Hobaneng ha dikarolo tsa Silicon Carbide Ceramic di le bohlokwa bakeng sa Mechini ya Next-Gen?

Li-ceramic tsa Silicon Carbide (SiC), ka ho tiea ha tsona ho phahameng haholo le boima bo bobebe, ke khetho e ntle bakeng sa li-module tsa motsamao o potlakileng joalo ka lithography reticle stages.

E bobebe ka Karabelo e Phahameng ea Maqhubu

Litsamaisong tsa motsamao tse hlokang lipotoloho tse potlakileng tsa ho emisa ho qala, ho fokotsa boima ho bohlokoa haholo.Likarolo tsa letsopali na le bongata bo tšoanang le ba aluminium empa ho tiea ho feta tšepe, ho fokotsa ho se sebetse hantle ha sistimi le ho eketsa makhetlo a karabelo ea mochini.

Ho Tshabala ho Feteletseng le ho Hanela Mocheso o Phahameng

Lisebelisoa tsa letsopa li na le bothata bo makatsang ba bokaholimo, li boloka ho tsofala ho fokolang esita le libakeng tse sa tlotsoang. Bakeng sa lireile tse nepahetseng kapa masale a tiiso, Silicon Carbide e boloka ho nepahala ha eona ha jiometri tlas'a mocheso o feteletseng kapa maemo a senyang ntle le ho nolofala.

Ho nepahala le botsitso bophelo bohle

Ho fapana le ditshipi, diserame ha di qhibilihe. Thepa ya tsona ya mmele e dula e tsitsitse nakong yohle ya bophelo ba mochini. ZHHIMG e kopanya Precision Machining le ceramic-metal bonding ho fana ka dikarolo tse tiileng le tse kgonang ho mamella tshebediso ya diindasteri.

Papiso ea Sebopeho sa Lintho

Thepa Ho satalla ho Ikhethang (E/ρ) Boima ba Mohs Kotsi ea ho Kena ha Oxidation
Silicon Carbide (SiC) ~110 9.5 Ha ho letho
Granite (Tlhaho) ~30 6 – 7 Ha ho letho
Ts'epe e sa beng le mabali ~26 5 – 6 Holimo

granite bakeng sa metrology

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa: Likarolo tsa Ceramic

  1. Ke hobane'ng ha letsopa le le thata ho le sebelisa? Ho thatafala ha lona ho feteletseng ho hloka lisebelisoa tse khethehileng tse nang le ntlha ea daemane le ho sila hanyane.

  2. Na SiC ceramic e pshatleha habonolo haholo? Leha e pshatleha habonolo, re fokotsa sena ka ho sebelisa meralo e ntlafalitsoeng ea ceramic-metal hybrid.

  3. Na o ka etsa dikarolo tse nang le mabota a masesaane? E, e loketse dibalaka tse nang le mabota a masesaane tse thata haholo kapa di-slider tse se nang letho.

  4. Moeli oa mocheso ke ofe? E boloka thepa e ntle ea mechini mochesong o fetang 1000°C.

  5. Nako ea ho etella pele e nka nako e kae? Ka lebaka la ho sintering le ho sebetsa ka thata, hangata ho nka libeke tse 8-12.

  6. U netefatsa boleng joang? Karolo e 'ngoe le e 'ngoe e hlahlojoa ka botlalo ka CMM le laser interferometry.


Nako ea poso: Mots'eanong-29-2026