bohlokoa ka ho fetisisa ea mohaho ke ntho ea khale: granite. Granite e ntšo e entsoeng ka mochini o nepahetseng, e laoloang ke mocheso e etsa mokokotlo oa sebopeho sa liforomo tse ngata tsa lisebelisoa tsa semiconductor tse tsoetseng pele ka ho fetisisa lefatšeng. Ho utloisisa hore na ke hobane'ng ha granite eohle e sa lekana - le hore na ke hobane'ng ha e se granite eohle e lekanang - ho totobatsa karolo ea bohlokoa le e atisang ho hlokomolohuoa ea boenjiniere ba lisebelisoa tsa semiconductor.
Tikoloho ea Lisebelisoa tsa Semiconductor: Seo Motheo o Lokelang ho se Pholoha
Sistimi ea ho pepesehela photolithography (skena kapa stepper) e sebetsa tikolohong e hloekileng moo palo ea likaroloana tse moeeng e laoloang ho ea maemong a Sehlopha sa 1 kapa Sehlopha sa 10 - ho bolelang hore likaroloana tse ka tlase ho 1 kapa 10 ka cubic foot ea moea ho 0.5 μm kapa ho feta. Sesebelisoa ka bosona se tlameha ho fihlella ho pheta-pheta ha boemo ba sethala ka tlase ho nanometer e le 'ngoe, ho nepahala ha ho koahela ka tlase ho nanometer tse 2, le ho tsepamisa mohopolo ho lekana ho pholletsa le wafer ea 300 mm ka har'a nanometer tse 'maloa.
Mokhahlelo oa wafer o phethang sena o tsamaea ka lebelo le fetang mithara e le 'ngoe ka motsotsoana, o potlakisa le ho fokotseha ka lebelo le fetang 10 g, 'me o pheta potoloho ena ka makhetlo a likete ka hora - hora e 'ngoe le e 'ngoe, letsatsi le leng le le leng, ka lilemo tse ngata. Motheo oa granite o tšehetsang mohato ona ha oa lokela ho tenyetseha, ho hasana, kapa ho thothomela ka litsela tse senyang tekanyo ea boemo ba sethala. O tlameha ho lula o tsitsitse ka tekanyo ho pholletsa le sebaka sa ts'ebetso ea mocheso oa sesebelisoa. 'Me o tlameha ho etsa sena sohle ka botšepehi bakeng sa bophelo bohle ba ts'ebetso ea sistimi, e ka bang lilemo tse leshome kapa ho feta.
Tsena ha se maemo a bonolo a tshebetso. Di etsa ditlhoko tse feteletseng karolong e nngwe le e nngwe — ho kenyeletswa le motheo wa granite o bonahalang o sa sebetse.
Ho Aroloa le ho Fokotsa ho Thothometsa: Molemo oa 'Mele oa Granite
Meaho ea semiconductor e tsetela haholo ho aroleng ho thothomela - ho tloha metheong ea meaho (e ka kenngoang holim'a lihlopha tsa li-insolator tsa pneumatic) ho ea ho litsamaiso tsa ho hlakola ho thothomela tse sebetsang tsa boemo ba lisebelisoa. Empa litsamaiso tsena li na le meeli. Li ke ke tsa felisa ho thothomela hohle, 'me li ke ke tsa arabela hang-hang maqhubung ohle. Motheo oa mochini oa granite o fana ka mohato oa ho qetela oa ho aroloa ho thothomela.
Fisiks ea ho damping ka ho thothomela e rata thepa e nang le boima bo phahameng le bokhoni bo itseng ba ho damping. Granite e ntšo e nang le sekgahla se phahameng - ka sebopeho sa eona se senyenyane sa kristale sa quartz e notletsoeng, feldspar le mica kristale - e fana ka damping e ntle ea ka hare ea ho damping ka mechini ka motsoako oa litlamorao tsa boima le khohlano ea moeli oa lijo-thollo. Ho thothomela ho kenang botlaaseng ka mokatong kapa ka matla a karabelo a sethala se tsamaeang ho monngoa le ho qhala ka har'a granite pele ho ka ata ho khutlela litsamaisong tse bonolo tsa ho lekanya.
Granite e sebetsa hantle ho feta tšepe ntlheng ena, ho sa tsotellehe matla a ho tsikinyeha a tšepe a phahameng. Lebaka le ka har'a sebopeho sa kristale: sebopeho sa lithollo tsa granite tse nang le polycrystalline sea hasana le ho monya matla a ho thothomela meeling ea lithollo, ha sebopeho sa kristale se hlophisitsoeng sa tšepe se tsamaisa ho thothomela ka katleho e kholoanyane. Tšepe e entsoeng ka tšepe e betere ho feta tšepe bakeng sa ho damping, ke ka lebaka leo e neng e sebelisoa historing bakeng sa metheo ea lisebelisoa tsa mochini tse nepahetseng - empa granite e nepahetseng e ntse e le betere le ho feta.
Ho Tsitsisa Thermal: Motheo oa Nanometer Repeating
Ka tekanyo ea nanometer, botsitso ba mocheso ke ntlha e ka sehloohong e laolang ho pheta-pheta ha boholo. Phetoho ea mocheso oa 1°C karolong ea tšepe ea mithara e le 'ngoe e baka katoloso ea mocheso ea li-micrometer tse ka bang 11.7 - li-nanometer tse 11,700. Ka har'a granite, katoloso e lekanang hangata ke li-micrometer tse 6-8, hoo e ka bang halofo ea tšepe. Ka har'a li-ceramic tsa khalase tse atolositsoeng haholo (tse kang Zerodur kapa ULE), ke li-micrometer tse 0-0.02 feela ka degree - empa thepa ena e theko e boima haholo 'me e thata ho e sebetsana ka boholo bo boholo bo hlokahalang bakeng sa metheo ea mochini.
Bakeng sa metheo ea lisebelisoa tsa semiconductor, boitšoaro ba katoloso ea mocheso oa granite ha boa lokela ho ba tlase feela empa bo ka boleloa esale pele. Baqapi ba sebelisa CTE e tsebahalang ea granite ho etsa moralo oa puseletso ea mocheso sethaleng.sistimi ea ho lekanya boemo. CTE e sa lebelloang kapa e fapaneng sebakeng — e ka hlahang boleng bo tlase kapa granite e sa khethoang hantle — e etsa hore puseletso e se ke ea khoneha 'me e lebisa liphosong tsa boemo bo itšetlehileng ka mocheso tse ke keng tsa lekanngoa.
Lena ke le leng la mabaka a etsang hore mohloli o itseng le tlhaloso ea granite li be bohlokoa lits'ebetsong tsa lisebelisoa tsa semiconductor. Thepa e tlameha ho hlalosoa bakeng sa boitšoaro ba mocheso - eseng feela ka kakaretso e le "granite e ntšo" - 'me e tlameha ho fihlela litlhoko tse tsitsitseng tsa bongata le ho tšoana tse netefatsang hore boitšoaro ba eona ba mocheso boa tšoana ho pholletsa le karolo.
Libaka tsa Granite tse Behang Moea: Sebopeho se Tsamaeang
Litsamaiso tse ngata tsa ho sisinyeha ha lisebelisoa tsa semiconductor li sebelisa li-air bearing — lifilimi tse tšesaane tsa moea o hatelletsoeng tse lumellang mekhahlelo ho tsamaea holim'a sebaka sa litšupiso ka khohlano e se nang khohlano le ho se tsofale ha ho kopana. Li-air bearing li fana ka boreleli ba ho sisinyeha ha sub-nanometer, ha ho na boitšoaro ba ho thella (bo ka senyang boemo ba nanometer-scale), 'me ha ho na tšilafalo ea setlolo e ka behang tikoloho ea cleanroom kotsing.
Tshebetso ya bearing ya moya e itshetlehile haholo hodima bokahodimo boo e palameng hodima bona. Diphoso tsa ho batalatsa hodima bokahodimo ba bearing di fetoha diphoso tsa ho beha sethala. Ho ba thata ha bokahodimo ho ama botsitso ba filimi ya moya. Thepa e lokela ho ba thata ho lekana ho thibela ho tsofala haeba filimi ya moya e putlama ka motsotsoana nakong ya tshebetso. Mme thepa e tlameha ho tsamaisana le mocheso le sethala le sistimi ya phepelo ya moya ho qoba katoloso e fapaneng e fetolang lekhalo la moya.
Granite e nepahetseng, e kobehileng ho fihlela e bataletse ho feta 1 μm holim'a sebaka sa ho tsamaea sa bere le ho bentšitsoe ho Ra ka tlase ho 0.1 μm, e fihlela litlhoko tsena kaofela. Motsoako oa ho thatafala ho hoholo (ho hanela ho tsofala), ho ba le bokaholimo bo tlase (ho tšehetsa lifilimi tsa moea tse tsitsitseng), le botsitso ba litekanyo (ho boloka ho ba le bokaholimo ha nako e ntse e ea) e etsa hore granite e be thepa e khethiloeng bakeng sa libaka tsa litšupiso tsa bere ea moea lits'ebetsong tse hlokang matla tsa semiconductor.
Tlhahlobo ea Granite ho Wafer le Lisebelisoa tsa Metrology
Ka nqane ho lithography, granite e bapala karolo ea bohlokoa ka ho lekana sehlopheng sa lisebelisoa tse sebelisoang ho hlahloba le ho lekanya li-wafer tsa semiconductor. Ho scanning electron microscopes (SEMs), litsamaiso tsa focused ion beam (FIB), lisebelisoa tsa tlhahlobo ea liphoso tsa optical, le litsamaiso tsa overlay metrology kaofela li itšetlehile ka metheo e tsitsitseng, e se nang ho thothomela ho fihlela ho nepahala ha tsona ho hlokahalang ha tekanyo.
Microscope ea electron scanning ea tekanyo e kholo (CD-SEM) e lekanyang bophara ba heke ea li-nanometer tse 3 e tlameha ho etsa setšoantšo ka ho nepahala ha sub-nanometer. Ho thothomela leha e le hofe pakeng tsa sampole le lehlaseli la electron nakong ea ho fumana setšoantšo ho fifatsa setšoantšo mme ho hlahisa ho se tsitse ha tekanyo. Motheo oa granite o arola sethala sa sampole ho thothomelo ea fatše, e leng se fanang ka tikoloho e khutsitseng ea mechini eo ho eona litekanyo tsa athomo li ka khonehang.
Ka ho tšoanang, litsamaiso tsa scatterometry tsa optical le lisebelisoa tsa jiometri ea wafer li sebelisa metheo ea granite le libaka tsa litšupiso ho boloka likamano tsa jiometri lipakeng tsa mahlakore a tekanyo le bokaholimo ba wafer. Ho nepahala ha tekanyo ea sesebelisoa sohle - se etsang qeto ea hore na wafer e feta kapa e hloleha tlhahlobo - qetellong ho itšetlehile ka botsitso ba granite bo ka tlas'a eona.
Likopo tsa Indasteri: 'Mapa o sa Tšoaneng oa Granite ho Tlhahiso ea Semiconductor
Ho ananela bophara ba karolo ea granite tlhahisong ea semiconductor, nahana ka mefuta ea lisebelisoa moo likarolo tsa granite tse nepahetseng li fumanoang khafetsa: li-scanner tsa photolithography le li-stepper (li-base tsa sethala sa wafer, li-base tsa sethala sa reticle, liforeimi tsa litšupiso); lisebelisoa tsa chemical mechanical planarization (CMP) (libaka tsa litšupiso tsa disc tse futhumatsang, mekhahlelo ea tekanyo); litsamaiso tsa tlhahlobo ea wafer (li-base tsa sethala, liipone tsa litšupiso, li-platform tsa ho itšehla thajana); lisebelisoa tsa metrology ho kenyeletsoa le li-scatterometer, li-ellipsometer, le lisebelisoa tsa ho koahela tsa interferometric; litsamaiso tsa ho sebetsana le wafer le lipalangoang moo botsitso ba boholo bo thibelang tšenyo ea wafer; litsamaiso tsa tlhahlobo ea mahlaseli a elektrone le lithography; le lisebelisoa tsa ho kenya li-ion moo botsitso ba ho beha mahlaseli bo leng bohlokoa.
Ho e 'ngoe le e 'ngoe ea lits'ebetso tsena, granite ha se ntho e kenang ea thepa empa ke karolo ea bohlokoa ea ho nepahala eo tlhaloso ea eona ea ts'ebetso e khethollang ka ho toba bokhoni ba sistimi. Phapang pakeng tsa karolo ea granite e entsoeng ho ba bataletseng ba ±10 μm le e 'ngoe e entsoeng ho ba bataletseng ba ±0.5 μm ha se ntlafatso ea 20× - e kanna ea ba phapang pakeng tsa sesebelisoa se fihlelang tlhaloso ea sona le se ke keng sa khona ho etsa joalo.
Granite e Hlokahalang ea ho Fumana Lintho Tse Hlokahalang Bakeng sa Likopo tsa Semiconductor
Ka lebaka la ditlhoko tsa tshebetso tsa ditshebediso tsa semiconductor, kgetho le ho tshwaneleha ha mofani wa granite ke qeto ya bohlokwa ya boenjiniere. Ka nqane ho ditlhaloso tsa motheo tsa thepa — bongata, coefficient ya katoloso ya mocheso, boemo ba ho batalatsa — bareki ba hloka ho lekola bokgoni ba sebele ba ho lekanya ba mofani (na ba ka netefatsa seo ba ipolelang hore ba se fihlella?), boiphihlelo ba bona ka ditshebediso tsa disebediswa tsa semiconductor, matla a sistimi ya bona ya taolo ya boleng, le bokgoni ba bona ba ho boloka botsitso ho pholletsa le dihlopha tsa tlhahiso.
Ketane ea phepelo ea indasteri ea semiconductor ha e tšoarele: karolo e nepahetseng e hlolehang ho fihlela litlhaloso e ka liehisa ho tlisoa ha lisebelisoa, ea senya data ea tlhahiso, kapa ea hloka liphetoho tse turang tsa tšimo. Litšenyehelo tsa motheo oa granite o nepahetseng o fihlelang litlhaloso li nyane ha li bapisoa le litšenyehelo tsa o sa fihlelleng litlhaloso.
Qetello
Karolo ea Granite lisebelisoa tsa semiconductor ha e bonahale ho bashebelli ba bangata - e patiloe tlas'a mahlale a matle a laser, mahlaseli a elektrone le optics ea nanoscale. Empa ke ea motheo. Ho nepahala ha nanometer le ho pheta-pheta ha lisebelisoa tsa tlhahiso ea semiconductor ho itšetlehile ka botsitso ba litekanyo, ho thothomela ha vibration, le boleng ba bokaholimo ba likarolo tsa granite tse nepahetseng.
Ha indasteri ea li-semiconductor e ntse e tsoela pele ho sutumelletsa litekanyo tsa transistor ka tlase ho meeli ea hona joale, litlhoko tsa karolo e 'ngoe le e 'ngoe ka har'a lisebelisoa - ho kenyeletsoa le setsi sa granite - li tla eketseha feela. Bahlahisi ba ka fanang ka likarolo tsa granite tse fihlelang litlhoko tsena tse ntseng li fetoha, ka data e netefalitsoeng ea tekanyo ho paka seo, ba tla bapala karolo ea bohlokoa ho nolofalletseng moloko o latelang oa theknoloji ea semiconductor.
Nako ea poso: Phuptjane-30-2026